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公开(公告)号：CN119936048A
公开(公告)日：2025-05-06
申请号：CN202411817065.5
申请日：2024-12-11
Applicant: 河北工业大学
Abstract: 本发明公开了一种基于LDLS白光干涉技术的碳化硅晶圆缺陷检测方法，包括：非偏振分光棱镜用于接收LDLS光源发射的白光，并将其分为探测光和参照光；探测光用于发射至被测碳化硅晶圆表面进行测量；参照光用于发射至反射镜；显微物镜用于放大被测样品和反射镜的表面；非偏振分光棱镜将探测光和参照光进行合束发生干涉并发射至聚焦透镜；聚焦透镜将光线聚焦至CCD相机的感光元件上，从而形成清晰的图像；CCD相机探测并记录干涉条纹图像；压电陶瓷位移器控制反射镜产生一系列纳米级的微量位移；通过表面重建的数据处理过程对所探测的干涉数据进行处理，完成形貌重建。本发明通过白光干涉显微技术精确测量碳化硅晶圆的表面缺陷，具有测量精度高、非接触性测量等特点。
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公开(公告)号：CN119602062A
公开(公告)日：2025-03-11
申请号：CN202411830703.7
申请日：2024-12-12
Applicant: 河北工业大学
Abstract: 本发明公开了一种窄线宽可调谐拉曼激光器及发射方法，涉及拉曼激光器领域，包括二分之一波片和分别设置在二分之一波片两侧的泵浦源和聚焦透镜，所述聚焦透镜的另一侧设置有激光谐振腔，所述激光谐振腔的另一侧设置有锁腔倍频器，所述激光谐振腔与所述锁腔倍频器之间设置有整形透镜组，所述锁腔倍频器的另一侧设置有二项色镜，所述激光谐振腔设置为输入镜、输出镜和反射型闪耀光栅构成的V型腔结构，所述输入镜与所述输出镜之间设置有金刚石晶体，所述反射型闪耀光栅设置在所述金刚石晶体的下方，通过腔内反射镜的设计提高激光谐振腔的稳定性，实现精确到0.01nm的波长调整，通过环形腔结构的锁腔倍频器降低传输过程中的损耗。
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公开(公告)号：CN119105118A
公开(公告)日：2024-12-10
申请号：CN202411233453.9
申请日：2024-09-04
Applicant: 河北工业大学
Abstract: 本发明提出了一种具有抗反射微结构的金刚石中红外光学窗口及其制备方法，属于光学材料制备的技术领域，用以解决金刚石基材的红外光学窗口透光率低的技术问题。本发明红外光学窗口包括金刚石基片，所述金刚石基片的至少一面设有抗反射微结构；所述抗反射微结构为呈二维矩阵排列的四棱台。其制备方法包括以下步骤：(1)利用飞秒激光在金刚石表面基片表面进行水平光栅加工，随后进行激光清洗；(2)再次利用飞秒激光在金刚石基片表面进行竖直光栅加工；(3)将步骤(2)得到的金刚石基片放入混合酸溶液中湿法蚀刻，去除金刚石基板表面的石墨层；(4)将金刚石基片退火处理，得到具有抗反射结构的金刚石基片。本发明的带有抗反射结构的金刚石光学窗口在红外10‑12μm处的平均透过率达到了93％，提升高达23％，其中最高透过率达到了94.5％。
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公开(公告)号：CN114825011B
公开(公告)日：2024-08-13
申请号：CN202210458540.9
申请日：2022-04-28
Applicant: 河北工业大学
Abstract: 本发明提出了一种基于受激布里渊散射的大能量固体激光相干合束系统，包括激光源、第一分光系统、第二分光系统、低能量Stokes光产生系统、低能量Stokes光放大系统I、低能量Stokes光放大系统II和激光合束输出系统；激光源产生的泵浦光通过第一分光系统将光束分别注入低能量Stokes光产生系统、低能量Stokes光放大系统I和低能量Stokes光放大系统II中；通过低能量Stokes光产生系统产生的Stokes光通过第二分光系统将光束分别注入低能量Stokes光放大系统I和低能量Stokes光放大系统II中；最后放大后的Stokes光和泵浦光均导入至激光合束输出系统中进行相干合束后输出。本发明可以实现重复频率在1‑10Hz的可调条件下的10ns脉冲激光输出，且输出的光束质量更加优质。
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公开(公告)号：CN116159814A
公开(公告)日：2023-05-26
申请号：CN202310338322.6
申请日：2023-03-31
Applicant: 河北工业大学
Abstract: 本发明提出了一种减少激光清洗飞机蒙皮热积累的方法，包括步骤：S1：将飞机蒙皮置于三维移动数控平台上；S2：根据飞机蒙皮漆层的种类、厚度、表面状态和飞机的服役环境设定激光器与扫描振镜的工作参数；S3：利用三维移动数控平台移动飞机蒙皮，并利用激光器输出高能量的点激光，点激光垂直入射到扫描振镜中荡成线激光对飞机蒙皮进行激光清洗，完全去除飞机蒙皮表面漆层；S4：利用三维移动数控平台上的扫描电镜、共聚焦显微镜与EDS能谱分析仪对飞机蒙皮中热积累情况进行实时监测。本申请通过优化激光器与扫描振镜结构的参数，使得激光清洗机理发生转变，减少了热的积累，保护蒙皮下的传感器件不受损伤，消除温度的累积对机舱内物品的安全隐患。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115939924A
