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公开(公告)号:CN104395823A
公开(公告)日:2015-03-04
申请号:CN201380032350.X
申请日:2013-06-18
Applicant: 富士胶片株式会社
IPC: G03F7/004 , C08F220/26 , G03F7/039 , G03F7/075 , G03F7/40 , H01L21/027 , H01L51/50 , H05B33/10 , H05B33/22
CPC classification number: G03F7/0392 , C08F220/18 , G03F7/0045 , G03F7/0751 , G03F7/0755 , G03F7/40 , H01L51/0018 , H05B33/10 , H05B33/22
Abstract: 本发明提供一种感光性树脂组合物,其可达成显影时以及用作硬化膜时的与基板的密接性。所述感光性树脂组合物含有:(A)包含满足下述(1)及(2)的至少一个的聚合物的聚合物成分:(1)包括(a1)具有酸基由酸分解性基保护的基团的构成单元、以及(a2)具有交联性基的构成单元的聚合物,(2)包括(a1)具有酸基由酸分解性基保护的基团的构成单元的聚合物、以及包括(a2)具有交联性基的构成单元的聚合物;(B)非离子性光酸产生剂;(C)下述通式(S)所表示的化合物(式中,R1表示包含至少1个以上氮原子的基团,A表示2价连结基,R2表示有机基);(D)溶剂;以及(E)烷氧基硅烷化合物。
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公开(公告)号:CN102043335A
公开(公告)日:2011-05-04
申请号:CN201010511721.0
申请日:2010-10-15
Applicant: 富士胶片株式会社
IPC: G03F7/004 , G03F7/039 , G03F7/00 , H01L27/32 , G02F1/1335
Abstract: 本发明提供一种保存稳定性、感度和显影边界(显影宽容度)优异的感光性树脂组合物,利用该组合物能够获得透明性和耐溶剂性优异的固化膜。所述感光性树脂组合物的特征在于,其含有(A)共聚物、(B)光产酸剂以及(C)溶剂,所述(A)共聚物含有:具有酚性羟基的单体单元(1),具有羧基被酸分解性基团保护而成的残基的单体单元、或具有酚性羟基被酸分解性基团保护而成的残基的单体单元(2),和具有3元环和/或4元环的环状醚残基的单体单元(3)。
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公开(公告)号:CN104272188B
公开(公告)日:2018-10-09
申请号:CN201380022515.5
申请日:2013-04-24
Applicant: 富士胶片株式会社
Abstract: 本发明提供一种可获得感光度高、透明性高、耐化学品性高、硬化膜与基板的密接性高、耐干式蚀刻性优异、介电常数低的硬化膜的感光性树脂组合物、硬化膜的形成方法、硬化膜、有机EL显示装置及液晶显示装置。所述感光性树脂组合物包括:(A)含有满足下述(1)及下述(2)的至少一个的聚合物的聚合物成分,(1)具有(a1)含有酸基由酸分解性基保护的残基的构成单元、及(a2)含有交联性基的构成单元的聚合物,(2)具有(a1)含有酸基由酸分解性基保护的残基的构成单元的聚合物、及具有(a2)含有交联性基的构成单元的聚合物;(B)光酸产生剂;(C)加合物型封闭型聚异氰酸酯化合物;以及(D)溶剂。
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公开(公告)号:CN102043335B
公开(公告)日:2014-04-02
申请号:CN201010511721.0
申请日:2010-10-15
Applicant: 富士胶片株式会社
IPC: G03F7/004 , G03F7/039 , G03F7/00 , H01L27/32 , G02F1/1335
Abstract: 本发明提供一种保存稳定性、感度和显影边界(显影宽容度)优异的感光性树脂组合物,利用该组合物能够获得透明性和耐溶剂性优异的固化膜。所述感光性树脂组合物的特征在于,其含有(A)共聚物、(B)光产酸剂以及(C)溶剂,所述(A)共聚物含有:具有酚性羟基的单体单元(1),具有羧基被酸分解性基团保护而成的残基的单体单元、或具有酚性羟基被酸分解性基团保护而成的残基的单体单元(2),和具有3元环和/或4元环的环状醚残基的单体单元(3)。
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公开(公告)号:CN103080839A
公开(公告)日:2013-05-01
申请号:CN201180041965.X
申请日:2011-08-30
Applicant: 富士胶片株式会社
IPC: G03F7/004 , C07C309/73 , C07D307/78 , C07D307/92 , C07D335/06 , C07D335/08 , G02F1/1333 , G03F7/039 , H05B33/22
CPC classification number: C07D307/78 , C07C309/00 , C07C2602/08 , C07C2603/16 , C07C2603/18 , C07D307/92 , C07D335/06 , C07D335/08 , G02F1/133345 , G02F1/136227 , G02F2202/02 , G03F7/0045 , G03F7/0046 , G03F7/0392 , G03F7/0397 , G03F7/40 , H01L27/3258 , H05B33/22
Abstract: 本发明的目的为提供一种高感度且固化膜的透明性优良、显影宽容度广的感光性树脂组合物、以及使用了该组合物的固化膜的形成方法。本发明的感光性树脂组合物的特征在于,含有以式(1)表示的肟磺酸酯化合物、具有在酸的作用下分解并生成羧基或酚性羟基的酸分解性基团的结构单元的树脂、以及溶剂。R1表示烷基、芳基或杂芳基,R2各自独立地表示氢原子、烷基、芳基或卤素原子,Ar1表示邻亚芳基或邻杂亚芳基,X表示O或S,n表示1或2。在存在2个以上的R2之中,至少1个为烷基、芳基或卤素原子。
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公开(公告)号:CN102043334A
