压电陶瓷的驱动电源
    11.
    实用新型

    公开(公告)号:CN2586289Y

    公开(公告)日:2003-11-12

    申请号:CN02281265.2

    申请日:2002-11-18

    Abstract: 压电陶瓷的驱动电源,本实用新型涉及压电陶瓷的驱动电源。它包含计算机及其EPP接口电路(1)、微处理器(2)、数模转换电路(3),它还包含高压运算放大电路(4)、恒流源电路(6),(1)的输出端接(2)的输入端,(2)的输出端接(3)的输入端,(3)的输出端接(4)的输入端。电平转换电路(4-1)的IC1输出端接T2的基极,T2的集电极接信号放大电路(4-2)M3的栅极,M3的源极接T1的发射极并经R5接充放电电路(4-3)M2的栅极,T1的集电极经R4接M1的栅极,M1的漏极经R1接R3一端和R2一端,R2另一端接M2的源极,R3另一端接压电陶瓷y的一端,y的另一端接地。(6)的输出端接T1的集电极,(6)的输入端接+Hv。本实用新型具有频率响应高、稳定性好、温漂小、成本低的优点。

    三自由度超精密定位平台

    公开(公告)号:CN2580470Y

    公开(公告)日:2003-10-15

    申请号:CN02281264.4

    申请日:2002-11-18

    Abstract: 三自由度超精密定位平台,它涉及超精密定位平台的改进。在光学调整中,经常需要将入射光线偏转一个角度射出,以达到各种试验的要求。在现有技术情况下,一般是通过螺纹或顶丝调整镜架机构,以达到偏转入射光的目的,其角度分辨率最高只能达到0.1°≈1.75mrad。本实用新型的圆形平台(1-1)的下端是圆筒(1-2),圆筒(1-2)分为上下两截,圆筒(1-2)的上截圆筒(1-21)与下截圆筒(1-22)之间固定有平板(1-3),基础台体(5)内呈等边三角形固定有三组各自独立的压电陶瓷预紧机构(10),三组压电陶瓷预紧机构(10)设置在基础台体(5)与圆形平台(1-1)之间。本实用新型转角范围可达到±0.4~±1mrad,角度分辨率可达到0.1μrad,位移重复定位精度可达到2nm。

    垂直方向微位移驱动装置

    公开(公告)号:CN2586290Y

    公开(公告)日:2003-11-12

    申请号:CN02281261.X

    申请日:2002-11-18

    Abstract: 垂直方向微位移驱动装置,它涉及一种产生垂直方向微移动的装置。它由顶紧装置(5)、压电陶瓷(3)、驱动器组成;驱动器由底座、设置在底座正上方中间位置的平台、以及分别位于平台和底座两侧并相对平台和底座的中心线左右对称设置的两条小臂和两条大臂组成,底座、平台、大臂、小臂为一体结构,平台与左右小臂、左右小臂与左右大臂、左右大臂与底座之间各设有一对柔性铰链,而且每对柔性铰链相互左右对称设置;压电陶瓷设置在底座上,左右对称设置的顶紧装置分别安装在两条大臂上,两个顶紧装置与压电陶瓷的两侧紧密接触。它解决了现有的能放大的微移动装置在位移时存在偏转的问题。

    六自由度精密并联机器人

    公开(公告)号:CN2576434Y

    公开(公告)日:2003-10-01

    申请号:CN02281262.8

    申请日:2002-11-18

    Abstract: 六自由度精密并联机器人,它涉及一种多自由度运动及定位装置,特别是一种实现亚微米级至纳米级的定位装置。它由工作台(1)、底座(12)、倾斜设置在工作台(1)和底座(12)之间的六条支链(13)组成,每条支链(13)由上部斜块(4)、上部球面副柔性铰链(5)、压电陶瓷致动器(6)、下部球面副柔性铰链(7)和下部斜块(10)依次相连接而成,上部斜块(4)和下部斜块(10)分别与工作台(1)和底座(12)相连接。它解决了现有的串联结构的六自由度运动及定位装置存在刚度差、误差产生累积等问题。

    基于双直线电机的高速高精度微冲压驱动系统

    公开(公告)号:CN101206481B

    公开(公告)日:2011-12-28

    申请号:CN200710144854.7

    申请日:2007-12-19

    Abstract: 基于双直线电机的高速高精度微冲压驱动系统,它涉及一种微型零件高速高精度微冲压成形驱动设备。本发明可解决传统成形设备的驱动装置,无法满足零件微塑性成形的问题。两个机架(2)与底座(1)的左、右端固接,两个支架(3)与两个机架(2)固接,滑块(8)装在两个支架(3)之间,滑块(8)的前、后端对称设置有直线电机(4),直线电机(4)的初级(14)与支架(3)固接,直线电机(4)的次级(13)与滑块(8)固接,滑块(8)上固装有四条导轨(5),导轨(5)与导轨滑块(6)的导轨滑槽(11)滑动配合,导轨滑块(6)与支架(3)固接,四条导轨(5)的正上方设置有与支架(3)固接的气动制动器(7),光栅尺(9)固装在滑块(8)上,光栅尺探头(10)靠近光栅尺(9)设置且固装在机架(2)上。本发明能实现低成本、大批量微塑性零件成形。

