公开(公告)号：CN115066744A

公开(公告)日：2022-09-16

申请号：CN202180013132.6

申请日：2021-02-02

Applicant: 川崎重工业株式会社

Inventor： 松冈淳一 ,  山崎大 ,  田中优一郎

IPC: H01L21/677 ,  B25J9/06

Abstract: 本发明提供一种机器人。机器人(100)包括基座(1)、臂(3)和手(8)，所述基座(1)具有多个侧部，所述臂(3)可旋转地连接在基座(1)，所述手(8)连接在臂(3)。臂(3)与基座(1)的连接部分从俯视来看最接近于第一侧部(11a)配置着。基座(1)收纳有控制部品。在第二侧部(11b)设置有维护部(12)，该维护部(12)配置有第一板(24)等维护部品，用于对维护部品进行维护。

公开(公告)号：CN114269666A

公开(公告)日：2022-04-01

申请号：CN202080058629.5

申请日：2020-08-04

Applicant: 川崎重工业株式会社 ,  川崎机器人(美国)有限公司

Inventor： 松冈淳一 ,  仓田伊织 ,  在田智一

IPC: B65G47/90 ,  B25J11/00 ,  B25J18/00 ,  B25J19/00

Abstract: 基板搬运机器人(20)具备：基台(21)，其设置于搬运室(1)内；机械臂(23)，其具有在水平面内转动的多个连杆(24～26)，并与基台连结；第一机械手(31)和第二机械手(32)，它们与机械臂的前端部连结为能够绕铅垂的机械手轴(LH)旋转，并对基板(90)进行支承；以及控制装置(40)。控制装置执行如下处理，即：第一移载处理，使第一机械手从搬运室进入收容室内，在收容室内的载置部与第一机械手之间移载基板；退出处理，使第一机械手从收容室向搬运室退出；以及第二移载处理，使第二机械手从搬运室进入收容室内，在载置部与第二机械手之间移载基板。在退出处理中，机械手轴相对于第一机械手的基准位置(P31)而从开口(15)的中心线(C15)离开。