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公开(公告)号：CN115420213A
公开(公告)日：2022-12-02
申请号：CN202211001785.5
申请日：2022-08-20
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 基于星形探针及V形工作台配合的超精密形位误差测量仪属于精密测量设备，由主机座、纵向运动块、立向支撑架构成机架，立轴下端安装星形探针，星形探针上安装有纵向激光干涉仪光纤测头、第二激光干涉仪光纤测头、第一激光干涉仪光纤测头，激光干涉仪光纤测头发射激光光线中的测距功能光束正交汇聚于探针测头中心，且所述激光光线与V形工作台中激光反射镜分别对应垂直；通过采用上述方案，能够适应和满足对形状复杂零件尺寸及形位误差的微纳米级精密测量使用。
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公开(公告)号：CN115388772A
公开(公告)日：2022-11-25
申请号：CN202211003570.7
申请日：2022-08-20
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 十字运动面及动态符合阿贝原则的超精密形位误差测量仪属于精密测量设备；本机由主机座、立向支撑柱及轴座构成机架，在主机座上可纵、横向移动配装带有三角激光反射镜、反射镜安装架、纵向激光反射镜的十字形运动面，由横向气浮轴套、纵向气浮轴套、横向连接件、纵向连接件组成的横、纵向移动驱动机构安装在运动座上，可驱动十字形运动面于横纵方向高精度移动，通过立向移动机构可立向移动第一激光干涉仪、第二激光干涉仪、第三激光干涉仪及探针；通过采用上述方案，能够适应和满足对形状复杂零件尺寸及形位误差的微纳米级精密测量使用。
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公开(公告)号：CN115371552A
公开(公告)日：2022-11-22
申请号：CN202211001791.0
申请日：2022-08-20
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 立方体式反射镜组及探针一体的形位误差测量仪属于精密测量仪器；本测量仪中反射镜组及探针一体化设计，置于角度位移测量组件相对空间内测，使得仪器测量结构简单、紧凑；且反射镜组及激光干涉仪安装块分别使用一整块零膨胀微晶玻璃制作，消除了超精密测量仪器中的主要的热膨胀误差对测量精度的影响，同时使用激光干涉仪测量角度和位移，在三轴方向获得亚纳米测量精度的同时，使得仪器可以实时补偿测量误差；本发明兼具了结构简单和高测量精度的特性，可以实现对微纳米级微器件的超精密测量。
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公开(公告)号：CN211927681U
公开(公告)日：2020-11-13
申请号：CN201921240960.X
申请日：2019-07-30
Applicant: 哈尔滨工业大学(深圳)
Abstract: 本实用新型是一种利用手机进行重金属检测的装置，包括装置主体、设置于装置主体下部的测量单元，所述装置主体和测量单元之间设置有手机夹套，所述手机夹套放置带有光线传感器的手机，所述测量单元沿光线进入方向依次设置有LED灯贴片、通光孔、滤光片插槽、比色皿插槽。本实用新型使用方便快捷，利用现有的手机检测分析，检测效率高，成本低廉，有助于普通民众的大规模普及应用，不会带来环保方面的问题，无需外接电源，预留电线通道和可伸缩弹簧管可以测量环境简化，手机随用随取，方便快捷。
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