公开(公告)号：CN101839682A

公开(公告)日：2010-09-22

申请号：CN201010136354.0

申请日：2010-03-12

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 八田健一郎 ,  舟桥隆宪

IPC: G01B5/012 ,  G01B11/00

CPC classification number: G01B5/012 ,  G01B7/012 ,  G01B11/007

Abstract: 本发明涉及一种形状测定装置用探测器，直动部(6)仅沿竖直方向能够直动地支承在安装部(2)上。摆动部(3)具有在前端设有与测定物(60)的被测定面(61)接触的测头(121)的臂(112)。连结机构(4)通过将摆动部(3)侧的支承部件(42)的尖端嵌入形成于直动部(6)侧的载置台(41)上的槽(41a)中，从而将摆动部(3)相对于直动部(6)能够摆动地连结。通过摆动侧磁铁(51)与非摆动侧磁铁(52)之间的磁吸引力，使臂(112)朝向竖直方向的作用力作用于摆动部(3)。通过可动侧磁铁(71)与固定侧磁铁(72)之间的磁力，在直动部(3)上作用竖直方向朝上的作用力，从而将直动部(3)相对于安装部(3)沿竖直方向被非接触保持。

公开(公告)号：CN101173854B

公开(公告)日：2010-07-21

申请号：CN200710162417.8

申请日：2007-09-29

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 吉住惠一 ,  久保圭司 ,  望月博之 ,  舟桥隆宪

IPC: G01B11/24

Abstract: 提供一种三维形状测定装置，通过上下共用形成XYZ坐标的XYZ参照镜(2、3、4)和Z气动滑动导轨部(11)，从而使上下的测定坐标系完全相同。并且，使用衍射光栅(8)将触针(5)的变位检测单元变薄，通过使用滑轮(18)和恒载弹簧(17)使探头的支承部分进一步变薄，使构造简单，实现小型化，制造容易。

公开(公告)号：CN101322005A

公开(公告)日：2008-12-10

申请号：CN200780000443.9

申请日：2007-05-08

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 舟桥隆宪 ,  吉住惠一

IPC: G01B5/016 ,  G01B5/20

CPC classification number: G01B5/012 ,  G01B7/012 ,  G01B11/007

Abstract: 本发明提供一种形状测定装置以及设置在该形状测定装置上的形状测定装置用探头，该形状测定装置能够在不采用复杂的装置结构的情况下，不论侧面的倾斜方向如何都可进行形状测定。在形状测定装置用探头中，连接安装用部件(2)和摆动部件(3)的连接机构(4)具有设置在摆动部件(3)上的支点部件(42)和设置在安装用部件(2)上的载置台(41)，且将摆动部件(3)连接成相对于安装用部件(2)可向任意方向倾斜。安装用部件(2)和摆动部件(3)被构成为：设置在摆动部件(3)上的可动侧部件(51)和设置在安装用部件(2)上的固定侧部件(52)彼此在非接触状态下发生磁性吸引力，该磁性吸引力以摆动部件(3)的探杆向铅直方向的方式进行施力。根据该结构，能够测定与Z方向大致平行、向X、Y方向的任意方向倾斜的侧面形状。

公开(公告)号：CN101206110A

公开(公告)日：2008-06-25

申请号：CN200710162415.9

申请日：2007-09-29

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 吉住惠一 ,  久保圭司 ,  望月博之 ,  舟桥隆宪

IPC: G01B11/24

CPC classification number: G01B5/012 ,  G01B7/012 ,  G01B11/007 ,  Y10S33/01 ,  Y10S33/02

Abstract: 本发明提供一种三维测定探头，能够更高精度地测定非球面透镜等被测物的形状等，实现难以损坏且长寿命、低成本的三维测定探头。安装于小空气轴承部(6)的磁铁(29)和磁轭(8)和安装于小滑动轴部(6)的磁性体销(20)构成磁路，由此产生小滑动轴部(6)的旋转和妨碍轴方向的变位的磁力。由于为非接触的磁力，从而构成无论是自下还是自横向都能够进行测定的三维测定探头。

公开(公告)号：CN101660900A

公开(公告)日：2010-03-03

申请号：CN200910175503.1

申请日：2007-09-29

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 吉住惠一 ,  久保圭司 ,  望月博之 ,  舟桥隆宪

IPC: G01B11/24

Abstract: 提供一种三维形状测定装置用测定探头，其具有：激光光源(31)；透镜(14)，其使从所述激光光源发出的激光聚集在与触针(5)一体连结的反光镜(9)上；衍射光栅(8)，其配置在通过该透镜聚光在所述反光镜的反光镜反射面上后、由所述反射面反射的激光的激光光路中，并且为同心圆状，形成在同心圆的中心从所述激光光路偏离的位置；第一光检测器群(34D、34E、34F)，其接收由该衍射光栅生成的正一次衍射光；和第二光检测器群(34A、34B、34C)，其接收由所述衍射光栅生成的负一次衍射光；所述三维形状测定装置用测定探头构成为将所述第一光检测器群和所述第二光检测器群的输出作为聚焦误差信号，并至少内置所述透镜。