多层硅微机械结构的掩模-无掩模腐蚀技术

    公开(公告)号:CN1177021A

    公开(公告)日:1998-03-25

    申请号:CN97106555.1

    申请日:1997-08-06

    Applicant: 复旦大学

    Abstract: 本发明是加工多层硅微机械结构的掩模—无掩模各向异性腐蚀技术。已有技术采用掩模淀积,光刻和在掩模限制下的硅各向异性腐蚀,用以制作多层结构时工艺复杂而且不能形成较深的结构,有很大的局限性。本发明利用了KOH腐蚀液对有掩模腐蚀形成的 方向硅台阶作无掩模腐蚀时{311}面取代原{111}侧面的特性和相对台阶之间的相互作用,可同时产生多个可位于任意深度的新层面。因此可制成现有技术无法加工的多层硅微机械结构。

    密闭容器微压传感器测量标定仪

    公开(公告)号:CN2382014Y

    公开(公告)日:2000-06-07

    申请号:CN98224984.5

    申请日:1998-08-28

    Applicant: 复旦大学

    Abstract: 一种微压传感器测量标定装置,由两个连通的均横截面容器、带有标尺和刻度转盘的精密丝杆以及支架构成。容器中注有液体,并使其有恰当的液位。其中一个容器开口,由精密丝杆控制其上下移动;另一容器密闭、固定,与被测传感器连接。根据精度要求,选择合适容器横截面、容器上方的空间体积、丝杆精度。测量标定时,只要逐次转动转盘,使开口容器移动到与测试压强相应的高度,记录传感器的响应输出即可。使用本装置操作方便、速度快,精度高、可取代同类的测量标定仪器。

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