公开(公告)号：CN102221355A

公开(公告)日：2011-10-19

申请号：CN201110144687.2

申请日：2011-05-31

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 李彦超 ,  王春晖 ,  高龙 ,  曲杨 ,  丛海芳 ,  邵文冕

IPC: G01C1/00

Abstract: 多普勒振镜正弦调制多光束激光外差测量激光入射角度的装置及方法，属于微位移检测技术领域。它解决了传统的外差干涉测量激光入射角度技术由于只能得到单一的待测参数值而使测量精度低的问题。本发明装置由激光器、偏振分束镜PBS、四分之一波片、振镜、平面反射镜、平面标准镜、会聚透镜、光电探测器和信号处理系统组成；方法为打开振镜和打开激光器；在测量过程中，通过信号处理系统连续采集光电探测器输出的电信号，并进行处理，根据频率与折射角的关系fp＝Kpcosθ获得平面标准镜的激光折射角θ的关系式，进而获得平面标准镜的激光入射角θ0。本发明适用于激光入射角度的测量。

公开(公告)号：CN102353490B

公开(公告)日：2013-07-24

申请号：CN201110144669.4

申请日：2011-05-31

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 李彦超 ,  王春晖 ,  高龙 ,  曲杨 ,  丛海芳 ,  邵文冕

IPC: G01L5/00 ,  G01B11/26

Abstract: 多普勒振镜正弦调制多光束激光外差的扭摆法测量微冲量的装置及方法，属于微冲量测量技术领域。它解决了现有采用外差干涉法测量微推力器的微冲量的方法由于只能得到单一的待测参数值，使得待测参数值的测量精度低的问题。本发明装置由数字信号处理系统、光电探测器、脉冲激光器、扭摆系统、H0固体激光器、偏振分束镜PBS、四分之一波片、振镜、平面标准镜和会聚透镜组成；方法为打开H0固体激光器和振镜，采用脉冲激光器发出脉冲激光激励工质靶，使标准梁的横梁转动；数字信号处理系统采集光电探测器发出的信号，并对连续获得的所有信号进行处理，获得标准梁的横梁所受到的微冲量。本发明适用于微冲量的测量。

公开(公告)号：CN102253073B

公开(公告)日：2013-04-24

申请号：CN201110144735.8

申请日：2011-05-31

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 李彦超 ,  王春晖 ,  高龙 ,  曲杨 ,  丛海芳 ,  邵文冕

IPC: G01N25/16 ,  G01B11/16

Abstract: 多普勒振镜正弦调制多光束激光外差测量金属线胀系数的装置及方法，属于金属线胀系数测量技术领域。它解决了传统的外差干涉技术测物体的热胀系数由于只能得到单一的待测参数值而使测量精度低的问题。本发明装置由H0固体激光器、四分之一波片、振镜、第一平面反射镜、偏振分束镜PBS、会聚透镜、薄玻璃板、第二平面反射镜、待测金属棒、电热炉、光电探测器和信号处理系统组成；方法为调整第二平面反射镜的反射面与薄玻璃板相互平行，采用电热炉对待测金属棒进行均匀加热，打开振镜和H0固体激光器，采用信号处理系统采集光电探测器输出的电信号，并对采集到的信号进行处理获得金属线膨胀系数。本发明适用于金属线胀系数的测量。

公开(公告)号：CN102252622B

公开(公告)日：2013-02-13

申请号：CN201110145044.X

申请日：2011-05-31

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 李彦超 ,  王春晖 ,  高龙 ,  曲杨 ,  邵文冕

IPC: G01B11/06

Abstract: 多普勒振镜正弦调制多光束激光外差测量玻璃厚度的装置及方法，属于微位移检测技术领域。本发明装置由激光器、偏振分束镜PBS、四分之一波片、振镜、平面反射镜、待测厚度玻璃板、会聚透镜、光电探测器和信号处理系统组成；本发明方法为：首先，打开振镜的驱动电源使振镜开始做简谐振动；同时，打开激光器；开始测量，在测量过程中，通过信号处理系统连续采集光电探测器输出的电信号，并对采集到的差频信号进行处理，根据频率与厚度的关系fp＝Kpd获得待测厚度玻璃板的厚度d：d＝fp/Kp，式中fp为激光外差信号的频率，Kp为fp与d比例系数。本发明适用于对玻璃厚度的测量。

公开(公告)号：CN102221355B

公开(公告)日：2012-09-05

申请号：CN201110144687.2

申请日：2011-05-31

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 李彦超 ,  王春晖 ,  高龙 ,  曲杨 ,  丛海芳 ,  邵文冕

IPC: G01C1/00

Abstract: 多普勒振镜正弦调制多光束激光外差测量激光入射角度的装置及方法，属于微位移检测技术领域。它解决了传统的外差干涉测量激光入射角度技术由于只能得到单一的待测参数值而使测量精度低的问题。本发明装置由激光器、偏振分束镜PBS、四分之一波片、振镜、平面反射镜、平面标准镜、会聚透镜、光电探测器和信号处理系统组成；方法为打开振镜和打开激光器；在测量过程中，通过信号处理系统连续采集光电探测器输出的电信号，并进行处理，根据频率与折射角的关系fp＝Kpcosθ获得平面标准镜的激光折射角θ的关系式，进而获得平面标准镜的激光入射角θ0。本发明适用于激光入射角度的测量。