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公开(公告)号：CN111213109A
公开(公告)日：2020-05-29
申请号：CN201880066503.5
申请日：2018-10-05
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明根据利用多个流体控制设备而构成的流体供给管线整体的动作来诊断流体控制设备的异常。流体供给管线利用以流体密封方式连通的多个流体控制设备(F、V1、V2)而构成，诊断流体供给管线的异常的方法包括：阀操作工序，将流量控制装置内阀(FV)、阀(V1)和阀(V2)中的任一个或多个阀打开或关闭；压力调整工序，使自阀(V1)经由流量控制装置至阀(V2)的流路(R1、R2)内的一部分或全部为真空状态或加压状态；压力检测工序，通过压力检测机构(P1、P2)来获取流量控制装置(F)的流路内随时间推移的压力特性；以及异常判定工序，将由压力检测机构(P1、P2)获取的异常诊断时的压力特性与在同一条件下预先测定的正常时的压力特性进行对比，来判定异常的有无。
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公开(公告)号：CN111033104A
公开(公告)日：2020-04-17
申请号：CN201880051365.3
申请日：2018-08-28
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明通过提供使布线简化的阀以及搭载有该阀的流体供给管线来提高材料气体的控制的精度。阀(V)具备阀本体(3)和与阀本体(3)连结的驱动压力控制装置(4)。驱动压力控制装置(4)具有：驱动压力导入通道(431)，与管线外的驱动压力供给源(G)连接；自动阀(411)，将驱动压力导入通道(431)打开或关闭；驱动压力导入通道(433)，与阀本体(3)的驱动压力导入口(3a)连结；自动阀(412)，与自动阀(411)联动来将驱动压力导入通道(433)打开或关闭，并将从驱动压力导入通道(433)释放驱动压力的排气通路(44)打开或关闭；以及驱动压力导入通道(432)，经由自动阀(411)和自动阀(412)来连结驱动压力导入通道(431)与驱动压力导入通道(433)。
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公开(公告)号：CN111033104B
公开(公告)日：2021-12-03
申请号：CN201880051365.3
申请日：2018-08-28
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明通过提供使布线简化的阀以及搭载有该阀的流体供给管线来提高材料气体的控制的精度。阀(V)具备阀本体(3)和与阀本体(3)连结的驱动压力控制装置(4)。驱动压力控制装置(4)具有：驱动压力导入通道(431)，与管线外的驱动压力供给源(G)连接；自动阀(411)，将驱动压力导入通道(431)打开或关闭；驱动压力导入通道(433)，与阀本体(3)的驱动压力导入口(3a)连结；自动阀(412)，与自动阀(411)联动来将驱动压力导入通道(433)打开或关闭，并将从驱动压力导入通道(433)释放驱动压力的排气通路(44)打开或关闭；以及驱动压力导入通道(432)，经由自动阀(411)和自动阀(412)来连结驱动压力导入通道(431)与驱动压力导入通道(433)。
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公开(公告)号：CN111033430A
公开(公告)日：2020-04-17
申请号：CN201880051417.7
申请日：2018-08-28
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明旨在精密地监视利用多个流体控制设备所构成的流体供给管线整体。另外，抑制每个流体控制设备的动作的偏差来提高流体供给管线的精度。利用以流体密封方式连通的多个流体控制设备(F1、V11～V14)所构成的流体供给管线(L1)具有：第一连接单元，其将流体供给管线(L1)外的机构与流体供给管线(L1)上的流体控制设备(F1)进行连接；以及第二连接单元，其在流体供给管线(L1)从第一连接单元分支，来与其他流体控制设备(F1、V11～V14)进行连接。
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公开(公告)号：CN110382934A
公开(公告)日：2019-10-25
申请号：CN201880015079.1
申请日：2018-03-13
Applicant: 株式会社富士金
IPC: F16K31/122 , F16K7/17 , F16K37/00
Abstract: 本发明提供一种在内部收纳用于检测流体控制设备的异常的部件并且实现小型化的流体控制设备。另外，能够在外部容易地确认检测出流体控制设备的异常的结果。流体控制设备(1)包括：信息处理模块(5)，其设置在设备内；阀体(11)，其具有流路；致动器机体(12)，其固定于阀体(11)；壳体(13)，其为中空，固定于致动器机体(12)，并在侧面形成有贯通孔(133d)；活塞(126)，其设置在致动器机体(12)内，并且在内部形成有向驱动压导入室(S2)连通的驱动压导入路(126b)；以及导入管(21)，其为导入驱动压的管，一端插入至驱动压导入路(126b)，另一端从壳体(13)的贯通孔(133d)向外部导出。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN100341775C
