公开(公告)号：CN104419935A

公开(公告)日：2015-03-18

申请号：CN201410421139.3

申请日：2014-08-25

Applicant: 横河电机株式会社 ,  学校法人早稻田大学

Inventor： 新谷幸弘 ,  猿谷敏之 ,  川原田洋

IPC: C23F4/00 ,  C23C16/44 ,  H01L21/335 ,  G01N27/414

CPC classification number: H01L21/042 ,  C23C16/27 ,  C23C16/56 ,  G01N27/4145 ,  H01L21/3065 ,  H01L29/66045

Abstract: 本发明的一个实施方式的金刚石薄膜的表面处理方法中，根据需要的金刚石薄膜的表面特性，进行在不在金刚石薄膜的表面上沉积氟碳化合物的沉积膜的情况下将金刚石薄膜的氢终端的一部分取代为氟终端的第一取代处理、以及一边在金刚石薄膜的表面上沉积氟碳化合物的沉积膜一边将金刚石薄膜的氢终端的一部分取代为氟终端的第二取代处理中的任意一者的处理。本发明还提供晶体管的制造方法和传感器元件。

公开(公告)号：CN1651886A

公开(公告)日：2005-08-10

申请号：CN200410096539.8

申请日：2004-11-30

Applicant: 横河电机株式会社

Inventor： 加藤晓之 ,  猿谷敏之

IPC: G01L9/00

CPC classification number: G01L9/0051 ,  G01L9/0054 ,  G01L19/145

Abstract: 本发明是关于一种压力感应器及压力感应器的制造方法，一个压力感应器中，具有一个底座，该底座上有一个孔，其上施加压力，并具有电气绝缘及机械绝缘的作用；一个感应器，包括连接于该孔的膜片，及一个用于将作用于该膜片的应变转化成一个电信号的应变计；该感应器被组装于该底座上，该底座具有一定的厚度，以保证当被施加一个静态压力时，该应变不会发生变化。