公开(公告)日:2011-05-04
申请号:CN201010511720.6
申请日:2010-10-15
Applicant: 富士胶片株式会社
IPC: G03F7/004 , G03F7/039 , G03F7/00 , G02F1/1333 , H01L27/32
Abstract: 本发明提供一种保存稳定性、感度和溶剂除去工序的宽容度优异的感光性树脂组合物,利用该组合物能够获得透明性和耐溶剂性优异的固化膜。另外,本发明还提供可靠性和生产率高的有机EL显示装置以及液晶显示装置,它们具备利用上述感光性树脂组合物形成的固化膜作为层间绝缘膜。所述感光性树脂组合物的特征在于,其含有(A)共聚物、(B)光产酸剂以及(C)溶剂,所述(A)共聚物含有:具有羧基被酸分解性基团保护而成的残基的单体单元(1),具有酚性羟基被酸分解性基团保护而成的残基的单体单元(2),和具有3元环和/或4元环的环状醚残基的单体单元(3)。
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公开(公告)号:CN101546121A
公开(公告)日:2009-09-30
申请号:CN200910129717.5
申请日:2009-03-24
Applicant: 富士胶片株式会社
Inventor: 疋田政宪
IPC: G03F7/004 , G02B5/20 , G03F7/00 , G02F1/1335
Abstract: 本发明提供一种着色固化性组合物、滤色器及其制造方法和液晶显示装置,该着色固化性组合物通过曝光、显影以及加热处理可形成高精细且具有正锥形的截面形状的、并且膜强度优良的着色图案。该着色固化性组合物含有(a)在分子内具有2个烯键式不饱和键的聚合性单体或低聚物、(b)光聚合引发剂、(c)热交联剂以及(d)着色剂;所述(a)在分子内具有2个烯键式不饱和键的聚合性单体或低聚物的I/O值为0.65以下,分子内的烯键式不饱和键之间的距离为60个原子以下,且在分子中具有2个以上的环结构;并且,所述(d)着色剂的含量相对于着色固化性组合物的总固体成分为30质量%以上且60质量%以下。
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公开(公告)号:CN101261446A
公开(公告)日:2008-09-10
申请号:CN200810083223.3
申请日:2008-03-04
Applicant: 富士胶片株式会社
Inventor: 疋田政宪
IPC: G03F7/027 , G03F7/028 , G03F7/004 , G02B5/23 , G02F1/1335
Abstract: 本发明提供滤色器用着色感光性组合物、滤色器、其制造方法和液晶显示装置,所述组合物在曝光时可获得充分的深部固化性,可形成显影溶解性、显影宽容度、图案形成性优异的着色图案,同时实现高对比度。所述组合物含有(A)上述通式(I)所表示的硫醇化合物、(B)六芳基联咪唑化合物、(C)具有烯属不饱和双键的聚合性化合物、(D)颜料以及(E)颜料分散剂,在通式(I)中,A是具有至少一种由通式(a)~(c)中的任一种所表示的基团的杂环。在通式(a)~(c)中,L1、L2、和L3各自独立地表示单键、氧原子、硫原子、-N(R12)-、亚苯基、或将这些基团的两种以上组合而成的连接基;R1~R12各自独立地表示氢原子或一价有机基团。
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公开(公告)号:CN104685416B
公开(公告)日:2019-05-14
申请号:CN201380049705.6
申请日:2013-09-17
Applicant: 富士胶片株式会社
IPC: G03F7/039 , C08F20/28 , G02F1/1333 , G03F7/004 , H01L21/027 , H01L51/50 , H05B33/22
Abstract: 本发明提供一种感光性树脂组合物、使用其的硬化膜的制法、硬化膜、液晶显示装置及有机EL显示装置。所述感光性树脂组合物含有:(A)包含满足下述(1)及(2)中至少一个的聚合物的聚合物成分:(1)包括(a1)具有酸基由酸分解性基保护的基团的结构单元及(a2)具有交联性基的结构单元的聚合物;(2)包括(a1)具有酸基由酸分解性基保护的基团的结构单元的聚合物及包括(a2)具有交联性基的结构单元的聚合物;(B)光酸产生剂;(C)分子量为1000以下、在芳香环中包含至少1个氮原子、且在芳香环中包含至少2个配位原子的芳香族杂环化合物;以及(D)溶剂。本发明的感光性树脂组合物,其不仅维持高感度、且耐化学品性优异。
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公开(公告)号:CN103080839B
公开(公告)日:2016-05-04
申请号:CN201180041965.X
申请日:2011-08-30
Applicant: 富士胶片株式会社
IPC: G03F7/004 , C07C309/73 , C07D307/78 , C07D307/92 , C07D335/06 , C07D335/08 , G02F1/1333 , G03F7/039 , H05B33/22
CPC classification number: C07D307/78 , C07C309/00 , C07C2602/08 , C07C2603/16 , C07C2603/18 , C07D307/92 , C07D335/06 , C07D335/08 , G02F1/133345 , G02F1/136227 , G02F2202/02 , G03F7/0045 , G03F7/0046 , G03F7/0392 , G03F7/0397 , G03F7/40 , H01L27/3258 , H05B33/22
Abstract: 本发明的目的为提供一种高感度且固化膜的透明性优良、显影宽容度广的感光性树脂组合物、以及使用了该组合物的固化膜的形成方法。本发明的感光性树脂组合物的特征在于,含有以式(1)表示的肟磺酸酯化合物、具有在酸的作用下分解并生成羧基或酚性羟基的酸分解性基团的结构单元的树脂、以及溶剂。R1表示烷基、芳基或杂芳基,R2各自独立地表示氢原子、烷基、芳基或卤素原子,Ar1表示邻亚芳基或邻杂亚芳基,X表示O或S,n表示1或2。在存在2个以上的R2之中,至少1个为烷基、芳基或卤素原子。
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