一种基于蜘蛛丝和微纳光纤的湿度传感器及其制作方法

    公开(公告)号:CN115436323A

    公开(公告)日:2022-12-06

    申请号:CN202211209115.2

    申请日:2022-09-30

    Abstract: 本发明提供了一种基于蜘蛛丝和微纳光纤的湿度传感器及其制作方法。蜘蛛丝与标准单模光纤拉锥成的微纳光纤分别是Mach‑Zehnder干涉仪的两个干涉臂。本发明利用微纳光纤的强倏逝场特性,实现蜘蛛丝内的光耦合,蜘蛛丝对湿度变化敏感,湿度增加,水分进入蜘蛛丝内部改变蜘蛛丝的折射率,输出的干涉光谱随之变化,可实现对外界相对湿度变化的高灵敏度测量。同时这种MZ干涉结构传感器具有小质量、低成本、易实现、较环保、生物相容性好的特点,能够为微结构集成光学传感领域提供更好的平台。

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