-
公开(公告)号:CN100529815C
公开(公告)日:2009-08-19
申请号:CN02156957.6
申请日:2002-09-20
CPC classification number: G02B1/113 , C23C14/0694 , C23C14/32
Abstract: 本发明提供光学特性和耐磨耗性优良、并且能够在低温下形成的光学系统的膜结构。在用于把可见光透射率调整为任意值的光学系统(101)中,使光学系统(101)的至少一部分由具有3nm以上并且10nm以下的结晶粒径的氟化物(103)构成。该氟化物(103)还具有1~5m2/g的比表面积。
-