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公开(公告)号：CN116481438A
公开(公告)日：2023-07-25
申请号：CN202310491899.0
申请日：2023-05-04
Applicant: 桂林电子科技大学
IPC: G01B11/02
Abstract: 本发明提供的是一种考虑安装误差的光栅读数头非一致性误差补偿方法，属于精密测量领域。所述补偿方法包括：对安装误差进行定义、选取和分析，将安装误差项范围进行设定；通过各误差相互对比得到不同安装误差下的模型误差变化量，建立含有安装误差的位移测量模型；规划测量路径，设定测量点，采用3个读数头模型计算工作台位置，并由工作台位置计算出读数头4位移；将计算位移和实测位移做差，得到第4读数头差值位移面型；利用位移面型拟合与X、Y位置系数，补偿实际位置处的读数头4位移面型。本发明可用于运动台安装误差和读数头非一致性误差分析、光栅尺位移测量系统的位移测量优化、机床定位、校准。
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