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公开(公告)号：CN109951102A
公开(公告)日：2019-06-28
申请号：CN201910280485.7
申请日：2019-04-09
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H02N2/00
Abstract: 本发明提出了一种两自由度超精密压电驱动平台及其激励方法，属于压电驱动领域。解决了现有两自由度超精密驱动平台结构复杂、形式单一和精度不足等问题。所述驱动平台由运动平台、驱动单元以及基座组成，所述驱动单元的运动由层叠式直线型压电驱动器、层叠式弯曲型压电驱动器以及层叠式扭转型压电驱动器产生，所述驱动平台可以通过多种激励方法产生运动平台沿其轴线和绕其轴线的超精密直线和旋转运动。基于不同的激励方法和工作场合，驱动单元的数量可以做出变化。所述驱动平台结构简单、布置灵活，激励方法简单易行、可靠性高，便于应用在需要超精密直线和旋转运动的应用场合。
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公开(公告)号：CN109861580A
公开(公告)日：2019-06-07
申请号：CN201910280548.9
申请日：2019-04-09
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H02N2/00
Abstract: 本发明公开了一种超精密六自由度压电运动平台及其激励方法，属于压电驱动技术领域。上侧驱动足、上侧双向层叠式弯曲型压电驱动器、绝缘层、层叠式扭转型压电驱动器、导向夹板、层叠式直线型压电驱动器和中间驱动足由上至下依次连接，竖向支撑柱的顶端支撑中间驱动足，竖向支撑柱、支撑夹板、下侧双向层叠式弯曲型压电驱动器和下侧驱动足由上至下依次连接，动子压紧在上侧驱动足的顶面上，下侧驱动足的下端压紧在基座的上表面上，支撑夹板与纵向导轨滑动连接，纵向导轨与横向导轨滑动连接且交叉布置，横向导轨与基座连接。本发明结构简单、激励方法可靠，可以获得大尺度和高精度的多自由度运动，在细胞操作、显微手术、光学调整以及超精密加工等领域具有广阔的应用前景，也会对精密压电驱动技术的发展产生一定的促进作用。
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公开(公告)号：CN109842321B
公开(公告)日：2020-05-12
申请号：CN201910280460.7
申请日：2019-04-09
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明公开了一种超精密三自由度直线压电定位平台及其激励方法，属于压电驱动技术领域。解决了目前三自由度直线定位平台结构复杂、精度不足、行程过小以及激励方法单一的技术问题。所述压电定位平台由运动平台、驱动单元、侧向压板、竖向导轨以及基座组成，其中驱动单元为主要驱动元件，用以产生弯曲变形和伸缩变形，进而通过驱动足驱动运动平台沿空间中三个正交方向的直线运动。基于本发明中的激励方法，所述压电定位平台可以实现大尺度的超精密运动。本发明中的压电定位平台结构紧凑，激励方法简单易行，便于应用在需要精密定位操作的技术领域。
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公开(公告)号：CN109951101B
公开(公告)日：2020-03-06
申请号：CN201910280424.0
申请日：2019-04-09
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H02N2/00
Abstract: 本发明是压电驱动的超精密四自由度定位调姿机构及其激励方法。本发明解决了现有压电定位调姿机构结构单一、尺寸庞大以及驱动元件成本较高的技术问题。所述定位调姿机构由动子(1)、上侧驱动足(2)、压电陶瓷管(3)、固定夹块(4)、横向导轨(5)、纵向导轨(6)、下侧驱动足(7)和基座(8)组成，其中压电陶瓷管(3)为主要驱动元件，用以产生弯曲变形进而驱动动子(1)的两自由度直线运动和两自由度旋转运动。基于本发明中的激励方法，所述定位调姿机构可以实现大尺度的超精密运动。本发明中的定位调姿机构结构简单紧凑，激励方法简易可行，便于应用在需要对操作对象进行精密定位和调姿的技术领域。
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公开(公告)号：CN109889084B
公开(公告)日：2020-01-24
申请号：CN201910280438.2
申请日：2019-04-09
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H02N2/00
Abstract: 本发明是压电驱动的超精密进给调姿装置及其激励方法。本发明解决了已有的多数调姿机构难以实现进给运动以及结构繁琐、负载能力较差的技术问题。本发明的进给调姿装置由动子(1)、驱动单元(2)、螺母(3)、丝杠(4)以及基座(5)组成其中驱动单元(2)为主要驱动元件，用以产生弯曲变形和扭转变形并通过驱动足或丝杠螺母驱动动子的三自由度旋转运动和单自由度直线运动。基于本发明中的激励方法，所述进给调姿装置可以实现大尺度的运动。本发明中的进给调姿装置结构紧凑、负载能力强，激励方法简单可靠，适合应用于需要对操作对象进行精密调姿和进给的技术领域。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109831115B
