公开(公告)号：CN109306465A

公开(公告)日：2019-02-05

申请号：CN201811365374.8

申请日：2017-01-25

Applicant: 杭州电子科技大学信息工程学院

Inventor： 杜允 ,  俞优姝

IPC: C23C14/54 ,  C23C14/06 ,  C23C14/35

Abstract: 本发明公开了一种对Cu3N薄膜进行定量掺杂的实现方法。本发明的真空腔内设置有样品台、加热丝、衬底、靶，样品台设置在真空腔内底部，样品台上表面设置有加热丝，加热丝上设置有衬底；靶设置在真空腔内顶部；靶上方设置有磁铁，磁铁上方设置有冷却水系统，冷却水系统用于冷却磁铁；匹配箱的一端与冷却水系统相连接，另一端与射频源相连接；气瓶通过气管与真空腔相连接，气管上设置有流量控制器、粗真空规和通气阀；机械泵与分子泵的一端相连接，分子泵的另一端通过法兰与真空腔相连接；真空腔的外壁上设置有冷阴极规。本发明能够实时观测憋气时气管的气压，能控制启辉气压,对分子泵损伤小节约成本，可实现对难起辉氮气等气体的起辉。

公开(公告)号：CN108588645A

公开(公告)日：2018-09-28

申请号：CN201810481929.9

申请日：2018-05-18

Applicant: 杭州电子科技大学信息工程学院

Inventor： 杜允 ,  俞优姝

IPC: C23C14/06 ,  C23C14/35 ,  C23C14/58 ,  G01N21/65

Abstract: 本发明公开了一种表面增强拉曼散射基底的制备方法。本发明包括首先清洗用于沉积样品的Si衬底，然后将衬底放置在样品架上，样品架与靶表面平行并且相距55mm。当真空腔内本底气压低于6×10－6mbar时，通入流速为40sccm的混合气体，从而溅射铜靶；溅射镀膜后，将Cu3N薄膜样品取出并放入SEM样品室，抽真空，选择电子束曝光模式，调节电子束聚焦，使电子束束斑控制在1微米左右，对Cu3N薄膜选定区域进行电子束曝光。最后启用SEM扫描模式，对曝光区进行SEM成像，观测曝光后形貌。本发明制备的基底具有表面增强拉曼散射的效应，且具有纳米级的粗糙表面，为产生“热点”提供了一种新的可能性。

公开(公告)号：CN108411271A

公开(公告)日：2018-08-17

申请号：CN201810480114.9

申请日：2018-05-18

Applicant: 杭州电子科技大学信息工程学院

Inventor： 杜允 ,  俞优姝

IPC: C23C14/35 ,  C23C14/06 ,  C23C14/58 ,  B82Y30/00 ,  B82Y40/00

Abstract: 本发明公开了一种制备多孔纳米铜结构的方法。本发明首先清洗沉积样品的Si衬底，然后将衬底放置在样品架上，样品架与靶表面平行并且相距55mm。当真空腔内本底气压低于6×10－6mbar时，通入混合气体，从而溅射铜靶；溅射镀膜后，将Cu3N薄膜样品取出并放入SEM样品室，抽真空，选择电子束曝光模式，调节电子束聚焦，使电子束束斑控制在1微米左右，对Cu3N薄膜选定区域进行电子束曝光。最后启用SEM扫描模式，对曝光区进行SEM成像，根据SEM扫描图像结果，调节曝光参数，直到出现预期多孔纳米铜结构为止。本发明能有效地形成预期纳米多孔铜结构，纳米多孔铜结构具有纳米级的粗糙表面，具有产生“热点”的可能性。

公开(公告)号：CN309256164S

公开(公告)日：2025-04-25

申请号：CN202430417066.5

申请日：2024-07-04

Applicant: 杭州电子科技大学信息工程学院

Designer： 叶瑞鑫 ,  黄蓉昕 ,  冯天晟 ,  王萌萌 ,  朱悦颖 ,  何陆烨欣 ,  屠致远 ,  任宇航 ,  俞优姝 ,  叶岩明

Abstract: 1.本外观设计产品的名称：可集群式管道缺陷检测机器人。
2.本外观设计产品的用途：一种可集群式管道缺陷检测机器人。
3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。
4.最能表明设计要点的图片或照片：主视图。

公开(公告)号：CN308162302S

公开(公告)日：2023-08-08

申请号：CN202330152307.3

申请日：2023-03-27

Applicant: 杭州电子科技大学信息工程学院

Designer： 赵晋 ,  王旻 ,  杨凯迪 ,  朱锦涛 ,  俞优姝 ,  叶岩明 ,  赵宣竹

Abstract: 1.本外观设计产品的名称：车载摄像头。
2.本外观设计产品的用途：用于拍摄、录制视频图像及音频数据。
3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。
4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。