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公开(公告)号：CN103858212B
公开(公告)日：2016-06-08
申请号：CN201280047608.9
申请日：2012-07-24
Applicant: 株式会社富士金 , 国立大学法人东北大学
IPC: H01L21/205 , C23C16/448
CPC classification number: C23C16/4481
Abstract: 本发明提供能够使气化器内的压力的举动稳定的气化器。本发明的气化器具备：腔，其具备流入口以及流出口；加热装置，其加热该腔内；隔壁构造体(13)，其设于该腔内，并将该腔内的液体材料划分到多个区划；以及液体流通部(20)，其设于隔壁构造体(13)的下部，以容许利用隔壁构造体(13)划分的各区划之间的液体流通，所述隔壁构造体具有格子状、蜂窝状、网孔状、或管状的隔壁。
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公开(公告)号：CN102037423B
公开(公告)日：2014-02-05
申请号：CN200980118159.0
申请日：2009-03-10
Applicant: 株式会社富士金 , 国立大学法人东北大学 , 东京毅力科创株式会社
CPC classification number: G05D7/0635 , G01F1/42 , G01F7/005 , Y10T137/0379
Abstract: 本发明是使用了流量范围可变型流量控制装置的流体流量控制方法，该装置使得压力式流量控制装置的控制阀的下游侧和流体供给用管道之间的流体通道为至少两个以上的并列状流体通道，并且使流体流量特性不同的孔口分别位于所述各并列状的流体通道中，在第1流量域的流体的流量控制中，使所述第1流量域的流体流过一个孔口，并且在第2流量域的流体的流量控制中使所述第2流量域的流体流过至少另一个孔口，选定所述各孔口的流量特性，使得所述小流量的第1流量域的流体的最大控制流量小于所述大流量的第2流量域的最大控制流量的10％，在规定的流量控制误差内流量控制将第1流量域中的可能的最小流量降低。
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公开(公告)号：CN101208641B
公开(公告)日：2012-11-07
申请号：CN200680023200.2
申请日：2006-06-22
Applicant: 株式会社富士金 , 国立大学法人东北大学 , 东京毅力科创株式会社
Inventor： 大见忠弘 , 斋藤雅仁 , 日野昭一 , 岛津强 , 三浦和幸 , 西野功二 , 永濑正明 , 杉田胜幸 , 平田薰 , 土肥亮介 , 广濑隆 , 筱原努 , 池田信一 , 今井智一 , 吉田俊英 , 田中久士
CPC classification number: G05D7/0641 , G01F1/363 , G01F1/6842 , G01F1/6847 , G01F5/005 , G01F7/005 , G05D7/0635 , G05D7/0647 , G05D23/1927 , Y10T137/0379 , Y10T137/7759 , Y10T137/776 , Y10T137/8593 , Y10T137/86734 , Y10T137/86815 , Y10T137/87265 , Y10T137/87314 , Y10T137/8741 , Y10T137/87499 , Y10T137/87684
Abstract: 本发明涉及一种流量范围可变型流量控制装置，通过一台流量控制装置也能对较广的流量区域的流体进行高精度的流量控制，从而可实现流量控制装置的小型化和设备费用的降低。具体而言，在使用节流孔上游侧压力P1以及或者节流孔下游侧压力P2而以Qc＝KP1(K为比例常数)或者Qc＝KP2m(P1-P2)n(K为比例常数、m和n为常数)运算在节流孔(8)中流通的流体的流量的压力式流量控制装置中，将该压力式流量控制装置的控制阀的下游侧与流体供给用管路之间的流体通路设置为至少两个以上的并列状的流体通路，并且向上述各并列状的流体通路分别设置流体流量特性不同的节流孔，在小流量区域的流体的流量控制时使上述小流量区域的流体向一方的节流孔流通，此外，在大流量区域的流体的流量控制时使上述大流量区域的流体向另一方的节流孔切换并流通。
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公开(公告)号：CN107003236B
公开(公告)日：2020-08-11
申请号：CN201580063098.8
申请日：2015-11-20
Applicant: 株式会社富士金 , 国立大学法人东北大学
IPC: G01N21/27 , C23C16/52 , G01N21/33 , H01L21/205
Abstract: 提供一种能够通过简单的方法以不破坏的方式准确且迅速地测定规定的化学成分的直至极微量区域的浓度的浓度测定方法以及能够准确、迅速且实时地测定被测定对象中的化学成分的直至纳米级的极微量浓度范围的浓度、并具备在各种形态和方式中能够被具体化的万能性的浓度测定方法。利用分时法向被测定对象分别照射针对被测定对象而言的光吸收率不同的第一波长的光和第二波长的光，由共通的光接收传感器接收通过各波长的光的该照射而从被测定对象以光学的方式通过的各波长的光，形成同该接收相应地从所述光接收传感器输出的同第一波长的光相关的信号与同第二波长的光相关的信号的差动信号，根据该差动信号导出被测定对象中的化学成分的浓度。
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公开(公告)号：CN102597587A
公开(公告)日：2012-07-18
申请号：CN201080050629.7
申请日：2010-10-29
Applicant: 株式会社富士金 , 东京毅力科创株式会社 , 国立大学法人东北大学
IPC: F16K31/126 , F16K1/34 , F16K51/02