公开(公告)日：2020-01-07
申请号：CN201910280420.2
申请日：2019-04-09
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H02N2/00
Abstract: 本发明是超精密五自由度压电运动平台及其激励方法。本发明解决了多数多自由度超精密压电驱动器成本高昂、结构复杂以及运动行程严重受限的技术问题。所述压电运动平台由动子(1)、多输出驱动单元(2)、横向导轨(3)、纵向导轨(4)、支撑平板(5)、单输出驱动单元(6)、侧向压板(7)以及基座(8)组成，其中多输出驱动单元(2)和单输出驱动单元(6)作为主要驱动元件，依靠自身变形和摩擦力驱动动子的超精密五自由度运动。基于本发明中的激励方法，所述压电运动平台可以实现大行程和高分辨力的多自由度超精密运动。本发明中的压电运动平台结构简单紧凑，激励方法可靠易行，在多自由度超精密定位等技术领域有着广泛的应用前景。
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公开(公告)号：CN109831115A
公开(公告)日：2019-05-31
申请号：CN201910280420.2
申请日：2019-04-09
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H02N2/00
Abstract: 本发明是超精密五自由度压电运动平台及其激励方法。本发明解决了多数多自由度超精密压电驱动器成本高昂、结构复杂以及运动行程严重受限的技术问题。所述压电运动平台由动子(1)、多输出驱动单元(2)、横向导轨(3)、纵向导轨(4)、支撑平板(5)、单输出驱动单元(6)、侧向压板(7)以及基座(8)组成，其中多输出驱动单元(2)和单输出驱动单元(6)作为主要驱动元件，依靠自身变形和摩擦力驱动动子的超精密五自由度运动。基于本发明中的激励方法，所述压电运动平台可以实现大行程和高分辨力的多自由度超精密运动。本发明中的压电运动平台结构简单紧凑，激励方法可靠易行，在多自由度超精密定位等技术领域有着广泛的应用前景。
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公开(公告)号：CN109951103B
公开(公告)日：2020-04-24
申请号：CN201910280499.9
申请日：2019-04-09
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H02N2/00
Abstract: 本发明公开了一种压电驱动的超精密运动六足机器人及其激励方法，属于微操作机器人技术领域。一种压电驱动的超精密运动六足机器人，包括底座、六个驱动单元和基体，其中，每个驱动单元包括驱动足、纵向伸缩压电陶瓷区域和横向弯曲压电陶瓷区域，横向弯曲压电陶瓷区域、纵向伸缩压电陶瓷区域和底座由上至下依次连接，六个驱动单元沿圆周方向均匀安装在基体的下表面上，驱动足压紧在底座的上表面。本发明负载能力大、结构紧凑，针对不同的应用条件可以进行灵活设计，便于生产制造，激励方法可靠易行，可以实现多自由度的超精密运动，在微纳操作等技术领域中具有广泛的应用前景。
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公开(公告)号：CN109861580B
公开(公告)日：2020-01-07
申请号：CN201910280548.9
申请日：2019-04-09
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H02N2/00
Abstract: 本发明公开了一种超精密六自由度压电运动平台及其激励方法，属于压电驱动技术领域。上侧驱动足、上侧双向层叠式弯曲型压电驱动器、绝缘层、层叠式扭转型压电驱动器、导向夹板、层叠式直线型压电驱动器和中间驱动足由上至下依次连接，竖向支撑柱的顶端支撑中间驱动足，竖向支撑柱、支撑夹板、下侧双向层叠式弯曲型压电驱动器和下侧驱动足由上至下依次连接，动子压紧在上侧驱动足的顶面上，下侧驱动足的下端压紧在基座的上表面上，支撑夹板与纵向导轨滑动连接，纵向导轨与横向导轨滑动连接且交叉布置，横向导轨与基座连接。本发明结构简单、激励方法可靠，可以获得大尺度和高精度的多自由度运动，在细胞操作、显微手术、光学调整以及超精密加工等领域具有广阔的应用前景，也会对精密压电驱动技术的发展产生一定的促进作用。
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公开(公告)号：CN108494286B
公开(公告)日：2019-11-08
申请号：CN201810394727.0
申请日：2018-04-27
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提出了一种采用剪切工作模式的扭转型精密压电驱动器及其制作方法，属于压电驱动领域。解决了现有旋转型精密压电驱动器结构复杂、成本较高和制作繁琐等问题。驱动器为圆柱形或圆环形，由压电陶瓷和通电电极片组成，所述压电陶瓷的极化方向可分为沿驱动器轴向和径向极化两种，每种情况中压电陶瓷又可分为正向极化和负向极化压电陶瓷组。通电电极片施加激励电压后，压电陶瓷产生剪切变形，通过结构设计和适当连接可以输出精准的角位移。驱动器的制作工艺流程包括压电陶瓷和通电电极片的制作以及驱动器的装配，工艺流程可以根据应用场合、加工条件和性能指标等灵活调整，便于批量生产。
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