公开(公告)号：CN110178002A

公开(公告)日：2019-08-27

申请号：CN201780080827.X

申请日：2017-12-22

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 日高敦志 ,  中谷贵纪 ,  山下哲 ,  杉田胜幸 ,  平田薰 ,  永濑正明 ,  西野功二 ,  池田信一

IPC: G01F23/22 ,  B01J4/00 ,  C23C16/448 ,  G05D9/12 ,  H01L21/205 ,  H01L21/31

Abstract: 本发明提供一种液面计(20)，具备：测温电阻体(R11)；位于其上方的温度测定体(R12)；检测测温电阻体以及温度测定体的温度的温度检测部(27)；以测温电阻体和温度测定体成为预定的温度差的方式，确定流动于测温电阻体的电流值的电流控制部(28)；使确定的电流值的电流流动于测温电阻体的电源部(22)；以及检测液面的位置的液面检测部(29)，液面检测部通过流动于测温电阻体的电流值的预定的一定期间的变化幅度的正负、和变化幅度是否为预定的值以上，从而检测液面相对于测温电阻体的相对位置的变化。由此，能够高精度地检测液面的位置，而不会受到测温电阻体的特性偏差的影响。

公开(公告)号：CN102016740B

公开(公告)日：2013-07-03

申请号：CN200980114746.2

申请日：2009-02-18

Applicant: 株式会社富士金

Inventor： 杉田胜幸 ,  池田信一 ,  西野功二 ,  土肥亮介 ,  平田薰 ,  中谷贵纪

IPC: G05D7/06

CPC classification number: G05D7/0635 ,  Y10T137/7762

Abstract: 本发明提供一种具备流量自身诊断功能的压力式流量控制装置的压力控制阀用压电元件驱动电路。在具备流量自身诊断功能的压力式流量控制装置的压力控制阀用压电元件驱动电路(5)中，与控制部的驱动电路并联地设置用于使控制阀高速关闭的关闭电路(8)，通过使流量自身诊断时的阀的关闭时间延迟减少，在流量自身诊断时获得高精度的诊断结果。