公开(公告)日：2023-04-07
申请号：CN202310011896.2
申请日：2023-01-05
Applicant: 河北工业大学
Abstract: 本发明公开了一种拉曼放大系统，所述系统包括：泵浦源，泵浦源发出波长为λP的泵浦光，通过分光镜分为两束：一束作为拉曼放大器的泵浦光，通过时间延迟装置和放大器，经第一望远镜器件的光束口径调整和准直后，通过45°的第一二向色镜，进入由第一拉曼晶体、第一平面反射镜、第二平面反射镜组成的拉曼放大器；另外一束光经第三平面反射镜反射，注入拉曼振荡器，产生波长为λS的斯托克斯光，拉曼振荡器由第四平面反射镜、第二拉曼晶体、凹面反射镜组成；波长为λS的斯托克斯光经第二望远镜器件的光束口径调整和准直，经45°的第二二向色镜、第一二向色镜反射后，进入拉曼放大器。
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公开(公告)号：CN115549799A
公开(公告)日：2022-12-30
申请号：CN202211138422.6
申请日：2022-09-19
Applicant: 河北工业大学
IPC: H04B10/50 , H04B10/508 , H04B10/54 , H04B10/548
Abstract: 一种用于产生同步时间透镜脉冲光源的射频控制系统，属于激光技术领域。为了解决现有的获取高频正余弦信号和高斯脉冲信号的方式都无法解决不同源之间时钟不同步的问题。本发明包括射频信号源、高频调制信号发生电路和高斯脉冲信号发生电路；射频信号源输出同时包含高频调制信号和低重复频率高斯脉冲信号的混合射频信号，混合射频信号分为两路，其中一路混合射频信号经由高频调制信号发生电路提取出余弦信号，另一路混合射频信号在余弦信号的线性解调下经由高斯脉冲信号发生电路产生高斯脉冲信号；余弦信号用于驱动相位调制器，高斯脉冲信号用于驱动强度调制器。本发明主要用于同时产生高频正余弦信号和高斯脉冲信号来对时间透镜进行同步驱动。
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公开(公告)号：CN113381279B
公开(公告)日：2022-05-31
申请号：CN202110625904.3
申请日：2021-06-04
Applicant: 河北工业大学
Abstract: 本发明公开了一种窄线宽紫外拉曼激光器，包括：激光发射部，用于发射具有可调谐的第一预设功率以及第一预设波长的第一光信号，且所述第一光信号透过所述输入镜进入所述金刚石晶体；所述金刚石晶体，用于利用SRS效应，使所述第一光信号转换为Stokes光信号并经所述第一反射镜进入所述第一倍频晶体；所述第一倍频晶体，用于利用二阶非线性效应，使所述Stokes光信号转换为倍频光信号，并经过所述输出镜输出；所述锁腔倍频部，用于对所述倍频光信号进行二次倍频从而产生并输出稳定的窄线宽紫外激光。所述Stokes光在由输入镜、第二反射镜和输出镜组成的拉曼振荡器中振荡，透过第二反射镜剩余的泵浦光经过第三反射镜后，重新进入并聚焦在金刚石晶体中以提高泵浦光的利用率。
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公开(公告)号：CN114122875A
公开(公告)日：2022-03-01
申请号：CN202111414291.5
申请日：2021-11-25
Applicant: 河北工业大学
Abstract: 本发明公开了一种基于波导形增益介质的空间运转布里渊激光器，包括：泵浦源，泵浦源发出第一频率的泵浦光，依次通过电光调制模块、光隔离器、第三二分之一波片和透镜组后，进入由第一平面反射镜、第二平面反射镜、第一凹面反射镜、布里渊波导介质和第二凹面反射镜组成的环形布里渊振荡器；泵浦光在布里渊波导介质中激发出第二频率的斯托克斯光，通过第二平面镜透射的泵浦光信号进入光电探测器，在锁腔器中与电光调制模块的本振信号进行混频产生误差信号，进而反馈到泵浦激光器中实现对泵浦频率的调节，满足谐振腔长度与布里渊频移的匹配。本发明结合波导结构和自由空间结构的优点，采用环形腔结构结合频率锁定技术大幅降低布里渊产生阈值，提高布里渊转换效率和稳定性。
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公开(公告)号：CN112928592A
公开(公告)日：2021-06-08
申请号：CN202110341083.0
申请日：2021-03-30
Applicant: 河北工业大学
Abstract: 本发明为一种输出脉宽连续可调谐的液体激光压缩器。该压缩器包括泵浦光源，该压缩器还包括控温系统和受激布里渊散射压缩池，通过控温系统控制受激布里渊散射压缩池内介质温度。压缩器包括依次按顺序设置的泵浦光源(1)、光束隔离系统(2)、光束分离系统(3)、温控模块(4)、TEC制冷片(5)，受激布里渊散射压缩池(6)、凹面反射镜(7)构成。受激布里渊散射压缩池(6)内的液体布里渊介质的布里渊参数随温度变化，通过控温系统控制介质池温度实现输出脉宽连续可调特性。本发明提供的脉宽可调节压缩器，结构简单可靠、亚纳秒输出、负载高、且有相位共轭的特性，有很高的工程适用性和商业价值。
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