公开(公告)号：CN1221861C

公开(公告)日：2005-10-05

申请号：CN02805512.8

申请日：2002-01-31

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 金子勇 ,  冈田伸治 ,  川口泰秀 ,  武部洋子 ,  儿玉俊一

IPC: G03F7/039 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/0392 ,  G03F7/0046 ,  G03F7/0395 ,  Y10S430/114 ,  Y10S430/146 ,  Y10T428/3154

Abstract: 提供了可形成对放射线的透明度和干蚀刻性优异、且灵敏度、析像度、平坦性、耐热性等优异的光致抗蚀剂图案的化学放大型光致抗蚀剂组合物。该光致抗蚀剂组合物的特征是，它包含：含氟聚合物(A)、受光照射而产生酸的产酸化合物(B)、及有机溶剂(C)，所述的含氟聚合物(A)是具有以式(1)表示的含氟二烯的环化聚合重复单元的含氟聚合物，且Q中具有嵌段化酸性基团，CF2＝CR1-Q-CR2＝CH2……(1)式中，R1、R2分别独立地表示氢原子、氟原子、甲基或三氟甲基，Q为2价的有机基，且表示具有通过酸能够显现为酸性基团的嵌段化酸性基团或能转换成该嵌段化酸性基团的基团的有机基。

公开(公告)号：CN1675268A

公开(公告)日：2005-09-28

申请号：CN03819683.2

申请日：2003-08-21

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 儿玉俊一 ,  金子勇 ,  横小路修 ,  冈田伸治 ,  武部洋子 ,  川口泰秀

IPC: C08F36/20

CPC classification number: C08F36/20 ,  C08F36/16 ,  C08F214/18 ,  C08F2/60

Abstract: 本发明提供了官能团浓度高、可获得充分的官能团特性、且Tg不会下降的含氟聚合物。该聚合物是具有通过式(1)（如图）表示的含官能团的含氟二烯的环化聚合而形成的单体单元的含氟聚合物。式中，R1～R4互相独立，表示氢原子、氟原子、碳原子数小于等于8的烷基或环状脂肪族烃基，其中至少1个为环状脂肪族烃基，烷基及环状脂肪族烃基中的氢原子可被氟原子、烷基或氟烷基取代；Q表示2价有机基团，该基团是具有通过酸可显现酸性基的嵌段化酸性基或可转变为该嵌段化酸性基的基团的有机基团。

公开(公告)号：CN1442753A

公开(公告)日：2003-09-17

申请号：CN03107058.2

申请日：2003-03-03

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 冈田伸治 ,  川口泰秀 ,  武部洋子 ,  金子勇 ,  児玉俊一

IPC: G03F7/038 ,  H01L21/027 ,  C08F214/18

CPC classification number: G03F7/0046 ,  G03F7/0395 ,  Y10S430/115 ,  Y10S430/146

Abstract: 一种抗蚀剂组合物，它包括下列含氟聚合物(A)、在光照下产生酸的酸生成化合物(B)和有机溶剂(C)；含氟聚合物(A)：具有受保护的酸性基团的含氟聚合物，它具有式(1)的氟化二烯环化聚合形成的单体单元和聚合式(2)的丙烯酸类单体形成的单体单元，当通过聚合式(1)的氟化二烯和式(2)的丙烯酸类单体得到的共聚物没有受保护的酸性基团时，它可通过在共聚物中形成受保护的酸性基团来得到：CF2＝CR1－Q－CR2＝CH2(1)和CH2＝CR3－CO2R4(2)。R1、R2、R3、R1和Q的定义见说明书。