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公开(公告)号:CN108342690A
公开(公告)日:2018-07-31
申请号:CN201810182729.3
申请日:2018-03-06
Applicant: 武汉理工大学
CPC classification number: C23C14/35 , C23C14/086 , H01B5/14 , H01B13/00
Abstract: 本发明公开了一种高方阻掺镓氧化锌透明导电薄膜及其制备方法。所述透明导电薄膜采用镓掺杂氧化锌材料,所述透明导电薄膜中氧化锌的质量百分比为99~90wt.%,所述透明导电薄膜中氧化镓元素的质量百分比为1~10wt.%,所述透明导电薄膜的膜厚为40nm≤d≤100nm。该制备方法包括以下步骤:1)提供清洗后的洁净玻璃衬底;2)将玻璃衬底固定到镀膜真空室旋转基片台;真空室背底真空低于2.5×10-3Pa;3)采用射频磁控溅射镀膜工艺镀制薄膜。本发明中的高方阻掺镓氧化锌透明导电薄膜,其光学性能满足550nm可见光透射率>80%;其方块电阻R□>150kΩ/□。而且,该薄膜能够连续成膜,成膜均匀性佳,特别适用于IPS液晶显示器。
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公开(公告)号:CN106565113A
公开(公告)日:2017-04-19
申请号:CN201610970058.8
申请日:2016-11-03
Applicant: 武汉理工大学
Abstract: 本发明提供一种多彩不导电金属光泽印刷镀膜装饰玻璃及其制备方法。该玻璃包括玻璃基板及设置于玻璃基板表面的反射膜层和装饰图案,反射膜层和装饰图案按顺序依次设置于玻璃基板表面或者装饰图案和反射膜层按顺序依次设置于玻璃基板表面,反射膜层按顺序依次包括SiOx膜层和光泽膜层,光泽膜层包括氧化物膜层、氮氧化物膜层或氮化物膜层中的任意一种或两种以上膜层的依次叠加以及最外层氮化不锈钢膜层。该玻璃采用磁控溅射的方式镀膜。该玻璃的可见光反射率从45~70%可调,在视窗内部的光线亮度/强度大于视窗外部时,外部可以在无印刷图案部位观察内部;光泽膜与印刷图案协同,使印刷图案更加靓丽逼真;生产过程中不产生环境污染。
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公开(公告)号:CN104310798B
公开(公告)日:2017-01-11
申请号:CN201410534503.7
申请日:2014-10-10
Applicant: 武汉理工大学
IPC: C03C17/34
Abstract: 本发明公开了一种热致反射红外线镀膜玻璃的制备方法。包括以下步骤:在高硼硅玻璃基片上采用磁控溅射方法镀制二氧化硅隔离层;在隔离层上采用磁控溅射方法镀制金属钒膜层;以钒金属或钨掺杂钒金属为靶材;在红外线反射层上采用磁控溅射方法镀制二氧化硅膜作为减反射层得到镀膜玻璃;在大气环境、空间温度600~750℃下热处理,所述金属钒膜层氧化形成红外线反射层,同时镀膜玻璃被钢化。制备工艺简单、方法成熟;制备过程无污染;得到的镀膜玻璃的膜层热处理与镀膜玻璃钢化一次完成,能够反射红外线、减少可见光反射,提高玻璃的抗热冲击。
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公开(公告)号:CN102060447A
公开(公告)日:2011-05-18
申请号:CN201010562026.7
申请日:2010-11-26
Applicant: 武汉理工大学
IPC: C03C17/23
Abstract: 具有防止静电和截止紫外线双功能的透明镀膜玻璃及其制备方法。该镀膜玻璃是在玻璃基片上直接镀制锑掺杂氧化锡纳米颗粒与氧化钛和氧化铈混合膜层制成,其结构是:锑掺杂氧化锡纳米颗粒与氧化钛和氧化铈混合膜层-玻璃基片-锑掺杂氧化锡纳米颗粒与氧化钛和氧化铈混合膜层,或者是锑掺杂氧化锡纳米颗粒与氧化钛和氧化铈混合膜层-玻璃基片;锑掺杂氧化锡纳米颗粒与氧化钛和氧化铈混合膜层中,各组份质量百分比为:锑掺杂氧化锡纳米颗粒1%~50%,氧化钛+氧化铈50%-99%;锑掺杂氧化锡纳米颗粒中,锑量为锡质量的3%~10%;膜层厚度150~500nm。本镀膜玻璃平均可见光透过率≥75%,紫外线截止率≥95%,方块电阻为104~107Ω,可用于玻璃封装盖板、橱窗及电子面板等领域。
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公开(公告)号:CN1603267A
公开(公告)日:2005-04-06
申请号:CN200410061019.3
申请日:2004-10-29
Applicant: 武汉理工大学
CPC classification number: C03C2217/74
Abstract: 本发明涉及一种在玻璃基板上镀制具有紫外线截止功能膜层的玻璃及其制备方法。紫外线截止镀膜玻璃,包括玻璃基片,其特征是:玻璃基片上镀有氧化钛-氧化铈膜层。紫外线截止镀膜玻璃的制备方法,其特征是包括如下步骤:1).首先对待镀膜玻璃基片进行清洗、干燥后,进行预真空过渡;2).然后采用磁控溅射镀制方法镀制膜层:a).配制靶材,靶材由氧化钛和氧化铈组成,氧化钛和氧化铈各组份所占质量百分比为:氧化钛10-90%,氧化铈10-90%;b).在纯氩气或氧氩混合气体氛围中对玻璃基片进行磁控溅射镀膜得产品,溅射气压范围为0.10Pa-3.0Pa。紫外线截止镀膜玻璃的紫外线截止率高,不影响玻璃的可见光透射率;其制备方法简单灵活。
