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公开(公告)号：CN106716094B
公开(公告)日：2019-10-25
申请号：CN201580053508.0
申请日：2015-09-28
Applicant: 国立大学法人东京大学 , 精工电子有限公司
Abstract: 本发明为具备以下部分的压力传感器（1）：具有空腔的传感器主体（2）、具有杆主体（20）和杆支承部（21A、21B）并且根据空腔与传感器主体（2）的外部的压力差进行弯曲变形的悬臂（3）、以及基于形成于杆主体（20）的主体电阻部（31）和形成于杆支承部（21A、21B）的杆电阻部（32）的电阻值变化来对悬臂（3）的移位进行检测的移位检测部（4）。在杆支承部（21A）形成有划分槽（40），所述划分槽将杆电阻部（32）划分为与检测电极（35）串联电连接的第一电阻部（32a）和位于与第一电阻部（32a）相比靠相邻的其他的杆支承部（21B）的第二电阻部（32b）。杆支承部（21A、21B）的第一电阻部（32a）经由经由了主体电阻部（31）的第一路径（S1）和经由了第二电阻部（32b）的第二路径S2的并联路径与检测电极（35）电连接。
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公开(公告)号：CN104870987A
公开(公告)日：2015-08-26
申请号：CN201380066134.7
申请日：2013-12-26
Applicant: 国立大学法人东京大学 , 欧姆龙株式会社
CPC classification number: G01N27/125 , B82Y10/00 , G01N27/4146 , G01N33/004
Abstract: 本发明提供一种气体传感器及气体传感器结构体，与现有的气体传感器相比，能够以简单结构提高气体的检测灵敏度。通过将源极(3)和漏极(4)之间的石墨烯(8)设置在离子液体(L)中，由此因吸收气体而产生的离子液体(L)中的电荷状态变化直接反映到流过石墨烯(8)的源漏电流(Isd)，因此与现有的气体传感器相比能够提高气体的检测灵敏度。并且，只要将石墨烯(8)设置在离子液体(L)中即可，因此不需要像现有的气体传感器一样用多种聚合物对碳纳米管进行表面化学修饰的结构，能够简化其结构。
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公开(公告)号：CN103998918A
公开(公告)日：2014-08-20
申请号：CN201280060964.4
申请日：2012-12-27
Applicant: 国立大学法人东京大学 , 欧姆龙株式会社
IPC: G01N21/27
CPC classification number: G01N21/27 , G01N21/553 , G01N33/0036 , G01N33/004 , G01N2201/0612 , G01N2201/067
Abstract: 本发明提供一种能够实现小型化的同时通过新结构检测气体的气体传感器。在该气体传感器(1)中，不需要如现有技术中的光吸收路径，因此能够相应地实现小型化，并且，通过离子液体(IL)吸收气体，并且能够通过因金属层(7)上的表面等离子体共振现象而产生的光强度变化来测量因吸收气体而发生变化的离子液体(IL)的电容率，如此一来，能够实现根据光强度的变化而检测气体的具有新结构的气体传感器(1)。
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公开(公告)号：CN106062525B
公开(公告)日：2019-07-09
申请号：CN201580013040.2
申请日：2015-02-27
Applicant: 精工电子有限公司 , 国立大学法人东京大学
CPC classification number: G01L9/0052 , G01L9/0002 , G01L9/0019 , G01L23/18
Abstract: 本发明为检测压力波动的压力传感器(1)，具备与传感器本体的腔的内部和外部的压力差对应地挠曲变形的悬臂(4)、以及在悬臂的基端部(4a)形成的臂内间隙(21)。基端部在平面视图中沿与连结基端部和顶端部(4b)的第一方向(L1)正交的第二方向(L2)被通过臂内间隙划分为第一支撑部(22)及第二支撑部(23)。在第一及第二支撑部的一部分设置的掺杂层(24)形成第一位移检测部(25)及第二位移检测部(26)。第一及第二位移检测部与第一及第二支撑部相比，沿第二方向的长度短。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106062524B
公开(公告)日：2019-07-09
申请号：CN201580012348.5
申请日：2015-02-27
Applicant: 精工电子有限公司 , 国立大学法人东京大学
CPC classification number: G01L9/0054 , G01L9/0002 , G01L9/0023 , G01L9/0042
