公开(公告)号：CN103762195A

公开(公告)日：2014-04-30

申请号：CN201410051748.4

申请日：2014-02-14

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 吴剑威 ,  谭久彬 ,  袁勇

IPC: H01L21/687 ,  G03F7/20

CPC classification number: H01L21/687 ,  G03F7/20 ,  H01L21/6838

Abstract: 双工件台宏微快速交接机构属于夹持抓卡机械，用于光刻机工件台宏动机构和微动台的对接分离，在基体上固装上夹板、第二片簧、杠杆支点和气缸体，动夹头和下夹板配置在上夹板下方，第一片簧将工件台与动夹头连接，可调压力弹簧两端分别与工件台和第一片簧接触配合，在上夹板上配装矩形挡板，在气缸体内配装碟簧、活塞和活塞杆，输气管路将气缸体与常闭二位三通电磁阀连通，在下夹板上固装连接杆，杠杆短臂配装在杠杆支点上，圆弧形凹槽板安装在杠杆短臂一端上，气缸体上的活塞杆外端通过轴承与杠杆长臂一端连接，杠杆长臂的另一端和杠杆短臂的另一端通过伸缩机构连接；本机构具有夹持力大、夹紧快速的特点。