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公开(公告)号：CN2482103Y
公开(公告)日：2002-03-13
申请号：CN01245833.3
申请日：2001-06-08
Applicant: 复旦大学
IPC: G02B6/12
Abstract: 本实用新型光波导是一种折射率反转型硅基平面光波导。由于现有结构的光波导存在着诸如制备方法繁杂、与光纤偶合效果差以及传播损耗大等缺点。本实用新型光波导是一个三层结构的波导,首先在硅衬底上先生长一定厚度的SiO2作为芯层,再在上面淀积一定厚度的多晶硅作为包层,其中SiO2层厚为1.5～10μm,多晶硅层厚度为:2～50μm。经分析和实验表明该波导不仅制备简单、能与硅平面集成工艺兼容,而且具有良好的传输特性。
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