公开(公告)号：CN116727865A

公开(公告)日：2023-09-12

申请号：CN202310099446.3

申请日：2017-10-25

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 白石雅之 ,  川辺喜雄 ,  立崎阳介 ,  柴崎祐一

IPC: B23K26/352 ,  B23K26/362 ,  B23K26/08 ,  B23K26/082 ,  B23K26/00 ,  B23K37/02 ,  B23K26/12 ,  B23K26/402 ,  B23K26/06 ,  B23K101/34 ,  B23K103/00 ,  B23K101/00

Abstract: 本发明提供一种加工装置及移动体的制造方法。加工装置(1)包括：光照射装置(11)，对物体(S、SF)的表面照射多个加工光(EL)；及第一变更装置(1121、12)，变更与物体的表面交叉的方向上的多个加工光的聚光位置(FP)的相对位置关系；且通过对物体的表面照射加工光而变更物体的一部分的厚度。

公开(公告)号：CN116727845A

公开(公告)日：2023-09-12

申请号：CN202310097391.2

申请日：2017-10-25

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 白石雅之 ,  川辺喜雄 ,  立崎阳介 ,  柴崎祐一

IPC: B23K26/142 ,  B23K26/362 ,  B23K26/12 ,  B23K26/354 ,  B23K26/03 ,  B23K26/14 ,  B64C21/10 ,  B23K26/0622 ,  B23K26/067 ,  B23K26/082 ,  B23K26/16 ,  F15D1/00

Abstract: 本发明提供一种加工装置及移动体的制造方法。加工装置(1)包括：光照射装置(11)，对物体(S、SF)的表面照射多个加工光(EL)；及第一变更装置(41e)，变更来自光照射装置的多个加工光的在物体的表面上的强度分布；且通过对物体的表面照射多个加工光而变更物体的一部分的厚度。

公开(公告)号：CN111246965A

公开(公告)日：2020-06-05

申请号：CN201780096189.0

申请日：2017-10-25

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 白石雅之 ,  江上茂树 ,  立崎阳介 ,  柴崎祐一

IPC: B23K26/362

Abstract: 加工装置(11)包括：光照射装置(11)，对形成于基材(S)的被膜(SF)照射加工光(EL)；及控制装置(18)，控制光照射装置；且通过将加工光照射至被膜而以基材不自被膜露出的方式变更被膜的一部分的厚度。

公开(公告)号：CN116604175A

公开(公告)日：2023-08-18

申请号：CN202310654693.5

申请日：2017-10-25

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 白石雅之 ,  江上茂树 ,  川辺喜雄 ,  立崎阳介 ,  柴崎祐一

IPC: B23K26/04 ,  B23K26/064 ,  B23K26/70

Abstract: 本发明提供一种加工装置、移动体的制造方法及加工方法。加工装置(1)包括：光照射装置(11)，对物体(S、SF)的表面照射加工光(EL)；及控制装置(18)，使用物体的表面特性相关的信息控制光照射装置。

公开(公告)号：CN111246966B

公开(公告)日：2023-02-28

申请号：CN201780096207.5

申请日：2017-10-25

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 白石雅之 ,  川辺喜雄 ,  立崎阳介 ,  柴崎祐一

IPC: B23K26/362

Abstract: 加工装置(1)包括：光照射装置(11)，对物体(S、SF)的表面照射多个加工光(EL)；及第一变更装置(41e)，变更来自光照射装置的多个加工光的在物体的表面上的强度分布；且通过对物体的表面照射多个加工光而变更物体的一部分的厚度。

公开(公告)号：CN111465466B

公开(公告)日：2022-10-21

申请号：CN201880080382.X

申请日：2018-12-03

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 关口慧 ,  安叶浩一 ,  上野和树 ,  白石雅之

