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公开(公告)号：CN1956324A
公开(公告)日：2007-05-02
申请号：CN200610137474.6
申请日：2006-10-27
Applicant: 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
CPC classification number: H03H9/132 , H03H3/02 , H03H9/02133 , H03H9/173 , H03H9/568 , H03H2003/021
Abstract: 本发明提供了压电薄膜谐振器及滤波器。该压电薄膜谐振器包括构建于基板上的下电极，在该下电极和基板之间限定了圆形穹状空腔；设置于下电极之上的压电膜，以及设置于压电膜上的上电极。隔膜区域是下电极和上电极隔着压电膜的交叠区域，空腔在所述基板上的投影区域包含了该隔膜区域。
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公开(公告)号：CN101785183A
公开(公告)日：2010-07-21
申请号：CN200780100338.2
申请日：2007-11-21
Applicant: 富士通株式会社 , 富士通媒体部品株式会社
CPC classification number: H03H9/132 , H03H9/174 , H03H9/588 , H03H9/605 , H03H2003/0428
Abstract: 本发明提供低损耗高性能的滤波器、使用该滤波器的双工器及使用该双工器的通信机。该滤波器具有：串联臂压电薄膜谐振器，其配置在串联臂上；以及并联臂压电薄膜谐振器，其配置在并联臂上，串联臂压电薄膜谐振器和并联臂压电薄膜谐振器分别具有基板(21)、形成于基板(21)上的下部电极(22)、形成于下部电极(22)上的压电膜(23)、和形成于压电膜(23)上的上部电极(24)。串联臂压电薄膜谐振器的谐振部(29)的长轴的长度(A)相对于短轴长度(B)的比(A/B)高于并联臂压电薄膜谐振器中的比。
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公开(公告)号：CN101741343A
公开(公告)日：2010-06-16
申请号：CN200910168371.X
申请日：2009-08-31
Applicant: 富士通株式会社 , 富士通媒体部品株式会社
Abstract: 本发明涉及谐振器、滤波器、以及电子装置。该谐振器包括：基板；下电极；压电薄膜，设置在所述下电极上；以及上电极，设置在所述压电薄膜上。所述下电极包括设置在所述基板上的第一薄膜、以及设置在第一薄膜上并且比重大于第一薄膜的比重的第二薄膜。所述压电薄膜设置在第二薄膜上。所述上电极包括设置在所述压电薄膜上的第三薄膜、以及设置在第三薄膜上的第四薄膜，第三薄膜的比重大于第四薄膜的比重。第三薄膜比第二薄膜厚。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101689845A
公开(公告)日：2010-03-31
申请号：CN200880023285.3
申请日：2008-03-05
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: H03H9/174 , H03H9/02015 , H03H9/02118 , H03H9/02157 , H03H9/13 , H03H9/132 , H03H9/175 , H03H9/568 , H03H2003/0428
Abstract: 压电薄膜共振元件(1)具有共振部，该共振部具有椭圆的平面形状，由在下表面电极(3)和上表面电极(5)这两个电极之间夹入压电膜(4)的层叠构造而形成，其中，下表面电极(3)在外周上具有以25°到55°的范围内的规定角度(例如大约30°)倾斜的倾斜部(3a)，上表面电极(5)具有椭圆的平面形状。在上表面电极(5)的面对下表面电极(3)的倾斜部(3a)的位置的一部分上设置附加膜(8)，由此使得共振部的下表面电极(3)的倾斜部(3a)的层叠厚度中的一部分的层叠厚度H C 大于共振部的下表面电极(3)的倾斜部(3a)靠内侧部分的层叠厚度H A 。
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公开(公告)号：CN101674062A
公开(公告)日：2010-03-17
申请号：CN200910139800.0
申请日：2009-06-30
Applicant: 富士通株式会社
Abstract: 本发明公开了滤波器、双工器和通信装置。一种滤波器包括多个压电薄膜谐振器，压电薄膜谐振器是通过将压电膜夹在布置在基板上的下电极以及上电极之间而形成的。每个压电薄膜谐振器具有上电极和下电极彼此交叠而形成的电极区域，电极区域的轮廓包括曲线。在多个压电薄膜谐振器中，在相邻压电薄膜谐振器的相对电极区域中的压电薄膜谐振器被成形为具有彼此互补的轮廓。利用该滤波器，由压电薄膜谐振器的横向模式的不希望的波引起的影响可以被抑制。因此，可以在不牺牲具有空心结构的电极的机械强度的情况下实现小型化。
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公开(公告)号：CN101645699A
公开(公告)日：2010-02-10
申请号：CN200910165386.0
申请日：2009-08-07
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: H03H9/174 , H03H9/02118 , H03H9/13 , H03H9/132 , H03H9/568 , H03H2003/0435
Abstract: 本发明提供一种压电薄膜谐振器、使用压电薄膜谐振器的滤波器和复用器。压电薄膜谐振器包括：衬底、形成于衬底上的下电极、形成于下电极上的压电薄膜和形成于压电薄膜上的上电极，下电极和上电极隔着压电薄膜彼此相对从而形成相对区域，相对区域包括位于所述相对区域的边界处的空间。所述空间从所述相对区域的内侧延伸到外侧，并形成于压电薄膜中或形成于压电薄膜上。
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公开(公告)号：CN101207370A
公开(公告)日：2008-06-25
申请号：CN200710198855.X
申请日：2007-12-14
Applicant: 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
CPC classification number: H03H9/174 , H03H3/02 , H03H9/02118 , H03H9/173
Abstract: 本发明提供了薄膜体声波谐振器和滤波器。该薄膜体声波谐振器包括：下电极，其形成在基板的空腔上或以在该下电极和所述基板之间形成空腔的方式形成；压电薄膜，其形成在所述下电极上；上电极，其形成在所述压电薄膜上以获得隔着所述压电薄膜与所述下电极相对的谐振区；支撑区，其设置在所述谐振区的周围，该支撑区的宽度为沿横向传播的波的波长的0.35倍到0.65倍，并透射所述波；以及相邻区，其设置在所述支撑区的周围并阻挡所述波。
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公开(公告)号：CN101083460A
公开(公告)日：2007-12-05
申请号：CN200710105462.X
申请日：2007-05-31
Applicant: 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
IPC: H03H9/54
CPC classification number: H03H9/605 , H03H3/02 , H03H9/02118 , H03H9/02141 , H03H9/132 , H03H9/173 , H03H9/174 , H03H2003/021
Abstract: 本发明提供具有多个压电薄膜谐振器的滤波器。所述多个压电薄膜谐振器各自具有：基板、形成在所述基板上的下电极、形成在所述下电极上的压电膜、以及隔着所述压电膜与所述下电极彼此相对地设置在所述压电膜上的上电极。所述多个压电薄膜谐振器包括如下的第一谐振器：所述第一谐振器的所述压电膜的外侧曲部的至少一部分比所述上电极和所述下电极隔着所述压电膜而彼此相对的区域的外侧曲部更靠外。所述多个压电薄膜谐振器包括如下的第二谐振器：所述第二谐振器的所述压电膜的外侧曲部的至少一部分与所述上电极和所述下电极隔着所述压电膜而彼此相对的区域的外侧曲部基本一致，或者比所述区域的外侧曲部更靠内。
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