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公开(公告)号：CN112033978B
公开(公告)日：2021-09-28
申请号：CN202010856284.X
申请日：2020-08-24
Applicant: 江南大学
Abstract: 本发明公开了一种生物传感器，包括传感器晶元，测量Pad点，差分电感线圈，空气桥结构，点阵列电容，电容上级板、电容下极板。制备方法如下：将氮化镓介质层沉积到晶元表面；将Ti/Au作为第一层种子金属；利用光刻胶来定义下层金属、SiNx介质层、空气桥柱、空气桥金属所需的结构，将下层金属、上层金属电镀到种子金属上；将氮化镓钝化层沉积到晶元表面；定义接触电极Pad的结构；将上述步骤所得的半成品晶元进行背面打磨、抛光、切割、金属跳线键合、以及封装。本发明通过相互缠绕型差分电感和圆形点阵列电容串联形成微波谐振器器件，在提高器件品质因数的同时，极大的减小了器件所占的芯片尺寸；解决了微波器件测量生物标记物溶液浓度时灵敏度不高的问题。
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公开(公告)号：CN112034018A
公开(公告)日：2020-12-04
申请号：CN202010857225.4
申请日：2020-08-24
Applicant: 江南大学
Abstract: 本发明公开了一种基于PDMS微流体通道的葡萄糖生物传感器、制备方法及应用，包括玻璃基板，作为承载体；金属结构，设于玻璃基板上；微流体通道，与玻璃基板上的金属结构对准且键合。制备方法包括如下步骤：在玻璃基板上构建金属结构；制备PDMS微流体通道；对玻璃基板上的金属结构和PDMS微流体通道的表面进行氧等离子体处理，采用射频磁控溅射室产生等离子体，并且在50W，6.5Pa气压条件下，作用时间30s；将等离子体处理后的玻璃基板和PDMS微流体通道进行对准，二者对准后再进行压紧，并在95℃的热板上静置30mins，即可完成电容型葡萄糖生物传感器的加工。本发明采用单层金属结构的传感器设计，能够应用在生物传感器领域、微波谐振器领域。
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公开(公告)号：CN117019245B
公开(公告)日：2024-08-23
申请号：CN202310999293.8
申请日：2023-08-09
Applicant: 江南大学
Abstract: 本发明涉及一种基于螺旋微流控阵列的分选检测一体化传感芯片及其应用，芯片包括基板和微流控芯片，基板具有微波谐振传感单元；微流控芯片键合于基板上；微波谐振传感单元包括微带传输线、低频谐振器和高频谐振器，低频谐振器和高频谐振器围绕所述微带传输线对称设置，构成双分裂开口环结构；微流控芯片采用螺旋微流控芯片。本发明采用低频谐振器和高频谐振器围绕微带传输线对称设置，构成双分裂开口环结构，能够进一步增强开口环与微带传输线之间的耦合作用，提高了其微波介电检测灵敏度，并且能够分别在两个不同的频段发生谐振，相互独立工作，互不干扰。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN116832887B
公开(公告)日：2024-08-20
申请号：CN202311031550.5
申请日：2023-08-16
Applicant: 江南大学
Abstract: 本发明涉及一种基于细胞分选与检测集成的微流控生物传感芯片，包括微流控分选阵列和微波谐振器，微流控分选阵列具有多级分选通道，分选通道上设置有定量腔，分选通道用于对细胞进行分离；微波谐振器包括两个单通带滤波器，两个单通带滤波器共用输入输出耦合馈电结构，微波谐振器具有敏感区域，敏感区域与微流控分选阵列的定量腔键合。本发明通过共用输入输出耦合馈电结构，将两个可独立控制的单通带滤波器进行结合设计，并结合多级分选通道提供细胞分选与检测功能集成的微流控生物传感芯片。
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公开(公告)号：CN117887564A
