Patent search ap:("富士施乐株式会社" OR "富士能株式会社") AND inv:"斋藤隆行" Page 2

11.

发明公开
光束测量装置失效

公开(公告)号：CN1877270A

公开(公告)日：2006-12-13

申请号：CN200610088699.7

申请日：2006-06-01

Applicant: 富士能株式会社

Inventor： 葛宗涛 , 斋藤隆行 , 黑濑实 , 神田秀雄 , 荒川和久

IPC: G01J9/02 , G01B9/02

Abstract: 本发明提供一种光束测量装置，该光束测量装置(1A)具备波前测量部(10A)和光斑特性测量部(10B)，该波前测量部(10A)成为具有反射型波前整形单元(20)、光束分离/合成面(15)、反射板(17)和光程长调整机构的迈克逊型光学系统配置。通过使从光束分离/合成面经由反射面(17a)而返回到光束分离/合成面的第1光程长、与从光束分离/合成面经由反射型波前整形单元(20)而返回到光束分离/合成面的第2光程长大约相互一致，能够进行可干涉性低的光束的波前测量和光束的光斑特性测量这2种测量。从而，获得也能适应于可干涉性低的光束的波前测量、并且能够容易进行光学系统的调整和相移机构的设置的光束测量装置。

Patent Agency Ranking