公开(公告)号：CN114619038A

公开(公告)日：2022-06-14

申请号：CN202210114912.6

申请日：2022-01-31

Applicant: 北京科技大学

Inventor： 曲选辉 ,  李星宇 ,  章林 ,  熊宁 ,  刘国辉 ,  秦明礼 ,  陈刚 ,  张百成 ,  王广达 ,  魏子晨 ,  阙忠游 ,  杨军军

IPC: B22F9/22 ,  B22F3/14 ,  B22F3/24 ,  C23G1/10 ,  C01G41/00 ,  C23C14/34 ,  B22F1/12 ,  C22C27/04 ,  C22C1/05

Abstract: 本发明属于先进金属材料制备研究领域，涉及一种高纯度的钨钛合金靶材的制备方法。该制备方法步骤为：提纯仲钨酸铵；合成钨钛合金粉末；将得到钨钛合金粉末装入模具进行多阶段真空热压烧结，得到靶材坯；对得到的靶材坯进行表面酸洗纯净化，最终获得具有高致密度的高纯度钨钛合金靶材。本发明的方法通过粉体一次纯化、烧结过程二次纯化以及表面纯净化的有针对性、全流程系统高纯化技术。具有制造工艺简单，对设备要求不高，无需后续塑性加工处理，实现了有针对性、全流程的系统提纯，得到的钨钛合金靶材能满足高密度（致密度>99.5%）、高纯度（纯度>99.999%）的应用需求。