CPC classification number: F16K31/126 , F16K1/34 , F16K25/005 , Y10T137/776
Abstract: 本发明提供一种提高阀的开关精度的调整阀装置。调整阀装置（300）包括：具有阀体头部（310a）的阀体（310）；向阀体传递动力的动力传递部件（320a）；以能够滑动的方式内置阀体的阀箱（305）；第一波纹管（320b），相对于动力传递部件在与阀体相反一侧的位置形成第一空间（Us）；第二波纹管（320c），相对于动力传递部件在阀体一侧的位置形成第二空间（Ls）；与第一空间连通的第一配管（320d）；和与第二空间连通的第二配管（320e）。根据从供给第一空间和供给第二空间的工作流体的压力比率，从动力传递部件向阀体传递动力，由此，通过阀体头部开关形成于阀箱中的搬送路径。阀体头部的维氏硬度比阀体头部所接触的搬送路径的阀座面的维氏硬度硬，其硬度差大概是200～300Hv。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114270083A
公开(公告)日：2022-04-01
申请号：CN202080056892.0
申请日：2020-06-12
Applicant: 株式会社富士金
IPC: F16K7/14
Abstract: 本发明提供一种隔膜阀，其具备：阀体(3)，其形成有流路(2)；阀座(4)，其形成于所述流路；金属隔膜(5)，其通过相对于该阀座抵接或远离而开闭所述流路；一对夹持部(6、7)，其分别夹持该金属隔膜的两侧面的周缘部而将所述金属隔膜固定于所述阀体；以及致动器(8)，其使所述金属隔膜相对于所述阀座抵接或者远离，所述金属隔膜的阀座侧面(5a)在除了该阀座侧面与所述夹持部(7)的夹持区域(D‑C)以外的区域、且在被所述夹持区域包围的区域(C)内的至少与所述阀座的接触区域(B‑A)形成有氟树脂涂层。
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公开(公告)号：CN113647008A
公开(公告)日：2021-11-12
申请号：CN202080025996.5
申请日：2020-04-20
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明提供一种具备不停止驱动装置的通常动作，就能够检测在驱动装置中使用的压电元件的劣化的压电元件的劣化检测电路的驱动装置以及劣化检测方法。驱动装置(1)具备：压电元件(2)、电源部(3)、第一电阻(11)、第二电阻(12)、测定部以及控制部，第一电阻以及第二电阻的电阻值比压电元件的绝缘电阻值小，测定部在从电源部供给规定电压的状态下，测定第一电阻的两端的电压(第一端子(13)以及第二端子(14)之间的电压)，控制部(3)根据通过测定部的测定而得到的电压值计算压电元件的电阻值，基于所计算出的电阻值，判定压电元件是否发生了劣化。
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公开(公告)号：CN112703391A
公开(公告)日：2021-04-23
申请号：CN201980050994.9
申请日：2019-09-18
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明提供一种浓度测定方法，其在浓度测定装置中执行，所述浓度测定装置具有：供被测定流体流动的测定单元；发出向测定单元的入射光的光源；检测来自测定单元的出射光的光检测器；基于光检测器的输出计算被测定流体的吸光度以及浓度的运算部；以及测定被测定流体的温度的温度传感器，所述浓度测定方法包括：使分子结构随温度而变化的气体作为被测定流体而在测定单元内流动的工序；使由被测定流体吸收的波长的光从光源向测定单元入射，并且通过光检测器测定从测定单元出射的光的强度的工序；以及基于由温度传感器测定的温度和光检测器的输出，计算被测定流体的浓度的工序。
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公开(公告)号：CN112703388A
公开(公告)日：2021-04-23
申请号：CN201980057237.4
申请日：2019-09-17
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明提供一种浓度测定装置(100)，其具有：具有流路的测定单元(4)、光源(1)、检测从测定单元出射的光的光检测器(7)以及基于光检测器的输出来计算被测定流体的吸光度和浓度的运算部(8)，测定单元具有：单元主体、以与流路相接的方式固定于单元主体的窗部(3)以及对经由窗部而将入射到测定单元的光进行反射的反射部件(5)，窗部经由垫片(15)而通过窗按压部件(30)固定于单元主体(40)，在支撑窗部的垫片的第一面设置有环状的密封用突起部(15a)，在支撑垫片的与第一面相反的一侧的第二面的单元主体的支撑面(42)也设置有环状的密封用突起部(42a)。
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公开(公告)号：CN111989635A
公开(公告)日：2020-11-24
申请号：CN201980025060.X
申请日：2019-04-19
Applicant: 株式会社富士金
IPC: G05D7/06
Abstract: 本发明提供一种流量控制方法，其使用具备设置于流路的第一控制阀(6)、设置于第一控制阀的下游侧的第二控制阀(8)、和对第一控制阀的下游侧的流体压力进行测定的压力传感器(3)的流量控制装置(100)而进行，所述流量控制方法包含：步骤(a)，基于压力传感器的输出以成为第一流量的方式控制第一控制阀的开度，并且维持打开第二控制阀的状态，从流体以第一流量流动的状态起，关闭第一控制阀的开度；以及步骤(b)，基于压力传感器的输出，通过调整第二控制阀的开度对残留在第一控制阀的下游的压力进行控制，使流体以第二流量在第二控制阀的下游侧流动。
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