公开(公告)号：CN115916450A

公开(公告)日：2023-04-04

申请号：CN202080103223.4

申请日：2020-08-18

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 长坂博之 ,  川辺喜雄

IPC: B23K26/082

Abstract: 光学装置包括：第1光学系统，将第1面上的第1区域的光引导至第2面，并且将第2面设为与第1面相对的瞳面；第2光学系统，配置于第2面与第3面之间，且将第2面设为与第3面相对的瞳面；第1反射构件，设置于第1光学系统的射入侧的第1光程上，且具有摇动自如地设置的第1反射面；以及第2反射构件，设置于第1光学系统与第2光学系统之间的第2光程上，且具有摇动自如地设置的第2反射面。

公开(公告)号：CN115722792A

公开(公告)日：2023-03-03

申请号：CN202211693469.9

申请日：2017-10-25

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 白石雅之 ,  江上茂树 ,  川辺喜雄 ,  立崎阳介 ,  柴崎祐一

IPC: B23K26/00 ,  B23K26/064 ,  B23K26/082 ,  B23K26/067 ,  B23K26/14 ,  B23K26/70

Abstract: 本发明提供一种加工装置及加工方法。加工装置包括：光照射装置，包括对物体的表面照射加工光的照射光学系统；第一位置变更装置，具有偏向光学系统，使用偏向光学系统变更从照射光学系统的加工光的物体的表面上的照射位置；第二位置变更装置，变更光照射装置与物体的位置关系；及控制装置，其中控制装置以移动在物体的表面上的第一区域内的照射位置而对表面照射加工光并在第一区域内形成多个槽构造的方式控制第一位置变更装置，控制装置以变更物体的位置关系而移动在物体的表面上的与第一区域不同的第二区域内的照射位置的方式控制第二位置变更装置，控制装置以对表面照射加工光而在第二区域内形成多个槽构造的方式控制第一位置变更装置。

公开(公告)号：CN111263679B

公开(公告)日：2023-02-28

申请号：CN201780096205.6

申请日：2017-10-25

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 白石雅之 ,  川辺喜雄 ,  立崎阳介 ,  柴崎祐一

IPC: B23K26/06

Abstract: 加工装置(1)包括：光照射装置(11)，对物体(S、SF)的表面照射多个加工光(EL)；及第一变更装置(1121、12)，变更与物体的表面交叉的方向上的多个加工光的聚光位置(FP)的相对位置关系；且通过对物体的表面照射加工光而变更物体的一部分的厚度。

公开(公告)号：CN111263679A

公开(公告)日：2020-06-09

申请号：CN201780096205.6

申请日：2017-10-25

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 白石雅之 ,  川辺喜雄 ,  立崎阳介 ,  柴崎祐一

IPC: B23K26/06

Abstract: 加工装置(1)包括：光照射装置(11)，对物体(S、SF)的表面照射多个加工光(EL)；及第一变更装置(1121、12)，变更与物体的表面交叉的方向上的多个加工光的聚光位置(FP)的相对位置关系；且通过对物体的表面照射加工光而变更物体的一部分的厚度。