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公开(公告)号：CN101337166A
公开(公告)日：2009-01-07
申请号：CN200810110280.6
申请日：2003-07-23
Applicant: 大日本印刷株式会社
IPC: B01D71/02
Abstract: 一种氢气制造用过滤器的制造方法，过滤器使用的薄膜支持基板包括：金属基板；在金属基板一面上的多个柱状凸部；及在柱状凸部的非形成部位贯通金属基板地形成的多个贯通孔，柱状凸部的非形成部位的面积占柱状凸部形成面侧面积的20～90％的范围。该制造方法包括：在薄膜支持基板的形成柱状凸部的面上形成树脂层，将贯通孔的内部填补并覆盖柱状凸部的树脂层形成工序；把树脂层平坦地除去使柱状凸部的上端面露出并与上端面构成同一平面的平坦化工序；在柱状凸部的上端面及树脂层构成的平坦面上用无电解及真空成膜法中的任一种，形成导电性基底层的基底层形成工序；在导电性基底层上用电镀形成Pd合金膜的膜形成工序；及只溶解树脂层并除去的除去工序。
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公开(公告)号：CN1290599C
公开(公告)日：2006-12-20
申请号：CN03801434.3
申请日：2003-07-23
Applicant: 大日本印刷株式会社
IPC: B01D71/02
CPC classification number: B01D67/0069 , B01D53/228 , B01D67/006 , B01D67/0072 , B01D69/10 , B01D71/022 , B01D2325/021 , C01B3/505 , C01B2203/0405 , C01B2203/041 , C01B2203/047 , C23F1/02 , C23F1/28 , C23F1/34 , C23F1/44 , C25D1/08 , C25D1/10 , C25D5/022 , H01M8/0618 , H01M8/0662 , Y10T428/12201 , Y10T428/12361 , Y10T428/12417 , Y10T428/12479 , Y10T428/12951 , Y10T428/24273 , Y10T428/249953
Abstract: 在贯通孔堵塞工序中，利用磁铁把金属板附设在具有多个贯通孔的导电性基体材料的一个面上，在镀铜工序中，从没有附设金属板的导电性基体材料面的一侧，在导电性基体材料上和暴露在贯通孔内的金属板上形成镀铜层，填补贯通孔，在膜形成工序中，通过电镀在除去金属板后的导电性基体材料上形成Pd合金膜，在除去工序中，通过选择性蚀刻除去镀铜层。因此，可制造出用于燃料电池的改性器的、可稳定地进行高纯度氢气气体的生产的氢气制造用过滤器。
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公开(公告)号：CN1817420A
公开(公告)日：2006-08-16
申请号：CN200510003379.2
申请日：2003-07-23
Applicant: 大日本印刷株式会社
Abstract: 在贯通孔堵塞工序中，利用磁铁把金属板附设在具有多个贯通孔的导电性基体材料的一个面上，在镀铜工序中，从没有附设金属板的导电性基体材料面的一侧，在导电性基体材料上和暴露在贯通孔内的金属板上形成镀铜层，填补贯通孔，在膜形成工序中，通过电镀在除去金属板后的导电性基体材料上形成Pd合金膜，在除去工序中，通过选择性蚀刻除去镀铜层。因此，可制造出用于燃料电池的改性器的、可稳定地进行高纯度氢气气体的生产的氢气制造用过滤器。
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公开(公告)号：CN113684445B
公开(公告)日：2023-08-08
申请号：CN202111001437.3
申请日：2018-01-15
Applicant: 大日本印刷株式会社
Abstract: 本发明提供中间制品、蒸镀掩模的制造方法以及对位方法。蒸镀掩模具备：形成有贯通孔的第1面及第2面；一对长侧面，它们与第1面和第2面连接，限定蒸镀掩模在蒸镀掩模的长度方向上的轮廓；以及一对短侧面，它们与第1面和第2面连接，限定蒸镀掩模在蒸镀掩模的宽度方向上的轮廓。长侧面具有向内侧凹陷的第1部分，第1部分具有：位于第1面侧的第1端部；和位于第2面侧且比第1端部靠内侧的第2端部。贯通孔包括：形成于第1面侧的第1凹部；和形成于第2面侧且在孔连接部处与第1凹部连接的第2凹部。长侧面的第1部分的第1端部比孔连接部靠第1面侧。
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公开(公告)号：CN111188007B
公开(公告)日：2022-07-22
申请号：CN202010069368.9
申请日：2018-01-15
Applicant: 大日本印刷株式会社
