公开(公告)号：CN115729036A

公开(公告)日：2023-03-03

申请号：CN202211043699.0

申请日：2022-08-29

Applicant: 富士胶片株式会社

Inventor： 鬼塚悠

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/027 ,  G03F7/16 ,  G03F7/42 ,  B41M5/50

Abstract: 本发明提供一种能够制造厚度厚且纵横比大的抗蚀图案的转印膜及具有导体图案的层叠体的制造方法。一种转印膜，其具有临时支承体和感光性组合物层，其中，感光性组合物层的平均膜厚为10μm以上，感光性组合物层包含敏化剂及重均分子量为10000以上的树脂，树脂包含具有交联性基团的结构单元，具有交联性基团的结构单元的含量相对于树脂的所有结构单元为30质量％以上，感光性组合物层在波长365nm下的透射率为40％以上。

公开(公告)号：CN115685701A

公开(公告)日：2023-02-03

申请号：CN202210902364.3

申请日：2022-07-28

Applicant: 富士胶片株式会社

Inventor： 儿玉邦彦 ,  鬼塚悠

IPC: G03F7/42 ,  G03F7/16 ,  G03F7/027

Abstract: 本发明提供一种能够形成抗蚀图案且所形成的抗蚀图案的剥离性优异的转印膜、具有导体图案的层叠体的制造方法及感光性组合物。一种转印膜，其具有临时支承体和感光性组合物层，其中，感光性组合物层包含树脂A、聚合性化合物及聚合引发剂，树脂A包含具有通过碱的作用而生成碱溶性基团的基团的结构单元a和具有酸基的结构单元b。