Abstract: 本发明为检测压力波动的压力传感器(1)，具备与传感器本体的腔的内部和外部的压力差对应地挠曲变形的悬臂(4)、以及在悬臂的基端部(4a)形成的第一间隙(21)、第二间隙(22)以及第三间隙(23)。第一～第三间隙将悬臂的基端部在平面视图中沿与连结基端部和悬臂的顶端部(4b)的第一方向(X1)正交的第二方向(X2)电气地划分为第一支撑部(24)以及第二支撑部(25)、和第一位移检测部(26)以及第二位移检测部(27)。第一及第二位移检测部在第一及第二支撑部之间检测与悬臂的挠曲变形对应的位移。
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公开(公告)号：CN106062525A
公开(公告)日：2016-10-26
申请号：CN201580013040.2
申请日：2015-02-27
Applicant: 精工电子有限公司 , 国立大学法人东京大学
CPC classification number: G01L9/0052 , G01L9/0002 , G01L9/0019 , G01L23/18
Abstract: 本发明为检测压力波动的压力传感器(1)，具备与传感器本体的腔的内部和外部的压力差对应地挠曲变形的悬臂(4)、以及在悬臂的基端部(4a)形成的臂内间隙(21)。基端部在平面视图中沿与连结基端部和顶端部(4b)的第一方向(L1)正交的第二方向(L2)被通过臂内间隙划分为第一支撑部(22)及第二支撑部(23)。在第一及第二支撑部的一部分设置的掺杂层(24)形成第一位移检测部(25)及第二位移检测部(26)。第一及第二位移检测部与第一及第二支撑部相比，沿第二方向的长度短。
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公开(公告)号：CN106716094A
公开(公告)日：2017-05-24
申请号：CN201580053508.0
申请日：2015-09-28
Applicant: 国立大学法人东京大学 , 精工电子有限公司
Abstract: 本发明为具备以下部分的压力传感器（1）：具有空腔的传感器主体（2）、具有杆主体（20）和杆支承部（21A、21B）并且根据空腔与传感器主体（2）的外部的压力差进行弯曲变形的悬臂（3）、以及基于形成于杆主体（20）的主体电阻部（31）和形成于杆支承部（21A、21B）的杆电阻部（32）的电阻值变化来对悬臂（3）的移位进行检测的移位检测部（4）。在杆支承部（21A）形成有划分槽（40），所述划分槽将杆电阻部（32）划分为与检测电极（35）串联电连接的第一电阻部（32a）和位于与第一电阻部（32a）相比靠相邻的其他的杆支承部（21B）的第二电阻部（32b）。杆支承部（21A、21B）的第一电阻部（32a）经由经由了主体电阻部（31）的第一路径（S1）和经由了第二电阻部（32b）的第二路径S2的并联路径与检测电极（35）电连接。
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公开(公告)号：CN104272074A
公开(公告)日：2015-01-07
申请号：CN201380022589.9
申请日：2013-03-19
Applicant: 精工电子有限公司 , 国立大学法人东京大学
CPC classification number: G01L1/16 , G01L1/10 , G01L9/0002 , G01L9/0045 , G01L9/008 , G01L13/06 , G01L23/04
Abstract: 该压力传感器具备：传感器主体，具有第一面和在所述第一面具有开口的空腔；悬臂，具有支撑在所述第一面上的基端部、以及在所述开口的内侧在与所述开口的周缘之间以形成间隙的方式而配设的前端部，所述悬臂由按照所述空腔的内部和外部的压力差而弯曲变形的半导体材料形成；以及位移测定部，以比按照用G表示所述间隙的宽度（μm）、用V表示所述空腔的容积（ml）、用k表示比例常数的下述式（1）而规定的下限频率fLOW（Hz）更大的频率、测定按照所述压力差而振动的所述悬臂的位移。。
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公开(公告)号：CN103988071A
公开(公告)日：2014-08-13
申请号：CN201280060963.X
申请日：2012-12-27
Applicant: 国立大学法人东京大学 , 欧姆龙株式会社
IPC: G01N27/00 , G01N27/414 , H01L29/786 , H01L51/05 , H01L51/30
CPC classification number: G01N27/48 , G01N27/4141 , G01N27/4146 , G01N33/004 , G01N33/0054 , H01L51/0048 , H01L51/0508 , Y02A50/246
Abstract: 本发明提供一种气体传感器，与现有的气体传感器相比能够以简单结构提高对气体的检测灵敏度。在该气体传感器中，在离子液体(IL)中形成有具有栅绝缘层的双电层，因吸收气体而产生的离子液体(IL)的栅绝缘层的状态变化直接反映到在碳纳米管(8)中流动的源漏电流(Isd)，因此与现有的气体传感器相比能够提高对气体的检测灵敏度。另外，只要将离子液体(IL)按照与碳纳米管(8)和栅极(7)接触的方式设置在基板(2)上即可，因此不需要像现有的气体传感器那样用多种聚合物对碳纳米管进行表面化学修饰的结构，因此能够使其结构相应地变得简单。
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