公开(公告)号：CN115452873B

公开(公告)日：2024-05-31

申请号：CN202211145589.5

申请日：2022-09-20

Applicant: 南开大学

Inventor： 付学文 ,  于耀诚 ,  张亚卿 ,  陈祥 ,  刘芳

IPC: G01N23/2254 ,  G01N23/2206

Abstract: 本发明提供了一种超快扫描电子显微镜数据自动采集系统及方法，数据采集计算机同时与光学延迟线和SEM控制计算机进行实时通讯，以起到二者的即时控制和相互触发的作用，它们与SEM等实验设备共同组成了SUEM数据自动采集系统。在数据采集计算机中，本发明通过分别调用相关接口控制光学延迟线的移动和SEM的图像采集功能来实现SUEM的数据自动采集工作，实验人员只需要在数据采集计算机中，启动相应数据采集系统，设置好相应的数据采集参数，并连接延迟线和SEM，设定好SEM图像采集参数，即可进行一键式数据自动采集工作。本发明解决了当前超快扫描电子显微镜数据人工采集的重复性高、时间成本大和易操作失误等问题。

公开(公告)号：CN115452873A

公开(公告)日：2022-12-09

申请号：CN202211145589.5

申请日：2022-09-20

Applicant: 南开大学

Inventor： 付学文 ,  于耀诚 ,  张亚卿 ,  陈祥 ,  刘芳

IPC: G01N23/2254 ,  G01N23/2206

Abstract: 本发明提供了一种超快扫描电子显微镜数据自动采集系统及方法，数据采集计算机同时与光学延迟线和SEM控制计算机进行实时通讯，以起到二者的即时控制和相互触发的作用，它们与SEM等实验设备共同组成了SUEM数据自动采集系统。在数据采集计算机中，本发明通过分别调用相关接口控制光学延迟线的移动和SEM的图像采集功能来实现SUEM的数据自动采集工作，实验人员只需要在数据采集计算机中，启动相应数据采集系统，设置好相应的数据采集参数，并连接延迟线和SEM，设定好SEM图像采集参数，即可进行一键式数据自动采集工作。本发明解决了当前超快扫描电子显微镜数据人工采集的重复性高、时间成本大和易操作失误等问题。