公开(公告)号：CN104310392B

公开(公告)日：2016-08-24

申请号：CN201410508582.4

申请日：2014-09-28

Applicant: 大连理工大学 ,  大连卡瑞博纳科技有限公司 ,  大连路生菲悦科技有限公司

Inventor： 王同华 ,  王春雷 ,  李琳 ,  曾乐 ,  刘波 ,  赵林

IPC: C01B31/10

Abstract: 本发明涉及一种多孔炭材料的制备方法，具体涉及一种利用难回收再生的耐高温聚合物薄膜边角料制备多孔炭电极材料的方法。一种多孔炭材料的制备方法，所述方法所用原料为聚合物薄膜边角料，所述聚合物为聚砜、聚苯并咪唑、聚酰亚胺、聚苯并恶唑、聚苯并咪唑酰亚胺、聚醚酮。该制备方法过程简便，活化产率高，产物比表面积大，灰分低，电化学活性高，是潜在的锂电池、超级电容器、染料敏化太阳能电池和超级铅酸电池的电极材料。

公开(公告)号：CN102279289B

公开(公告)日：2012-12-26

申请号：CN201110055371.6

申请日：2011-03-09

Applicant: 大连理工大学

Inventor： 崔岩 ,  赵林 ,  王飞 ,  王立鼎

IPC: G01Q60/38 ,  B81C1/00

Abstract: 本发明公开了一种基于(110)单晶硅的微悬臂梁探针制作方法，属于MEMS和测试技术领域。其特征在于采用基于(110)单晶硅，实现氮化硅微悬臂梁针尖制作的工艺。制作过程中，采用了(110)单晶硅的各向异性腐蚀自停止方法。本发明的有益效果是采用微机电(MEMS)加工工艺即可完成全部工艺流程，并且克服了普通单晶硅各向异性腐蚀溶液对(110)单晶硅表面粗糙度的影响，对工艺设备要求较低，可以批量生产，降低了产品成本。该方法制成的氮化硅纳米探针针尖具有形状极其规范，硬度高和耐磨性好等优点。该方法制作的微悬臂梁探针可用于原子力显微镜(AFM)探针、高密度存储装置探头以及微纳米加工装置。