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公开(公告)号：CN1376941A
公开(公告)日：2002-10-30
申请号：CN02107812.2
申请日：2002-03-21
Applicant: 松下电工株式会社
CPC classification number: G02B6/1225 , B82Y20/00 , G02B2006/12145 , G02F1/0131 , G02F1/0147 , G02F1/292 , G02F1/293 , G02F1/313 , G02F2202/32
Abstract: 本发明提供了具有光学晶体的小型偏光装置,它能以可控角度偏转入射到光学晶体上的光束,从光学晶体输出具有预期方向的透射光束。该偏光装置包括光学晶体,它设计用来使与光束波长不同的光禁带波长的光入射到光学晶体上,和用于给光学晶体施加大量能量的偏转控制器,以偏转入射到光学晶体一侧的光束,和从光学晶体的另一侧提供透射光束,相对入射光束形成预期角度。
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公开(公告)号：CN1886820A
公开(公告)日：2006-12-27
申请号：CN200480034906.X
申请日：2004-10-27
Applicant: 松下电工株式会社
Abstract: 在红外辐射元件(A)中，绝热层(2)沿厚度方向形成于半导体衬底(1)的表面上，其比半导体衬底(1)具有充分小的热导率，加热层(3)形成于绝热层(2)上，其为薄层(平面)形式且比绝热层(2)具有更大的热导率和更大的电导率，用于通电的成对的焊盘(4)形成于发热层(3)上。半导体衬底(1)由硅衬底制成。绝热层(2)和加热层(3)由孔隙率彼此不同的多孔硅层形成，且加热层(3)具有小于绝热层(2)的孔隙率。通过将该红外辐射元件(A)作为气敏传感器的红外辐射源，有可能延长红外辐射源的寿命。
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公开(公告)号：CN1856440A
公开(公告)日：2006-11-01
申请号：CN200480027286.7
申请日：2004-09-21
Applicant: 松下电工株式会社
CPC classification number: G02B26/0816 , B81B3/0086 , B81B2201/033 , B81B2201/045 , B81C1/00484 , B81C2201/0109 , B81C2201/019 , G02B6/3516 , G02B6/3518 , G02B6/3546 , G02B6/355 , G02B6/357 , G02B6/3584 , H02N1/008
Abstract: 一种用于制造包括固定地支撑在底座上的固定元件和可动地支撑在所述底座上的可动元件的微机电系统(MEMS)的方法。所述方法采用与下衬底分离的上衬底。所述上衬底在其顶层被选择性蚀刻以在其中形成多个柱，所述柱从所述上衬底的底层一起突出。所述柱包括将被固定到所述下衬底的所述固定元件和仅弹性地支撑于一个或多个所述固定元件以相对于所述固定元件可移动的所述可动元件。所述下衬底在其顶表面形成有至少一个凹陷。然后所述上衬底颠倒结合到所述下衬底的顶部，使得把所述固定元件直接设置在所述下衬底上，并把所述可动元件设置在所述凹陷上方。最后，除去所述上衬底的底层，以从所述底层释放所述可动元件，从而把所述可动元件浮置在所述凹陷上，并允许它们相对于所述下衬底移动，同时保持所述固定元件固定到所述下衬底的顶部。
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公开(公告)号：CN1842885A
公开(公告)日：2006-10-04
申请号：CN200480024593.X
申请日：2004-08-25
Applicant: 松下电工株式会社
CPC classification number: G02B6/358 , G02B6/3512 , G02B6/355 , G02B6/357 , G02B6/3584 , G02B6/3596 , G02B26/02 , H01H59/0009 , H01H2001/0047
Abstract: 一种静电驱动可锁止致动器系统具有致动器和一对在致动器相对端的侧受动器。致动器弹性地支撑到衬底并当电吸引到侧受动器之一时可沿着两个操作位之间的线性轴移动。提供锁止机构以机械锁止致动器在任一操作位位置上。侧受动器可沿着正常位置和接近致动器的移动位置之间的线性轴朝向或远离致动器移动。两个侧受动器也弹性地支撑到衬底以通过静电吸引到那里移向致动器并通过回弹力远离致动器。相应于侧受动器之一被吸引到致动器，移动的侧受动器通过机械连杆联锁到锁止机构以致解开致动器，并允许致动器从一种操作位向另一种操作位移动以再次锁止在那里。
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