正感光性聚酰亚胺树脂组合物

    公开(公告)号:CN1245665C

    公开(公告)日:2006-03-15

    申请号:CN02818490.4

    申请日:2002-09-18

    CPC classification number: C08L79/08 G03F7/0233

    Abstract: 本发明提供一种在碱性水溶液显像时,无膜损耗、溶胀和剥离、固化后得出尺寸稳定性高的图案,最终固化膜的吸水率低、耐碱性优异的正感光性树脂组合物。该正感光性聚酰亚胺树脂组合物具有如下特征:含有具有通式(1)所示重复单元的有机溶剂可溶性聚酰亚胺、具有通式(2)所示重复单元的聚酰胺酸和通过光产生酸的化合物。式中,m、n为3以上、10000以下的整数,R1、R3为4价的有机基团,R2、R4为2价的有机基团,并且R2的5-100摩尔%为具有氟的2价有机基团。

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