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公开(公告)号:CN207558737U
公开(公告)日:2018-06-29
申请号:CN201721713181.8
申请日:2017-12-11
Applicant: 合肥中科离子医学技术装备有限公司
IPC: H01J27/04
Abstract: 本实用新型公开一种六硼化镧冷阴极潘宁离子源装置,包括阴极底座、阴极、阳极、对阴极、第一绝缘陶瓷和第二绝缘陶瓷;阴极底座为圆柱凸台结构,所述阴极底座上设有阴极液冷管道;阴极一端面开有与阴极底座上的凸台相配合的安装孔;阳极包括空心圆台、第一空心圆柱和第二空心圆柱;第一空心圆柱内侧通过第一绝缘陶瓷与阴极底座的侧面连接,第一绝缘陶瓷上设有进气口;第二空心圆柱通过第二绝缘陶瓷与对阴极连接;阳极内设有阳极液冷管道。本实用新型通过液冷管道,可控制离子源装置的温度;通过在阳极与阴极间设有绝缘陶瓷材料,可有效避免阴极与阳极间发生短路;通过阳极的结构设计,提高了阳极与阴极间的电场强度。
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公开(公告)号:CN208402193U
公开(公告)日:2019-01-18
申请号:CN201821023698.9
申请日:2018-06-29
Applicant: 合肥中科离子医学技术装备有限公司
IPC: H05H1/46
Abstract: 本实用新型公开一种采用微波垂直注入激励等离子体发生装置,包括线圈、等离子体放电腔体、连接法兰、微波窗、气体入口、真空泵组接口;所述线圈为中空结构设计;所述等离子体放电腔体两端为圆台型设计;所述等离子体放电腔体的侧壁上开设有一气体入口;气体入口通过连接法兰与微波窗进行连接;所述等离子体放电腔体的侧壁上还开设有两个真空泵组接口;所述等离子体放电腔体的侧壁上设有六组线圈。本实用新型利用设有的真空泵组接口抽真空,确保等离子体放电腔体的真空度满足工作条件;通过气体入口向等离子体放电腔体内通入工作气体,线圈通电产生磁场,通过调节通电电流大小改变磁场位型来约束微波馈入激励产生的等离子体。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号:CN207505201U
公开(公告)日:2018-06-15
申请号:CN201721713146.6
申请日:2017-12-11
Applicant: 合肥中科离子医学技术装备有限公司
Abstract: 本实用新型公开一种内离子源安装定位装置,包括定向轴套、第一连接法兰、离子源内套管、动密封、离子源外套管、真空抽气口、离子源头部、第二连接法兰、第三连接法兰;所述离子源内套管插入定向轴套内,定向轴套固定在第一连接法兰中间;所述离子源外套管套在离子源内套管外,离子源外套管右侧端口固定安装在第一连接法兰内;所述离子源内套管右端伸出第一连接法兰的右端,离子源内套管右端安装有离子源头部;中段外套管上设置有真空抽气口,上段外套管、中段外套管、下段外套管中间分别通过第二连接法兰、第三连接法兰固定。本实用新型具有结构简单、定位精准的特点。本实用新型增加动密封,保证了离子源在离子源内套管的垂直方向精度要求。
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