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公开(公告)号：CN103162645B
公开(公告)日：2016-03-09
申请号：CN201310073479.7
申请日：2013-03-08
Applicant: 浙江大学
IPC: G01B11/26
Abstract: 本发明公开了一种基于椭偏度测量的滚转角误差测量方法，包括二分之一波片处于被测件上的第一位置时，将线偏光入射到与被测件滑动配合的二分之一波片内，透过二分之一波片的线偏光经四分之一波片形成椭偏光，所述椭偏光再照射到旋转的检偏器上，分析检偏器出射光束的光强变化得到第一椭偏度；将二分之一波片移至第二位置，根据与第一椭偏度同样的方法得到第二椭偏度，比较分析第一椭偏度和第二椭偏度，得到被测件的第一位置和第二位置之间的滚转角误差。本发明还公开了一种基于椭偏度测量的滚转角误差测量装置。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106872469B
公开(公告)日：2019-11-19
申请号：CN201710157823.9
申请日：2017-03-16
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开一种基于共角干涉的层析相位显微装置和方法，包括依次布置的激光器、扫描振镜系统和第一分束器，由第一分束器将激光束分成参考光和样品光：设有沿样品光路依次布置的：照明物镜，用于使照明光变成平行光照明样品；成像物镜，用于接收样品反射的样品光；设有沿参考光路依次布置的：第一反射镜，通过周期性移动自身位置来改变参考光路光程；补偿器，用于补偿参考光路与样品光路间的光程差；第二分束器，用于将参考光和样品反射的样品光进行合束；和图像采集单元，用于记录参考光与样品光产生的干涉图像；还包括计算机，根据在第一反射镜每个周期内多次扫描样品记录得到多个干涉图像包，解出对应该周期内的样品三维折射率分布图。
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公开(公告)号：CN106226895B
公开(公告)日：2019-02-26
申请号：CN201610734383.4
申请日：2016-08-25
Applicant: 浙江大学
IPC: G02B21/06
Abstract: 本发明公开一种带反馈的旋转全内反射显微装置，包括：沿光路依次设置的激光器、二维扫描振镜、扫描透镜、准直透镜、二色镜、分束镜、二色镜、显微场镜，全反射显微物镜和样品；位于分束镜反射光路上的光强位置探测器，用于收集分束镜反射激光器发出照明光得到第一光点，以及收集样品处发生全反射形成的样品光得到第二光点；计算机，用于根据第一光点和第二光电的位置信息，反馈得到全反射照明的角度以及倏逝波的穿透深度；以及用于采集样品发出荧光的CCD。本发明还公开了一种带反馈的旋转全内反射显微方法。本发明通过对样品和显微物镜同步反馈控制，能够保证样品处于最佳照明面和最佳成像面，具有更好的照明均匀性和成像分辨率。
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公开(公告)号：CN106872469A
公开(公告)日：2017-06-20
申请号：CN201710157823.9
申请日：2017-03-16
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开一种基于共角干涉的层析相位显微装置和方法，包括依次布置的激光器、扫描振镜系统和第一分束器，由第一分束器将激光束分成参考光和样品光：设有沿样品光路依次布置的：照明物镜，用于使照明光变成平行光照明样品；成像物镜，用于接收样品反射的样品光；设有沿参考光路依次布置的：第一反射镜，通过周期性移动自身位置来改变参考光路光程；补偿器，用于补偿参考光路与样品光路间的光程差；第二分束器，用于将参考光和样品反射的样品光进行合束；和图像采集单元，用于记录参考光与样品光产生的干涉图像；还包括计算机，根据在第一反射镜每个周期内多次扫描样品记录得到多个干涉图像包，解出对应该周期内的样品三维折射率分布图。
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公开(公告)号：CN106226895A
公开(公告)日：2016-12-14
申请号：CN201610734383.4
申请日：2016-08-25
Applicant: 浙江大学
IPC: G02B21/06
CPC classification number: G02B21/06
Abstract: 本发明公开一种带反馈的旋转全内反射显微装置，包括：沿光路依次设置的激光器、二维扫描振镜、扫描透镜、准直透镜、二色镜、分束镜、二色镜、显微场镜，全反射显微物镜和样品；位于分束镜反射光路上的光强位置探测器，用于收集分束镜反射激光器发出照明光得到第一光点，以及收集样品处发生全反射形成的样品光得到第二光点；计算机，用于根据第一光点和第二光电的位置信息，反馈得到全反射照明的角度以及倏逝波的穿透深度；以及用于采集样品发出荧光的CCD。本发明还公开了一种带反馈的旋转全内反射显微方法。本发明通过对样品和显微物镜同步反馈控制，能够保证样品处于最佳照明面和最佳成像面，具有更好的照明均匀性和成像分辨率。
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公开(公告)号：CN103148800A
公开(公告)日：2013-06-12
申请号：CN201310033614.5
申请日：2013-01-28
Applicant: 浙江大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明公开了一种基于光场传播的非标记三维显微方法，包括以下几个步骤：1)将激光光束聚焦后投射到待测样品上，并利用显微物镜收集带有样品信息的激光光束；2)将带有样品信息的激光光束分成第一光束和第二光束，并通过第一图像传感器和第二图像传感器分别采集第一光束和第二光束的光强信息图像；3)改变激光光束入射到待测样品上的角度，对待测样品进行扫描，并利用显微镜收集带有样品信息的激光光束，然后重复步骤2)；4)通过计算机对所述的光强信息图像进行计算分析得到相应的相位迟滞分布图，然后采用三维重构算法得到三维图像。本发明还公开了一种基于光场传播的非标记三维显微装置。
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