公开(公告)号：CN1469154A

公开(公告)日：2004-01-21

申请号：CN03106476.0

申请日：2003-02-27

Applicant: 富士通株式会社 ,  富士通媒体器件株式会社

Inventor： 高马悟觉 ,  水野义博 ,  奥田久雄 ,  佐脇一平 ,  壼井修 ,  中村义孝

IPC: G02B26/08 ,  G02B26/10 ,  G11B7/09 ,  H01S3/08

CPC classification number: G02B26/0841 ,  Y10S359/90

Abstract: 多个微镜芯片集中制作在共用衬底上。每个微镜芯片由微镜单元构成，它包含框架、与框架有隔离部分的镜形成部分、以及连接镜形成部分与框架的扭杆。共用衬底受到腐蚀以提供隔离部分以及制作分割沟槽而将共用衬底分割成分立的微镜芯片。制作隔离部分和分割沟槽的腐蚀是彼此并行的。

公开(公告)号：CN100362388C

公开(公告)日：2008-01-16

申请号：CN200410028718.8

申请日：2004-03-15

Applicant: 富士通株式会社

Inventor： 壶井修 ,  高马悟觉 ,  奥田久雄 ,  曾根田弘光 ,  宓晓宇 ,  上田知史 ,  佐脇一平 ,  中村义孝

IPC: G02B26/08 ,  B81B3/00

CPC classification number: H02N1/008

Abstract: 一种微型振荡元件包括：可移动主部件；第一框架和第二框架；和第一连接部件，连接可移动主部件和第一框架，并且限定用于可移动主部件相对于第一框架的第一旋转操作的第一旋转轴。元件还包括第二连接部件，连接第一框架和第二框架，并且限定用于第一框架和可移动主部件相对于第二框架的第二旋转操作的第二旋转轴。设有产生用于第一旋转操作的驱动力的第一驱动机构。设有产生用于第二旋转操作的驱动力的第二驱动机构。第一旋转轴和第二旋转轴不垂直。第一框架具有包括电极支撑侧部的四个侧部，第一驱动机构的一部分从第一框架的所述电极支撑侧部向可移动主部件延伸，并且第二驱动机构的一部分从第一框架的所述电极支撑侧部向第二框架延伸。