半导体发光元件及其制造方法

    公开(公告)号:CN1286228C

    公开(公告)日:2006-11-22

    申请号:CN03801328.2

    申请日:2003-02-07

    Abstract: 本发明的半导体发光元件包括:n型InP基板(1);以及条纹结构(10),条纹结构(10)包含在该n型InP基板(1)上条纹状形成的n型InP下部覆盖层、相对于所述n型InP基板(1)而具有平行方向的谐振器的有源层、和p型InP上部覆盖层(5)。这种条纹结构(10)有凹部(9)排列为矩形点阵状的光子晶体结构(2),光子晶体结构(2)的凹部(9)的排列方向和谐振器方向相同。此外,在谐振器方向上延长的条纹状的上部电极(6)形成在条纹结构(10)上。这样构成的本发明的半导体发光元件相对n型InP基板(1)在垂直的方向上发光。

    等离子体振动开关元件
    13.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1650436A

    公开(公告)日:2005-08-03

    申请号:CN03809646.3

    申请日:2003-09-30

    CPC classification number: H01L29/1029 H01L29/2003 H01L29/7785

    Abstract: 本发明的等离子体振动开关元件包含:半导体基板(101);在该基板上形成的由Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体构成的第一阻挡层(103),在第一阻挡层上形成的由Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体构成的沟道层(104);在沟道层上形成的由Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体构成的第二阻挡层(105);和在第二阻挡层上设置的源极电极(107)、栅极电极(109)以及漏极电极(108),第一阻挡层具有n型扩散层(103a),第二阻挡层具有p型扩散层(105a),沟道层的能带间隙比第一及第二阻挡层的能带间隙小,在第一阻挡层和沟道层之间境界的传导带上积聚二维电子气EG,另一方,在第二阻挡层和沟道层境界的价电子带上积聚二维空穴气HG,各电极经绝缘层(106)在第二阻挡层上形成。

    半导体发光元件及其制造方法

    公开(公告)号:CN1602569A

    公开(公告)日:2005-03-30

    申请号:CN03801328.2

    申请日:2003-02-07

    Abstract: 本发明的半导体发光元件包括:n型InP基板(1);以及条纹结构(10),条纹结构(10)包含在该n型InP基板(1)上条纹状形成的n型InP下部覆盖层(3)、相对于所述n型InP基板(1)而具有平行方向的谐振器的有源层(4)、和p型InP上部覆盖层(5)。这种条纹结构(10)有凹部(9)排列为矩形点阵状的光子晶体结构(2),光子晶体结构(2)的凹部(9)的排列方向和谐振器方向相同。此外,在谐振器方向上延长的条纹状的上部电极(6)形成在条纹结构(10)上。这样构成的本发明的半导体发光元件相对n型InP基板(1)在垂直的方向上发光。

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