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公开(公告)号：CN111726102A
公开(公告)日：2020-09-29
申请号：CN202010205181.7
申请日：2020-03-20
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 本发明提供一种能够减小杂散的弹性波装置。一种弹性波装置(1)，其中，层叠有高声速构件(2)、由钽酸锂构成的压电层(3)、IDT电极(4)，在高声速构件(2)传播的体波的声速比在压电层(3)传播的弹性波的声速高，在高声速构件(2)传播的快横波体波声速Vsub相对于根据下述的式(1)求出的SH0模式的声速Vsh0和具有SH0模式以上的声速的成为杂散的模式的声速Vsp为Vsh0≤Vsub≤Vsp。
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公开(公告)号：CN111446942A
公开(公告)日：2020-07-24
申请号：CN202010061671.4
申请日：2020-01-15
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 永友翔
Abstract: 提供一种弹性波装置，能够抑制由反射镜模式引起的寄生。弹性波装置(1)具备：支承基板(2)；设置在支承基板(2)上的声反射膜(7)；设置在声反射膜(7)上且具有第一主面(4a)和第二主面(4b)的压电体层(4)；设置在压电体层(4)的第一主面(4a)上及第二主面(4b)上的第一平板电极(5)及第二平板电极(6)(激励电极)。声反射膜(7)具有交替层叠的高声阻抗层和低声阻抗层。高声阻抗层及低声阻抗层中的至少一层是纵波声阻抗及横波声阻抗中的至少一方实质上相同的第一材料层(12A)及第二材料层(12B)的层叠体。在第一材料层(12A)及第二材料层(12B)之间的界面(12c)设置有凹凸。
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公开(公告)号：CN110999080A
公开(公告)日：2020-04-10
申请号：CN201880051492.3
申请日：2018-07-20
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 本发明提供一种在其它弹性波滤波器中不易产生由高阶模造成的纹波的弹性波装置。弹性波装置(1)具备：支承基板(2)，是硅基板；氮化硅膜(3)，层叠在支承基板(2)上；氧化硅膜(4)，层叠在氮化硅膜(3)上；压电体(5)，层叠在氧化硅膜(4)上，且由钽酸锂构成；以及IDT电极(6)，设置在压电体(5)的一个主面，关于压电体的波长归一化膜厚TLT、压电体的欧拉角θLT、所述氮化硅膜的波长归一化膜厚TN、氧化硅膜(4)的波长归一化膜厚TS、通过所述IDT电极的波长归一化膜厚和所述IDT电极的密度相对于铝的密度之比的积求出的、换算为铝的厚度的IDT电极(6)的波长归一化膜厚TE、支承基板(2)的传播方向Ψsi、支承基板(2)的波长归一化膜厚TSi的值，TLT、θLT、TN、Ts、TE、ψsi被设定为由下述的式(1)表示的与第一高阶模的响应强度对应的Ih、与第二高阶模的响应强度对应的Ih、以及与第三高阶模的响应强度对应的Ih中的至少一个大于-2.4，且Tsi＞20。[数学式1]
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公开(公告)号：CN119769026A
公开(公告)日：2025-04-04
申请号：CN202380055800.0
申请日：2023-08-24
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 提供能够推进滤波器装置的小型化且能够抑制滤波器特性的劣化的弹性波装置。本发明所涉及的弹性波装置（10）具备：第一弹性波谐振器（10A），其具有包括第一压电层（压电层（14））的第一压电膜，该第一压电层包括压电体；以及至少一个第二弹性波谐振器（10B），其与第一弹性波谐振器（10A）电连接，具有包括第二压电层（压电层（14））的第二压电膜和设置在第二压电层上的IDT电极（31），该第二压电层包括压电体。第一弹性波谐振器（10A）包括：第一梳形电极，其设置在第一压电层上，具有第一汇流条、以及一端与第一汇流条分别连接的多个第一电极指（25），第一梳形电极与输入电位连接；第二梳形电极，其设置在第一压电层上，具有第二汇流条、以及一端与第二汇流条分别连接且与多个第一电极指（25）相互交错对插的多个第二电极指（26），第二梳形电极与输出电位连接；以及第三电极，其具有多个第三电极指（27）和将相邻的第三电极指（27）彼此连接的连接电极（第三汇流条（24）），多个第三电极指分别设置在第一压电层上，使得在俯视时，在第一电极指（25）及第二电极指（26）排列的方向上，与第一电极指（25）及第二电极指（26）排列，第三电极与不同于第一梳形电极及第二梳形电极的电位连接。第一电极指25、第二电极指（26）及第三电极指（27）排列的顺序在从第一电极指25开始的情况下是将第一电极指（25）、第三电极指（27）、第二电极指（26）及第三电极指（27）作为一个周期的顺序。第二弹性波谐振器（10B）的IDT电极（31）具有彼此相互交错对插的多个第四电极指（35）及多个第五电极指（36）。第二弹性波谐振器（10B）是串联臂谐振器或并联臂谐振器。