公开(公告)日：2024-04-16
申请号：CN202311137758.5
申请日：2023-09-05
Applicant: 江南大学
Abstract: 本发明涉及一种应用于CTCs和WBCs的细胞分选一体化传感芯片，包括微流控阵列芯片和微波电容阵列传感器，微流控阵列芯片包括多个螺旋微流控分选流道和微流控通道单元，微流控通道单元连通螺旋微流控分选流道，使用多个螺旋微流控分选流道对多种粒径大小不同的细胞进行分选后传输至微流控通道单元；微波电容阵列传感器包括基板以及设置于基板上的金属电容传感结构，金属电容传感结构包括细胞测量单元，细胞测量单元与微流控通道单元键合。本发明利用微流控阵列芯片和微波电容阵列传感器能够快速、准确的进行细胞分选和浓度预测，可操作性强。
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公开(公告)号：CN117054487A
公开(公告)日：2023-11-14
申请号：CN202311090363.4
申请日：2023-08-28
Applicant: 江南大学
IPC: G01N27/04
Abstract: 本发明涉及一种基于铝微米线3D结构的高灵敏谐振器型气体传感器及应用，传感器包括基板和微米线3D结构，基板具有沿厚度方向设置的金属层，基板上设置有通孔，基板上沿着第一方向设置有第一传输线和第二传输线，第一传输线和第二传输线之间设置有金属板，第一方向与基板的厚度方向垂直；微米线3D结构包括主跳线、子跳线和跨接跳线，子跳线在金属板上平行排列，主跳线连接第一传输线和第二传输线，且主跳线与子跳线互相平行，跨接跳线连接金属板对角方向的通孔，跨接跳线横跨在所述主跳线上，形成带阻谐振器结构。本发明采用微米线3D结构的传感器设计，利用wi re‑bond i ng工艺进行微米线连接，相比于传统的平面微波传感器，降低了加工成本和难度，加工时间也大幅缩减；同时，相比于半导体微米线，铝微米线不需要较好的加工环境，在普通环境下就可以加工，极大降低了工艺成本，易于规模化生产；同时，一块基板上可以重复加工多次铝微米线，可行性高。
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公开(公告)号：CN116832887A
公开(公告)日：2023-10-03
申请号：CN202311031550.5
申请日：2023-08-16
Applicant: 江南大学
Abstract: 本发明涉及一种基于细胞分选与检测集成的微流控生物传感芯片，包括微流控分选阵列和微波谐振器，微流控分选阵列具有多级分选通道，分选通道上设置有定量腔，分选通道用于对细胞进行分离；微波谐振器包括两个单通带滤波器，两个单通带滤波器共用输入输出耦合馈电结构，微波谐振器具有敏感区域，敏感区域与微流控分选阵列的定量腔键合。本发明通过共用输入输出耦合馈电结构，将两个可独立控制的单通带滤波器进行结合设计，并结合多级分选通道提供细胞分选与检测功能集成的微流控生物传感芯片。
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公开(公告)号：CN112033978A
公开(公告)日：2020-12-04
申请号：CN202010856284.X
申请日：2020-08-24
Applicant: 江南大学
Abstract: 本发明公开了一种生物传感器，包括传感器晶元，测量Pad点，差分电感线圈，空气桥结构，点阵列电容，电容上级板、电容下极板。制备方法如下：将氮化镓介质层沉积到晶元表面；将Ti/Au作为第一层种子金属；利用光刻胶来定义下层金属、SiNx介质层、空气桥柱、空气桥金属所需的结构，将下层金属、上层金属电镀到种子金属上；将氮化镓钝化层沉积到晶元表面；定义接触电极Pad的结构；将上述步骤所得的半成品晶元进行背面打磨、抛光、切割、金属跳线键合、以及封装。本发明通过相互缠绕型差分电感和圆形点阵列电容串联形成微波谐振器器件，在提高器件品质因数的同时，极大的减小了器件所占的芯片尺寸；解决了微波器件测量生物标记物溶液浓度时灵敏度不高的问题。
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