提高镁蒸发速度的蒸发方法

    公开(公告)号:CN1137574A

    公开(公告)日:1996-12-11

    申请号:CN96102793.2

    申请日:1996-03-28

    CPC classification number: C23C14/243 C23C14/16

    Abstract: 本发明涉及提高镁蒸发速度的蒸发方法。将镁加到带有开口部的容器中并加热到670℃以上,使镁蒸气从开口部蒸发。可在开口部的出口设有反射板,也可用导管将镁蒸气导至基板。当没有氧化膜和反应生成膜覆盖在熔融镁表面并以稳定条件使镁从熔融状态蒸发时,宜在满足W1/W2<0.6(PMg×V3)和W1/W2<0.04×PMg条件下蒸发镁,其中,W1是蒸发用容器的开口部的面积(mm)2、W2是熔融镁的蒸发面积(mm)2、PMg是镁的蒸气压(托)和V是真空度(托)。

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