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公开(公告)号：CN115026414B
公开(公告)日：2024-07-26
申请号：CN202210715534.7
申请日：2022-06-22
Applicant: 合肥工业大学
IPC: B23K26/046 , B23K26/70
Abstract: 本发明涉及一种激光双光子直写加工设备及其自动对焦方法。加工设备包括：激光器、光路调节组件、物镜、相机、运动台、基底和控制器。基底用于承载待加工材料，运动台与基底固定连接，物镜设置在基底与相机之间，光路调节组件设置在激光器与物镜之间。本发明通过控制器启动激光器发射激光，并通过相机采集基底和待加工材料所处区域的图像，测量每张图像中荧光光斑的等效直径，从而确定荧光光斑等效直径的理想值，进而控制基底升降直至光斑等效直径达到理想值，完成自动对焦，提高了激光双光子直写加工的对焦效率和对焦精度，提高了三维微纳结构的加工精度。
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公开(公告)号：CN113370244B
公开(公告)日：2023-07-25
申请号：CN202110738418.2
申请日：2021-06-30
Applicant: 合肥工业大学
Abstract: 本发明涉及一种可编程操纵柔性执行器，其包括：柔性双层膜，其包括叠压的聚二甲基硅氧烷层和碳纳米管层；两组条状的夹装箔，其用于夹装所述柔性双层膜的组合体；两组所述夹装箔从所述碳纳米管层一侧缠绕，经过所述聚二甲基硅氧烷层后到达所述碳纳米管层的另一侧；所述碳纳米管层表面的夹装箔呈中间断裂的两段结构；两组所述夹装箔倾斜设置在柔性双层膜上，且两组所述夹装箔相互平行。本发明通过在柔性双层膜上夹装两组夹装箔，在对其进行激光照射时，其爬行距离变长，同时偏移量较小，从而改变了原本的运动轨迹，能够满足实际生活中的各种需求；在不破坏柔性双层膜材料本身的情况下，能够增强柔性双层膜结构的稳定性。
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公开(公告)号：CN116221048A
公开(公告)日：2023-06-06
申请号：CN202310045768.X
申请日：2023-01-30
Applicant: 合肥工业大学
IPC: F03G7/00
Abstract: 本发明涉及一种可再编程柔性致动器及其制备和驱动方法。该柔性致动器包括由碳纳米管和聚二甲基硅氧烷上下叠置形成的柔性双层膜，以及石蜡结构。柔性双层膜以一个平行于致动方向的对称面呈镜像对称。柔性双层膜包括相对平行的首端和末端，且首端和末端的延伸方向均垂直于对称面。柔性双层膜在自然状态下沿着对称面的延伸方向呈卷曲状态，以形成开口向下的“C”型结构。石蜡结构呈条带状并附着在碳纳米管层表面。当柔性双层膜处于平铺状态时，石蜡结构的延伸方向与首端或末端延伸方向之间存在一个预设夹角α∈[‑30°，60°]，且首端和末端的长度均大于石蜡结构的宽度。该柔性致动器的运动形式更加丰富，并且可在不破坏原有材料结构的情况下进行重新编程。
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公开(公告)号：CN114326331A
公开(公告)日：2022-04-12
申请号：CN202210090979.0
申请日：2022-01-26
Applicant: 合肥工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开了多层微观结构、微过滤筛装置的制备方法及相应制备装置。所述多层微观结构的制备方法为：被准直扩束的飞秒激光聚焦到载有待光刻的光刻胶的硅基底上，硅基底作为反射界面产生反射光束，并与硅基底上的入射光束发生自干涉，形成双光子聚合焦点；当入射光束为高斯分布，双光子聚合焦点产生在所述光刻胶与硅基底界面附近，总光强达到最强，在焦点附近的所述光刻胶的聚合物同时吸收两个光子发生光致聚合反应，形成与干涉光场光强分布相似的固化点；驱动硅基底带动所述光刻胶移动，使所述光刻胶上的固化点积累成型。本发明利用光束自干涉激发双光子聚合反应，形成可调节的具有亚微米尺度的三维多层结构。
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公开(公告)号：CN113370244A
公开(公告)日：2021-09-10
申请号：CN202110738418.2
申请日：2021-06-30
Applicant: 合肥工业大学
Abstract: 本发明涉及一种可编程操纵柔性执行器，其包括：柔性双层膜，其包括叠压的聚二甲基硅氧烷层和碳纳米管层；两组条状的夹装箔，其用于夹装所述柔性双层膜的组合体；两组所述夹装箔从所述碳纳米管层一侧缠绕，经过所述聚二甲基硅氧烷层后到达所述碳纳米管层的另一侧；所述碳纳米管层表面的夹装箔呈中间断裂的两段结构；两组所述夹装箔倾斜设置在柔性双层膜上，且两组所述夹装箔相互平行。本发明通过在柔性双层膜上夹装两组夹装箔，在对其进行激光照射时，其爬行距离变长，同时偏移量较小，从而改变了原本的运动轨迹，能够满足实际生活中的各种需求；在不破坏柔性双层膜材料本身的情况下，能够增强柔性双层膜结构的稳定性。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110806187B