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公开(公告)号：CN119605080A
公开(公告)日：2025-03-11
申请号：CN202380056158.8
申请日：2023-08-25
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/145
Abstract: 课题在于在利用厚度剪切模式的体波的弹性波装置中抑制在比谐振频率低且位于谐振频率附近的频率处产生的无用波。为了解决该课题，具有一个第1质量附加膜（24A）以及一个第2质量附加膜（24B），第1质量附加膜（24A）遍及第1边缘区域（E1）以及第1间隙区域（G1）而设置，第2质量附加膜（24B）遍及第2边缘区域（E2）以及第2间隙区域（G2）而设置。在将第1质量附加膜（24A）以及第2质量附加膜（24B）的间隙区域以及边缘区域的长度分别设为LG1、LE1以及LG2、LE2时，满足LG1≠LG2、LE1≠LE2之中至少一者，通过设为这种结构，使产生无用波的频率分散，由此抑制无用波。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN119547328A
公开(公告)日：2025-02-28
申请号：CN202380052897.X
申请日：2023-08-03
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/145
Abstract: 提供一种弹性波装置，能够推进滤波器装置的小型化，并且能够降低连接于基准电位的布线的电阻。本发明涉及的弹性波装置（10）具备：压电性基板（12），包括具有彼此相互对置的第1主面（14a）以及第2主面（14b）的压电层（14）、和层叠在压电层（14）的第2主面（14b）的支承构件；第1梳形电极（17），设置在压电层（14）的第1主面（14a），具有第1汇流条（22）和一端分别与第1汇流条（22）连接的多个第1电极指（25），并且连接于输入电位；第2梳形电极（18），设置在压电层（14）的第1主面（14a），具有第2汇流条（23）和一端分别与第2汇流条（23）连接的多个第2电极指（26），并且连接于输出电位，多个第2电极指（26）与多个第1电极指（25）相互交错对插；和基准电位电极（19），具有分别设置在压电层（14）的第1主面（14a）使得在第1电极指（25）以及第2电极指（26）排列的方向上与第1电极指（25）以及第2电极指（26）并排的多个第3电极指（27）、与多个第3电极指（27）分别连接的多个连接电极、和通过多个连接电极与多个第3电极指（27）电连接的第3汇流条（24），并且连接于基准电位。第1电极指（25）、第2电极指（26）以及第3电极指（27）排列的顺序在从第1电极指（25）开始的情况下是将第1电极指（25）、第3电极指（27）、第2电极指（26）以及第3电极指（27）设为一个周期的顺序。第3汇流条（24）被设置为与多个第3电极指（27）至少夹着压电层（14）对置。多个连接电极通过至少贯穿压电层（14）从而将第3汇流条（24）和多个第3电极指（27）连接。
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公开(公告)号：CN116671012A
公开(公告)日：2023-08-29
申请号：CN202280008921.5
申请日：2022-01-07
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 永友翔
IPC: H03H9/25
Abstract: 本发明提供一种能够充分地抑制由瑞利波引起的纹波的弹性波装置。弹性波装置在支承基板(3)上直接或间接地层叠有压电层(5)，在压电层(5)的第1主面(5a)设置有第1IDT电极(6)，将构成第1IDT电极(6)的金属膜的用波长λ进行了标准化的厚度设为te，将压电层(5)的用波长λ进行了标准化的厚度设为tp，设te/tp＝x，将用金属膜的厚度te对上述金属膜的总质量进行了标准化的平均密度设为y[g/cm3]，此时，下述的式(1)所示的F(x)为10以下，F(x)＝Ax2+Bx+C…式(1)另外，在式(1)中，A以及B由下述的式(2)以及式(3)表示，C＝19，A＝1.0392y2+8.4182y‑45.223…式(2)B＝0.0334y2‑11.363y+28.984…式(3)。
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公开(公告)号：CN116508261A
公开(公告)日：2023-07-28
申请号：CN202180076839.1
申请日：2021-12-14
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/25
Abstract: 提供一种弹性波装置，在为弹性波谐振器的情况下能够缩窄分数带宽，在用于带通型滤波器的情况下能够缩窄带宽或者提高陡度。在弹性波装置(1)中，在支承基板(2)上直接或间接地层叠有压电层(5)，在压电层(5)上设置有IDT电极(6)，交叉区域(K)具有中央区域(C)、第一边缘区域(E1)及第二边缘区域(E2)，第一导电层(4A)及第二导电层(4B)被设置为，设置于压电层(5)的第二主面(5b)侧，在俯视下，与第一边缘区域(E1)及第二边缘区域(E2)中的至少一部分重叠，并且与第一汇流条(7b)及第二汇流条(8b)中的至少一部分重叠。
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