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公开(公告)号：CN220170398U
公开(公告)日：2023-12-12
申请号：CN202321131798.4
申请日：2023-05-11
Applicant: 厦门大学
Abstract: 本实用新型公开了一种法珀腔式压力传感器，包括压力敏感芯体、光纤和固定套管，所述压力敏感芯体包括外径相同且为蓝宝石材质的受力晶片、环形晶片和基底晶片，环形晶片的中间通孔形成空气腔；所述受力晶片、环形晶片、基底晶片层叠固定在一起，并同轴设置，且环形晶片位于受力晶片和基底晶片之间；所述光纤穿设于固定套管，固定套管的一端固定于基底晶片背对环形晶片的表面，且固定套管与基底晶片同轴设置，所述固定套管的另一端与光纤固定连接；所述光纤的出光面与受力晶片面向环形晶体的表面平行。本实用新型相较于石英材质的压力敏感芯体，可适用于恶劣环境，具体，本实用新型可在1600℃下承受10MPa的压力，保障了传感器的结构强度。
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