Abstract: 本发明提供蒸镀掩模及其制造方法、蒸镀掩模装置以及蒸镀方法。一种蒸镀掩模，在该蒸镀掩模上形成有多个贯通孔，其特征在于，蒸镀掩模具备：形成有贯通孔的第1面及第2面；一对长侧面，它们与第1面和第2面连接，限定蒸镀掩模在蒸镀掩模的长度方向上的轮廓；以及一对短侧面，它们与第1面和第2面连接，限定蒸镀掩模在蒸镀掩模的宽度方向上的轮廓，长侧面具有第1部分，第1部分包括：第1端部，其位于第1面侧；和第2端部，其位于第2面侧，且位于比第1端部靠内侧的位置，并且第1部分向内侧凹陷，第1端部与第1面和长侧面相连接的第1连接部一致，第1连接部位于与第1面相同的平面上。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113684445A
公开(公告)日：2021-11-23
申请号：CN202111001437.3
申请日：2018-01-15
Applicant: 大日本印刷株式会社
Abstract: 本发明提供中间制品、蒸镀掩模的制造方法以及对位方法。蒸镀掩模具备：形成有贯通孔的第1面及第2面；一对长侧面，它们与第1面和第2面连接，限定蒸镀掩模在蒸镀掩模的长度方向上的轮廓；以及一对短侧面，它们与第1面和第2面连接，限定蒸镀掩模在蒸镀掩模的宽度方向上的轮廓。长侧面具有向内侧凹陷的第1部分，第1部分具有：位于第1面侧的第1端部；和位于第2面侧且比第1端部靠内侧的第2端部。贯通孔包括：形成于第1面侧的第1凹部；和形成于第2面侧且在孔连接部处与第1凹部连接的第2凹部。长侧面的第1部分的第1端部比孔连接部靠第1面侧。
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公开(公告)号：CN111378924A
公开(公告)日：2020-07-07
申请号：CN201911353542.6
申请日：2019-12-25
Applicant: 大日本印刷株式会社
Abstract: 提供蒸镀掩模。蒸镀掩模具备：掩模主体，其具有第1贯通孔；和支承体，其具有与第1贯通孔重合的第2贯通孔，模主体具有：处于与支承体侧相反一侧的第1面；和处于支承体侧的第2面，与第2贯通孔重合的第1贯通孔中的最外周第1贯通孔包含为其中心的第1点，第2贯通孔包含其轮廓中的最接近第1点的第2点，最外周第1贯通孔具有作为第2点侧的壁的第1壁，第1截面是包含有第1点和第2点且与法线方向平行的平面，最外周第1贯通孔在第1截面中具有连接第1壁和第2面的第2面侧连接部，支承体相对于通过第2面侧连接部和第1壁上的任意点的直线中的、与掩模主体的法线方向所成的角度最大的直线，位于第1点侧的相反侧。
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公开(公告)号：CN101337167B
公开(公告)日：2011-09-28
申请号：CN200810110281.0
申请日：2003-07-23
Applicant: 大日本印刷株式会社
IPC: B01D71/02
Abstract: 一种氢气制造用过滤器的制造方法，过滤器使用的薄膜支持基板包括：金属基板；在该金属基板的一个面上形成的多个柱状凸部；及在柱状凸部的非形成部位贯通金属基板地形成的多个贯通孔，柱状凸部的非形成部位的面积占柱状凸部形成面侧面积的20％～90％的范围。该制造方法包括：在相对于薄膜支持基板可选择性地进行蚀刻的金属基体材料的一个面上，通过电镀形成Pd合金膜的膜形成工序；在薄膜支持基板的形成柱状凸部的面上，通过把Pd合金膜与柱状凸部的上端面扩散接合，配设金属基体材料的扩散接合工序；及通过选择性蚀刻除去金属基体材料的除去工序。因此，可制造出用于燃料电池的改性器的、可稳定地进行高纯度氢气气体的生产的氢气制造用过滤器。
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公开(公告)号：CN101318109A
公开(公告)日：2008-12-10
申请号：CN200810110279.3
申请日：2003-07-23
Applicant: 大日本印刷株式会社
IPC: B01D71/02
Abstract: 一种氢气制造用过滤器的制造方法，包括：在导电性基体材料的两面上，形成给定的抗蚀图案，以该抗蚀图案为掩模，从两面对所述导电性基体材料进行蚀刻，形成多个贯通孔的蚀刻工序；通过电解电镀形成Pd合金膜，以便将所述导电性基体材料的所述贯通孔内堵塞的膜形成工序；以及除去所述抗蚀图案的除去工序。因此，可制造出用于燃料电池的改性器的、可稳定地进行高纯度氢气气体的生产的氢气制造用过滤器。
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公开(公告)号：CN108330435B
公开(公告)日：2021-10-01
申请号：CN201810034119.9
申请日：2018-01-15
Applicant: 大日本印刷株式会社
Abstract: 本发明提供蒸镀掩模和蒸镀掩模的制造方法。蒸镀掩模具备：形成有贯通孔的第1面及第2面；一对长侧面，它们与第1面和第2面连接，限定蒸镀掩模在蒸镀掩模的长度方向上的轮廓；以及一对短侧面，它们与第1面和第2面连接，限定蒸镀掩模在蒸镀掩模的宽度方向上的轮廓。长侧面具有向内侧凹陷的第1部分，第1部分具有：位于第1面侧的第1端部；和位于第2面侧且比第1端部靠内侧的第2端部。贯通孔包括：形成于第1面侧的第1凹部；和形成于第2面侧且在孔连接部处与第1凹部连接的第2凹部。长侧面的第1部分的第1端部比孔连接部靠第1面侧。
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