双工件台宏微快速交接机构

    公开(公告)号:CN103762195A

    公开(公告)日:2014-04-30

    申请号:CN201410051748.4

    申请日:2014-02-14

    CPC classification number: H01L21/687 G03F7/20 H01L21/6838

    Abstract: 双工件台宏微快速交接机构属于夹持抓卡机械,用于光刻机工件台宏动机构和微动台的对接分离,在基体上固装上夹板、第二片簧、杠杆支点和气缸体,动夹头和下夹板配置在上夹板下方,第一片簧将工件台与动夹头连接,可调压力弹簧两端分别与工件台和第一片簧接触配合,在上夹板上配装矩形挡板,在气缸体内配装碟簧、活塞和活塞杆,输气管路将气缸体与常闭二位三通电磁阀连通,在下夹板上固装连接杆,杠杆短臂配装在杠杆支点上,圆弧形凹槽板安装在杠杆短臂一端上,气缸体上的活塞杆外端通过轴承与杠杆长臂一端连接,杠杆长臂的另一端和杠杆短臂的另一端通过伸缩机构连接;本机构具有夹持力大、夹紧快速的特点。

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