IPC: B23K26/34 ,  B23K26/142 ,  B23K26/70 ,  B22F3/105 ,  B33Y30/00 ,  B33Y40/00

Abstract: 本发明公开了一种处理装置及方法，标记及造型方法，记录媒体及控制装置，其中，处理装置具备：具有对物体的表面照射能量束而形成熔融池的能量束照射部及于熔融池中供给造型材料的材料供给部的造型装置、以及变更物体与熔融池的位置关系的变更装置，并且将借由一面变更物体与熔融池的第1方向上的位置关系，一面于熔融池中供给造型材料，而沿着第1方向来造型的造型物的与第1方向交叉的第2方向的尺寸，基于造型物的第1方向上的位置而改变。

公开(公告)号：CN111263680A

公开(公告)日：2020-06-09

申请号：CN201780096206.0

申请日：2017-10-25

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 白石雅之 ,  江上茂树 ,  川辺喜雄 ,  立崎阳介 ,  柴崎祐一

IPC: B23K26/362

Abstract: 加工装置(1)包括：光照射装置(11)，对物体(S、SF)的表面照射加工光(EL)；第一位置变更装置(12、15、1122)，变更通过光照射装置而形成于物体的表面的照射区域(EA)及物体的至少一者的位置；及控制装置(18)，以如下方式控制第一位置变更装置，即，一面变更照射区域及物体的至少一者的位置，一面对物体的表面照射加工光而变更物体的一部分的厚度，由此形成用于减小物体的表面的相对于流体的摩擦阻力的构造。

公开(公告)号：CN111263678A

公开(公告)日：2020-06-09

申请号：CN201780096204.1

申请日：2017-10-25

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 白石雅之 ,  江上茂树 ,  川辺喜雄 ,  立崎阳介 ,  小笠原麦

IPC: B23K26/04

Abstract: 加工装置(1)包括：光照射装置(11)，对物体(S、SF)的表面照射加工光(EL)；及计测装置(71i、71j)，计测通过光照射装置而形成于物体的表面的照射区域(EA)的相对于物体的位置。

公开(公告)号：CN1973357B

公开(公告)日：2011-04-20

申请号：CN200580020398.4

申请日：2005-06-22

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 白石雅之

IPC: H01L21/027 ,  G03F7/20 ,  G21K5/02 ,  G21K5/08 ,  H05G2/00

CPC classification number: H05G2/003 ,  H05G2/005

Abstract: 在已加热的贮槽(4)内，收纳有具有Sn的原子数％小于等于15％的组成的Sn-Ga系合金。将已用压力泵加压的Sn合金导入喷嘴(1)，并从设置在真空室7内的喷嘴(1)的前端喷出液态Sn合金。从喷嘴(1)所喷出的液态Sn合金因表面张力而形成为球形，而作为靶(2)。由配置在真空室(7)的外部的Nd:YAG激光源(8)产生的激光，在透镜(9)聚光并导入真空室(7)内。将被照射了激光的靶(2)等离子体化，并辐射包含EUV光的光。

公开(公告)号：CN100559551C

公开(公告)日：2009-11-11

申请号：CN200680036526.9

申请日：2006-10-04

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 白石雅之

IPC: H01L21/027 ,  G02B5/08 ,  G03F7/20 ,  G21K1/06

CPC classification number: G02B5/085 ,  B82Y10/00 ,  G02B5/0891 ,  G03F7/70316 ,  G03F7/706 ,  G03F7/70916 ,  G03F7/70958 ,  G21K1/062

Abstract: 本发明的多层膜反射镜(2)包括基板(4)及多层膜(6)，多层膜(6)具有第1材料层(6a)及第2材料层(6b)交替地成膜在上述基板表面上的构造。上述多层膜表面附近的上述第1材料层在面内具有厚度的分布，其中，上述多层膜反射镜(2)含有：中间层(7)，其是成膜在上述多层膜表面上的Si层或含有Si之层，上述中间层表面所处的位置与上述多层膜的上述第2材料层表面所处的位置大致相同；及覆盖层(8)，其均匀地成膜在上述中间层的表面。