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公开(公告)号:CN1562843A
公开(公告)日:2005-01-12
申请号:CN200410012951.7
申请日:2004-03-31
Applicant: 武汉理工大学
Abstract: 一种氮化钛基低辐射自洁净镀膜玻璃,采用磁控溅射法生产,其膜层结构从基片玻璃至外层为:玻璃、过渡层、电介质层、TiNx、金属层、二氧化钛层。TiNx膜层具有反射红外线的能力,降低玻璃的辐射率,达到隔热节能的作用;二氧化钛膜层使玻璃具有自洁净性能,同时与电介质层匹配,减少该镀膜玻璃的可见光反射率。通过适当的热处理使微量的TiNx分解、造成微量的N扩散到二氧化钛膜面,使该镀膜玻璃有低辐射率、高的光催化降解有机物的效率、好的亲水性。利用TiNx代替常用的银层,降低了成本,提高了理化稳定性,本镀膜玻璃可以与空气直接接触使用。通过改变TiNx中x的值以及电介质层和二氧化钛的厚度,可以使该镀膜玻璃的颜色从蓝色到橙黄色变化。
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公开(公告)号:CN109797370A
公开(公告)日:2019-05-24
申请号:CN201910168843.5
申请日:2019-03-06
Applicant: 武汉理工大学
Abstract: 本发明涉及一种玻璃基透射可见光的类金刚石(DLC)复合增硬薄膜及其制备方法。该玻璃基DLC复合增硬薄膜是在玻璃基片表面用磁控溅射工艺沉积碳氧化硅过渡层和DLC层,所述薄膜结构为碳氧化硅过渡层/DLC薄膜。该玻璃基DLC复合增硬薄膜在满足光学性能的同时又具有良好的硬度,而且不易脱落。
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公开(公告)号:CN104608441B
公开(公告)日:2016-05-11
申请号:CN201510015904.6
申请日:2015-01-13
Applicant: 武汉理工大学
Abstract: 本发明提供一种岛状结构金属膜层镀膜玻璃,所述岛状结构金属膜层镀膜玻璃包括玻璃基片以及从所述玻璃基片表面依次向外的金属氧化物颜色调整膜层、岛状结构金属膜层及金属氧化物保护膜层;其中,岛状结构金属膜层利用等离子体轰击形成,所述金属氧化物颜色调整膜层、岛状结构金属膜层及金属氧化物保护膜层中的金属元素均相同。本发明还提供该岛状结构金属膜层镀膜玻璃的制备方法。本发明的溅射镀膜的膜层成分简单、溅射靶材费用低,根据膜层的厚度可以调整镀膜玻璃颜色、可见光的透射率,部分透射红外线;生产过程没有三废排放;可以在现有生产线上连续生产。
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公开(公告)号:CN104608441A
公开(公告)日:2015-05-13
申请号:CN201510015904.6
申请日:2015-01-13
Applicant: 武汉理工大学
Abstract: 本发明提供一种岛状结构金属膜层镀膜玻璃,所述岛状结构金属膜层镀膜玻璃包括玻璃基片以及从所述玻璃基片表面依次向外的金属氧化物颜色调整膜层、岛状结构金属膜层及金属氧化物保护膜层;其中,岛状结构金属膜层利用等离子体轰击形成,所述金属氧化物颜色调整膜层、岛状结构金属膜层及金属氧化物保护膜层中的金属元素均相同。本发明还提供该岛状结构金属膜层镀膜玻璃的制备方法。本发明的溅射镀膜的膜层成分简单、溅射靶材费用低,根据膜层的厚度可以调整镀膜玻璃颜色、可见光的透射率,部分透射红外线;生产过程没有三废排放;可以在现有生产线上连续生产。
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公开(公告)号:CN1286759C
公开(公告)日:2006-11-29
申请号:CN200410061018.9
申请日:2004-10-29
Applicant: 武汉理工大学
Abstract: 本发明属于建筑玻璃材料、汽车用玻璃材料和照明灯具玻璃技术领域。截止紫外线/反射红外线双重功能镀膜玻璃,包括玻璃基片,其特征是:玻璃基片上镀有红外线反射膜层和紫外线截止膜层;紫外线截止膜层为氧化钛-氧化铈膜层,氧化钛和氧化铈的质量比例为10-90%∶10-90%;红外线反射膜层为透明宽带隙半导体氧化物膜层,透明宽带隙半导体氧化物膜层为下列3种之一:(a)In2O3∶Sn膜层,(b)SnO2∶Sb膜层,(c)ZnO∶Al膜层;In2O3∶Sn膜层中,In2O3∶Sn的质量比例为50.0%~99.0%∶1.0%~50.0%;SnO2∶Sb膜层中,SnO2∶Sb的质量比例为80.0%~99.9%∶0.1%~20.0%;ZnO∶Al膜层中,ZnO∶Al的质量比例为85.0%~99.9%∶0.1%~15.0%。本发明紫外线截止率高,不影响玻璃的可见光透射率;并且具有节能功能。其制备方法简单。
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