公开(公告)日：2007-10-10
申请号：CN00801626.7
申请日：2000-07-21
IPC: C01B5/00
CPC classification number: B01J3/006 , B01J7/00 , B01J12/007 , C01B5/00
Abstract: 本发明的目的是提供一种安全的减压型水分发生供给装置，该装置减压供给(例如数托)水分气体，较高地保持水分发生用反应炉的内压，这样，可防止氢的自燃，本发明的另一目的是提供一种水分发生用反应炉，是通过对水分发生用反应炉高效率地进行冷却，便可在不增大反应炉尺寸的情况下使水分发生量大幅度增加的水分发生用反应炉。因此，本发明的减压型水分发生供给装置的特征在于：由水分发生用反应炉和减压机构构成，其中水分发生用反应炉是由氢和氧通过催化剂反应而发生水分气体；减压机构设在该水分发生用反应炉的下流侧，水分气体通过该减压机构减压后供给下流侧，与此同时较高地保持反应炉内的内压。本发明的散热式水分发生用反应炉由将入口侧炉主体部件和出口侧炉主体部件组合起来而形成有内部空间的反应炉主体、和贴紧在上述各炉子主体部件的外壁面上的散热片底板、及立设在该散热片底板上的多个散热用散热片构成，利用上述散热用散热片对发生的热量进行强制性辐射，使反应炉的温度降低。并且，对散热用散热片进行氧化铝膜加工，使热辐射率大幅度提高，而使散热效率进一步提高。
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公开(公告)号：CN1202987C
公开(公告)日：2005-05-25
申请号：CN00801205.9
申请日：2000-06-05
IPC: C01B5/00
Abstract: 本发明的主要目的为，更彻底地防止水分发生用反应炉体内部中氢气着火或气体供给源一侧回火的发生以及镀铂触媒层的剥离，进一步提高水分发生用反应炉的安全性，同时减少反应炉体的内部空间的未利用空间，使反应炉体进一步小型化。为此，在本发明中，有气体供给口1a的入口侧炉体构件1和有水汽出口2a的出口侧炉体构件2对置状组装，通过将两者焊接形成反应炉体A，其内部空间V内设有反射体的同时在前述出口侧炉体构件2的内壁面形成镀铂触媒层8，从气体供给口1a供给反应炉体A的内部空间V内的氢气与氧气与镀铂保护膜8b接触使其活性化反应，从而使氢气与氧气在非燃烧状态下反应，产生水。
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公开(公告)号：CN1188250C
公开(公告)日：2005-02-09
申请号：CN00815779.0
申请日：2000-11-06
IPC: B24B19/16
Abstract: 即使以一个砂轮和一台电焊条磨削机，也能够高效率且高精度地将电焊条的前端部整形成最终形状，并且能够将电焊条的头部精磨成镜面。为此，由本体1、磨削马达2、砂轮3、摇动板4、保持器导向器6、电焊条保持器7、电焊条旋转马达8、摇动板移动装置9构成电焊条磨削机；并且，电焊条A的中心线φa顺沿于与马达驱动轴2a的中心线φ相垂直的直线，同时，砂轮3的磨削部3a呈与电焊条A的最终形状相对应的形状形成，而且，在使砂轮3在磨削马达2的驱动下旋转的同时，使电焊条A在电焊条旋转马达8的驱动下旋转。
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公开(公告)号：CN1160562C
公开(公告)日：2004-08-04
申请号：CN00809901.4
申请日：2000-06-05
CPC classification number: G01N25/32 , G01N33/0013
Abstract: 本发明的主要目的是简化气体检测传感器的构造，并且在有H2O和O2存在的条件下，可高精度地检测被检测气体内的可燃性气体的浓度和含有可燃性气体的被检测气体内的氧气的浓度。为了达到上述目的，本发明的气体检测传感器是通过可燃性气体的接触反应而使传感器发热，通过该发热而发出可燃性气体的检测信号的气体检测传感器，由以下部分构成：膜片，该膜中在被检测气体所接触的接气面上具有白金镀层薄膜；第1检测传感器，该检测传感器由两种不同金属的一端分别接近上述膜片的非接气面地固定的热电偶构成，通过可燃性气体的接触反应而被加热；具有与被检测气体相接触的接气面的膜片；对被检测气体的温度进行检测的第2检测传感器，该传感器由两种不同金属的一端分别接近上述膜片的非接气面地固定的热电偶构成。
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公开(公告)号：CN1516235A
公开(公告)日：2004-07-28
申请号：CN200410003341.0
申请日：2000-07-21
IPC: H01L21/00
CPC classification number: B01J3/006 , B01J7/00 , B01J12/007 , C01B5/00
Abstract: 本发明的目的是提供一种安全的减压型水分发生供给装置，该装置减压供给水分气体，较高地保持水分发生用反应炉的内压，这样，可防止氢的自燃，本发明的另一目的是提供一种水分发生用反应炉，是通过对水分发生用反应炉高效率地进行冷却，便可在不增大反应炉尺寸的情况下使水分发生量大幅度增加的水分发生用反应炉。因此，其特征在于：由水分发生用反应炉和减压机构构成，其中水分发生用反应炉是由氢和氧通过催化剂反应而发生水分气体；减压机构设在该水分发生用反应炉的下流侧，水分气体通过该减压机构减压后供给下流侧，与此同时较高地保持反应炉内的内压。
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