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公开(公告)号：CN114442300B
公开(公告)日：2023-11-24
申请号：CN202210084790.0
申请日：2022-01-25
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明公开了一种深紫外的显微镜成像物镜；其与筒镜协同工作；其等效数值孔径为0.75~0.85，工作波长为190~200 nm，等效焦距为3‑8mm，放大率为100‑200倍；其由沿着光轴顺序排列的6片球面镜片组成：第一镜片、第二镜片、第三镜片、第四镜片、第五镜片和第六镜片，其中第一镜片、第三镜片、第四镜片和第五镜片为正透镜，第二镜片和第四镜片为负透镜；与其协同工作的筒镜包含3片物镜；本发明的物镜可以应用于半导体集成电路带图形硅片的缺陷检测，其检测缺陷的分辨率可以达到58~64纳米或者更小。
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