公开(公告)号：CN104237325B

公开(公告)日：2017-02-15

申请号：CN201410526805.X

申请日：2014-10-09

Applicant: 扬州大学

Inventor： 张超 ,  耿欣 ,  王杰 ,  李大玉 ,  肖金坤 ,  张燕军

IPC: G01N27/12

Abstract: 一种基于染料敏化半导体的二氧化氮传感膜制备方法，采用纯氧化铝片Al2O3或经过表面氧化处理的单晶硅片Si作为绝缘基体，进行清洗并干燥后，在绝缘基体正面制备叉指型电极和接线端，在叉指型电极正上方制备金属半导体氧化物涂层，采用敏化染料制备的染料溶液，对制备金属半导体氧化物涂层表面进行浸渍处理后干燥，制得基于染料敏化半导体的室温二氧化氮传感膜的气体传感元件。本发明运用染料对半导体薄膜表面进行表面功能化处理，可以实现多种半导体材料在室温下对低浓度二氧化氮的响应，具有灵敏度高、响应速度较快、无须外加热源等特点，此方法无需传统气敏元件的加热部件，提高了传感器的经济性和稳定性。

公开(公告)号：CN105738424A

公开(公告)日：2016-07-06

申请号：CN201610076223.5

申请日：2016-02-03

Applicant: 扬州大学

Inventor： 张超 ,  耿欣 ,  王杰 ,  尤佳骏 ,  李大玉 ,  肖金坤

IPC: G01N27/12

CPC classification number: G01N27/127

Abstract: 本发明涉及一种氧缺陷半导体二氧化氮气敏涂层的制备方法。本发明是采用单晶硅片Si作为绝缘基体，在绝缘基体正面制备叉指型电极和接线端，无机盐粉末溶于去离子水或有机溶剂中，搅拌得到均匀溶液作为前驱体，通过非雾化喷嘴送入到由等离子喷枪产生的焰流，前驱体溶液经过蒸发、分解、成核、加热和加速，以熔融粒子撞击在叉指型电极正上方制备得到半导体气敏涂层。本发明克服了现有技术存在的各自缺陷。本发明可以制备纳米、多孔结构半导体气敏层，涂层超薄，涂层中的氧缺陷浓度可调，降低材料带隙，灵敏度高、响应速度较快、无须外加热源，结构简单、可靠性高。

公开(公告)号：CN106546635A

公开(公告)日：2017-03-29

申请号：CN201610930445.9

申请日：2016-10-27

Applicant: 扬州大学

Inventor： 张超 ,  郑兵兵 ,  耿欣 ,  罗一凡

IPC: G01N27/12

CPC classification number: G01N27/129 ,  G01N27/127

Abstract: 本发明涉及基于p-n异型异质结半导体二氧化氮气敏层的制备方法。本发明将单晶硅片Si作为绝缘基体，在绝缘基体正面制备叉指型电极和接线端，分别称取硝酸锌和硝酸铜的混合粉末溶于去离子水或有机溶剂中，搅拌得到均匀溶液作为前驱体，通过非雾化喷嘴送入到由等离子喷枪产生的焰流，经过蒸发、分解、成核、加热和加速，以熔融粒子撞击在叉指型电极正上方制备得到半导体气敏涂层。本发明克服了过去润滑涂层中存在的因晶粒长大而导致的涂层性能下降和失效等缺陷。本发明快速制备纳米、多孔结构p-n异型异质结半导体气敏层，重复性好，可以实现多种p-n型半导体材料复合，对低浓度NO2的响应具有灵敏度高、响应速度较快等优点。

公开(公告)号：CN106383150A

公开(公告)日：2017-02-08

申请号：CN201610825096.4

申请日：2016-09-14

Applicant: 扬州大学

Inventor： 张超 ,  耿欣 ,  李嘉伟 ,  罗一凡

IPC: G01N27/12 ,  C23C4/11 ,  C23C4/129

CPC classification number: G01N27/125 ,  G01N27/127

Abstract: 本发明涉及一种在柔性衬底上沉积NO2气敏材料的高温制备方法。本发明聚丙烯、聚酰亚胺或者聚对苯二甲酸乙二醇酯作为器件的衬底，在衬底正面制备叉指型电极和接线端，将金属氧化物粉末溶于去离子水或有机溶剂中，搅拌得到均匀悬浮液，悬浮液经火焰喷枪产生的焰流，悬浮液经过蒸发、加热和加速以熔融粒子撞击在叉指型电极正上方制备得到半导体气敏涂层。本发明克服了现有技术存在的缺陷。本发明沉积过程更为简单，成本更低，效率更高，可选择材料范围宽，具有灵敏度高、响应速度较快，气敏材料范围更广。

公开(公告)号：CN206638623U

公开(公告)日：2017-11-14

申请号：CN201720026757.7

申请日：2017-01-05

Applicant: 扬州大学

Inventor： 张超 ,  尤佳骏 ,  耿欣 ,  郑兵兵

IPC: G01N27/12

Abstract: 本实用新型涉及一种精确表征有机挥发性气体传感器的检测装置。本实用新型由检测回路、恢复回路、测试机构和配气机构组成；检测回路为测试进气阀一路连接气泵、测试质量控制计、测试罐、测试出气阀；恢复回路为合成空气瓶引出两路，一路为湿润空气质量控制计连接湿度配试瓶，另一路为干燥空气质量控制计，合并后连接空气进气阀；测试机构为电源配适器连接数据采集器并连接传感器，再连接电脑；配气机构为连接测试回路、恢复回路并设置压力表、电风扇的配比箱。本实用新型克服了易发生漂移、成本高和灵敏度低等缺陷。本实用新型测试结果精确，减少测试时间，实现在不同湿度环境下对有机挥发性气体的精确检测。