公开(公告)号：CN101417205A

公开(公告)日：2009-04-29

申请号：CN200810176742.4

申请日：2002-11-29

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 篠原丰司 ,  森洋一 ,  铃木康彦 ,  青野弘 ,  白尾祐司

IPC: B01D53/34 ,  B01D53/68 ,  B01D53/86 ,  F23G7/06

CPC classification number: F23J15/08 ,  B01D53/1456 ,  B01D53/62 ,  B01D53/68 ,  B01D53/70 ,  B01D53/864 ,  B01D53/8659 ,  F23G7/063 ,  F23J15/006 ,  F23J2215/301 ,  F23J2215/40 ,  F23J2219/10 ,  F23J2219/30 ,  F23J2219/40 ,  F23J2219/60 ,  Y02A50/2341

Abstract: 一种处理废气的装置，其具有预处理部分，用于从废气中除去粉末成分、水溶性成分和水解成分中的至少一个，所述废气含有氟化合物和CO中的至少一个；加热氧化分解部分，用于进行所述氟化合物和CO中的至少一个的加热氧化分解，以净化所述废气。该装置具有后处理部分，用于后处理由加热氧化分解所产生的酸性气体如HF。本发明还涉及一种处理废气的方法，该废气含有氟化合物和CO中的至少一个，该方法包括：从所述废气中除去粉末成分、水溶性成分和水解成分中的至少一个；将O2和H2O加入所述废气中；加热所述废气，以分解或氧化废气中的氟化合物和CO中的至少一个；以及从已分解或氧化的废气中除去在氟化合物分解时产生的酸性气体。