    一种用于连续锻打的多工位锻压机器人

    公开(公告)号:CN101474657B

    公开(公告)日:2010-06-16

    申请号:CN200910071333.2

    申请日:2009-01-23

    Abstract: 本发明提供了一种用于连续锻打的多工位锻压机器人。它采用三个互垂直的直线运动单元及一个与最后一个直线运动单元同轴或平行的转动运动单元的整体结构方式,实现工件的位置调整及锻压过程中的连续回转,结构简洁,它包括上下移动机构1、锻压机械手臂2、手爪3、左右移动机构4、机架5、锻压设备控制压板6和锻压设备协调机构7。本发明能够实现锻压过程中的工件在多工位之间的转换、锻压过程中的动作控制及锻打力度控制、每个工位上锻压过程中的连续操作,实用性强。通过同一个直线运动单元实现工件在不同的操作工位和不同的模具之间工位转换,简化了系统结构,降低了成本。

    二维并联驱动的硅片搬运机器人

    公开(公告)号:CN100342517C

    公开(公告)日:2007-10-10

    申请号:CN200510010440.6

    申请日:2005-10-19

    Abstract: 本发明提供的是一种二维并联驱动的硅片搬运机器人。它包括机体、导轨(2)、丝杠(3)、滚珠花键组合体、框架螺母(5)、套筒(6)、同步电机和同步轮Ⅰ(7)、同步电机和同步轮Ⅱ(8)、同步带结构Ⅰ(9)、摇臂Ⅰ(10),轴Ⅰ(12)、摇臂Ⅱ(13)、同步带结构Ⅱ(14)、轴Ⅱ(15)、夹持机械手(16)和罩体(17)。本发明的机器人结构新颖紧凑,运动惯量小、重量轻,可实现R轴和Z轴的高速高精度运动性能。其中,R轴运动实现沿机器人旋转半径方向的直线运动,Z轴运动实现沿机器人竖直方向的直线运动。

    分体式虎克铰
    18.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1869464A

    公开(公告)日:2006-11-29

    申请号:CN200610010204.9

    申请日:2006-06-23

    Abstract: 分体式虎克铰,它涉及一种虎克铰,为解决现有技术中所存在的工艺性差、传动精度低以及结构尺寸较大、质量重、成本高的问题。本发明提供了一种分体式虎克铰,它包括上叉形铰链座(1)和下叉形铰链座(2),它还包括顶尖块(3)和四个顶针,顶尖块(3)的两对相对的外表面上分别开设有锥形顶尖孔且每两个锥形顶尖孔的小径端相对且中心线重合;四个顶针分别与上、下叉形铰链座的叉形体的侧壁螺纹连接且其锥形头部分别置于顶尖块(3)的锥形顶尖孔内。本发明具有结构简单紧凑,无间隙,外形小,成本低,负载能力强,传动精度高的优点。本发明由四个顶针与顶尖块(3)所形成两个传动副组成,使得上叉形铰链座(1)相对于下叉形铰链座(2)沿两个独立的轴进行旋转,实现二维相对转动。

    宏/微驱动的两自由度高加速度高精度的并联定位系统

    公开(公告)号:CN1731082A

    公开(公告)日:2006-02-08

    申请号:CN200510010287.7

    申请日:2005-08-26

    Abstract: 宏/微驱动的两自由度高加速度高精度的并联定位系统,它涉及一种运动定位系统。本发明解决了现有定位系统串联结构基层平台直线运动惯量大;并联结构解耦装置结构设计困难及多关节并联杆机构末端执行器竖直方向刚度差的问题。本发明的基座1上固定有轴线相互垂直的X轴直线驱动装置2和Y轴直线驱动装置3,X轴直线驱动装置2与X轴移动平台总成8固接,Y轴直线驱动装置3与Y轴移动平台总成9固接,X轴移动平台总成8与X轴末端平台10之间铰接有X轴平行连杆机构12,Y轴移动平台总成9与Y轴末端平台11之间铰接有Y轴平行连杆机构13,X轴末端平台10和Y轴末端平台11与末端输出平台15固接。本发明具有高精度高加速度的优点。

    一种基于花岗岩滑块的微冲压成型驱动设备

    公开(公告)号:CN101508180B

    公开(公告)日:2011-01-05

    申请号:CN200910071598.2

    申请日:2009-03-20

    Abstract: 一种基于花岗岩滑块的微冲压成型驱动设备,它涉及一种微冲压成型驱动设备。本发明解决了现有的基于双直线电机的微冲压驱动系统存在的摩擦大、热变形大以及定位和运行精度低的问题。本发明的滑块(6)由花岗岩材料制成,滑块(6)上开有至少四个安装孔(11),每个安装孔(11)内嵌有一个连接套(10),每个直线电机(2)的次级(8)通过连接套(10)与滑块(6)固接。本发明采用直线电机直接驱动花岗岩材料制成的滑块,避免了传动环节导致的误差累计,摩擦小,热变形小,大大降低了运动发热对定位精度的影响,提高了定位精度,更易于实现微冲压所需的高速度和高精度,另外本发明通过增加了连接套改善了滑块的受力情况,提高了运行精度。

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