高频天线及等离子处理装置
    12.
    发明公开

    公开(公告)号:CN113539774A

    公开(公告)日:2021-10-22

    申请号:CN202110367273.X

    申请日:2021-04-06

    Abstract: 本发明提供一种即便在用以生成等离子的高频中,亦能有效率地流通大电流的高频天线及使用该高频天线的等离子处理装置。本发明的高频天线(11)由金属纤维片所构成。本发明的等离子处理装置具备:真空容器(21),在壁部(211)具有开口部(213);高频天线(11),配置在开口部(213),由金属纤维片所构成;以及电介质制的保护板(12),以将开口部(213)气密地封闭的方式,设在与高频天线(11)相比更靠真空容器(21)的内部侧。由金属纤维片所构成的高频天线(11),由于表面积较由同形状的金属板所构成的高频天线大,因此,相对高频电流的阻抗低。因此,可更有效率地使为了生成等离子而通常使用(例如,频率13.56MHz)的高频电流,以大电流形式流通。

    粘土分散液及其制造方法、以及粘土薄膜

    公开(公告)号:CN101434481B

    公开(公告)日:2013-08-14

    申请号:CN200810181440.6

    申请日:2008-11-13

    CPC classification number: C09D1/04 C01B33/44

    Abstract: 本发明的粘土分散液的特征在于,是通过以下方法得到的,向分散有溶胀性粘土的以水为主成分的液体中,投入有机鎓离子,使其与该溶胀性粘土表面存在的亲水性阳离子进行离子交换,得到有机修饰粘土后,除去进行了交换的亲水性阳离子,将所述含有水分的状态的有机修饰粘土添加到极性有机溶剂中,由此得到分散有有机修饰粘土的粘土分散液。另外,本发明的粘土薄膜是由该有机修饰粘土形成的。

    缓冲纸
    16.
    发明授权

    公开(公告)号:CN110088369B

    公开(公告)日:2022-02-11

    申请号:CN201880005168.8

    申请日:2018-01-10

    Abstract: 本申请的发明提供一种缓冲材料和设置有所述缓冲材料的台部件。所述缓冲材料由无纺布构成,所述无纺布通过使金属纤维粘结或者缠绕而构成,其特征在于,当压缩该缓冲材料时,产生压缩变形,下述压缩变形率是5%~80%。压缩变形率=(T0-T1)/T0×100,T0是施加负荷前的缓冲材料的膜厚,T1是施加负荷并解除了所述负荷后的缓冲材料的膜厚。

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