公开(公告)日：2021-08-06
申请号：CN201911097993.8
申请日：2019-11-12
Applicant: 合肥工业大学
IPC: G01B11/255
Abstract: 本发明公开了一种能够可视化测量的结构色膜及其制备方法和应用，涉及激光表面微纳加工领域，该方法首先在成型透明的PDMS膜上涂覆一层墨水，墨水干燥后，会在PDMS膜表面制备一层墨水层，然后利用聚焦激光干涉光刻技术，采用超快激光器调节好相关参数后对样品进行处理，在样品表面加工出周期性的微纳沟槽阵列，得到所述的结构色表面。本发明公开了一种利用该结构色膜的制备方法，在柔性执行器上制备出结构色表面，在柔性执行器的变形过程中，对应结构色表面的颜色也会发生变化，以其相应结构色的颜色变化与变形的对应关系，实现了对柔性执行器弯曲角的非接触可视化测量。
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公开(公告)号：CN119703381A
公开(公告)日：2025-03-28
申请号：CN202510199573.X
申请日：2025-02-24
Applicant: 合肥工业大学
IPC: B23K26/32 , B23K26/60 , B23K26/70 , B23K26/046 , B23K26/0622 , B05D5/00 , B05D7/24 , B05D1/02
Abstract: 本发明涉及激光加工技术领域，公开了一种基于涂层的激光加工透明材料的方法，包括如下步骤：步骤1、固定待加工的透明材料；步骤2、于透明材料表面加工涂层；步骤3、调节激光加工设备的光束焦点，并使其焦点位于透明材料的待加工面；步骤4、利用激光加工设备对透明材料进行加工；步骤5、加工完成后，去除透明材料上的剩余涂层。本发明提出的加工方法采用表面涂有机涂层的方式，能够在激光加工时减少激光的散射，并引导光束向材料表面聚焦，不仅能解决激光散焦的问题，使激光光束有效聚焦并加工透明材料的上表面，还能增强材料的吸光率，提高加工效率。
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公开(公告)号：CN115401313B
公开(公告)日：2025-02-07
申请号：CN202211127765.2
申请日：2022-09-16
Applicant: 合肥工业大学
IPC: B23K26/042 , B23K26/70
Abstract: 本发明涉及一种用于非平基底的双光子自动加工方法、系统及设备。加工方法包括如下步骤：S1：调节基底的水平位置，使激光焦点的水平位置位于基底的初始加工区域内；S2：对激光进行对焦，对焦后在初始加工位置进行激光加工；S3：基底移动到下一加工点，在该加工点进行对焦，完成对焦后在该加工点进行激光加工；S4：重复S3直至完成所有加工点的加工，对加工完成的微纳结构进行显影，得到成品微纳结构。本发明通过对每个加工点进行自动对焦，解决了使用激光在非平基底上加工过程中，手动对焦操作繁复、耗时而且存在较大误差的问题。
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公开(公告)号：CN119347824A
公开(公告)日：2025-01-24
申请号：CN202411459062.9
申请日：2024-10-18
Applicant: 合肥工业大学
IPC: B25J15/00
Abstract: 本发明属于微纳加工领域，具体涉及一种柔性仿生足垫及微型仿生机器人。柔性仿生足垫根据壁虎足部表面的微纳结构的原理设计，包括由柔性材料制备而成的垫片和微柱阵列。微柱阵列位于垫片的表面，微柱阵列内的各个微柱中远离垫片一端的顶部具有钉帽状的触点。本发明中的柔性仿生足垫采用PDMS材料制备，并通过转印的工艺生产，转印采用的模具中具有与微柱阵列对应的大量盲孔，模具中的盲孔则采用飞秒激光加工系统加工得到。飞秒激光加工时，本发明采用微动平台和振镜系统对激光在模具上的扫描路径进行联合调控，进而保障加工质量。本发明解决了微型机器人足部结构的摩擦力不足的问题，拓宽了其在爬壁和陡坡行走等场景下的应用。
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公开(公告)号：CN114689218B
公开(公告)日：2024-08-20
申请号：CN202210318741.9
申请日：2022-03-29
Applicant: 合肥工业大学
Abstract: 本发明公开一种基于MXene/Ag复合结构材料的离子型力学传感器，包括两侧的MXene/Ag电极层与离子液体聚合物中间层所形成的复合层。本发明同时公开上述离子型力学传感器的制备方法包括以下步骤：制备离子聚合物层：制备MXene/Ag复合结构材料的电极层：热压复合膜得到具有三层结构的离子型力学传感器。本发明同时公开上述MXene/Ag复合结构材料的离子型力学传感器的应用。本发明公开的离子型力学传感器相对于传统的离子型力学传感器，使用二维层状结构的MXene材料，本身结构有利于离子的传输和储存。并且Ag的加入使电极的机械稳定性提高，降低电极的电阻，从而能够实现更高的电压输出。
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