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公开(公告)号：CN112593194A
公开(公告)日：2021-04-02
申请号：CN202011298207.3
申请日：2020-11-19
Applicant: 南开大学
Abstract: 一种高透光率、高电导率的大面积铝掺杂氧化锌透明导电薄膜的制备方法。本发明在AZO薄膜沉积过程中，采用氢气+氩气混合气体作为工作气体，通过磁控溅射气压、功率、基底与靶材间距、基底转速和氢气含量的调节，能够在基底不加热的室温或基底加热到300℃以下的任意温度制备出电导率为0.5～2×103S/cm，波长在400‑1200nm范围内的平均光透过率高于90％的AZO薄膜。本发明所制备的AZO透明导电薄膜具有透光性好，电导率高，在不加热或低加热温度适用范围广等优势，无需高温后处理，有利于在温度敏感光电子器件，如光伏太阳电池和有机发光二极管等；以及温度耐受性能较低的柔性衬底材料上应用，工艺简单、低能耗，利于大面积工业化生产应用。
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