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公开(公告)号:CN100389304C
公开(公告)日:2008-05-21
申请号:CN200610083776.X
申请日:2006-06-05
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明公开了一种多谱线光学角规测试标定仪,包括一台通用机算机,一个电机控制箱,一个多光谱光源电控切换台,一个CCD摄像机,一个双频激光干涉仪;一台光电自准直仪;一个长基线分光镜组;一个长基线反射镜组;一个精密转台;一个平面反射镜组;一个数显读数表,一个三维调整台;本发明具有如下显著优点:双频激光干涉测角仪中,采用长基线镜组,使其测角精度能够比一般双频激光干涉测角仪高;采用测角和定位相分离的方法,容易实现光学角规的高精度测试标定;采用多谱线标定方法,可以在同样环境条件下对同一块光学角规给出多谱线偏向角标定值,扩大光学角规的应用范围。
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公开(公告)号:CN100381806C
公开(公告)日:2008-04-16
申请号:CN200710063160.0
申请日:2007-01-30
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 一种折轴/潜望望远光学系统透射比测试系统,包括:1)光源组件,包括光源和调制盘;2)发射单元,包括平行光管和可换光阑;3)接收单元,包括用于探测入射光能量的积分球和光电倍增管;4)控制处理单元,包括锁相放大器、模数转换电路、单片机和显示屏;其特征在于,将发射单元和接收单元做成分体结构,并且各个分体结构都可以独立升降或俯仰调整,满足折轴望远光学系统透过率的测试要求;为提高测量精度,系统采用了双光路方式,在一定程度上排除了光源、探测器、高压电源、放大器等部件的信号漂移,一次100%校准后可以在长时间内进行测量。
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公开(公告)号:CN101067547A
公开(公告)日:2007-11-07
申请号:CN200710100222.0
申请日:2007-06-06
Applicant: 北京理工大学
IPC: G01B9/02
Abstract: 本发明公开了一种高精度的利用相互正交的两个双频激光干涉仪的光学角规测试标定仪,包括主控计算机1、双频激光干涉仪A3及其按光路方向依次放置的分光镜2、静止反射镜4和移动反射镜7,与双频激光干涉仪A3光路相互垂直放置的双频激光干涉仪B13,依次按双频激光干涉仪B13光路放置的长基线分光镜11、长基线反射镜6、光程补偿平行玻璃板5和被测光学角规9,还包括可使被测光学角规9沿主截面方向的移动的精密平移台8、装调光学角规主截面时的微小转动精密角位移台10以及步进电机控制箱12。本发明具有如下显著优点:通过该发明装置测量光学角规偏向角在2″-10″的测量范围内,测量精度可达到0.02″,极大提高了光学角规偏向角的测角精度。采用相互正交的双频激光干涉仪测角,减少了光学材料折射率和干涉条纹判读等其他因素对测角精度的影响。
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公开(公告)号:CN109587475B
公开(公告)日:2022-07-26
申请号:CN201910003016.0
申请日:2019-01-03
Applicant: 北京理工大学
IPC: H04N17/00
Abstract: 本发明公开了一种数字相机动态分辨率测量技术与装置,属光学测量技术领域。自主设计了圆形黑白辐射式分辨率测试卡,控制电机使测试卡匀速(可调)平稳转动来模拟不同速度运动的物体,通过合理设置数字相机与测试卡之间距离,使测试卡相对于相机的运动速度与实际拍摄物体的运动速度(角速度)相同,用数字相机对其进行成像,分析图像可以得到数字相机在这一速度下的极限动态分辨率、以及不同空间频率下的调制传递函数。改变转速进行多次测量,可得到以测试卡的空间频率,运动速度为自变量,以待测数字相机的调制传递函数为应变量的三维MTF曲面,该三维MTF曲面全面表征了待测数字相机的动态分辨性能。
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公开(公告)号:CN109587475A
公开(公告)日:2019-04-05
申请号:CN201910003016.0
申请日:2019-01-03
Applicant: 北京理工大学
IPC: H04N17/00
Abstract: 本发明公开了一种数字相机动态分辨率测量技术与装置,属光学测量技术领域。自主设计了圆形黑白辐射式分辨率测试卡,控制电机使测试卡匀速(可调)平稳转动来模拟不同速度运动的物体,通过合理设置数字相机与测试卡之间距离,使测试卡相对于相机的运动速度与实际拍摄物体的运动速度(角速度)相同,用数字相机对其进行成像,分析图像可以得到数字相机在这一速度下的极限动态分辨率、以及不同空间频率下的调制传递函数。改变转速进行多次测量,可得到以测试卡的空间频率,运动速度为自变量,以待测数字相机的调制传递函数为应变量的三维MTF曲面,该三维MTF曲面全面表征了待测数字相机的动态分辨性能。
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公开(公告)号:CN109238659A
公开(公告)日:2019-01-18
申请号:CN201811123618.1
申请日:2018-09-26
Applicant: 北京理工大学
IPC: G01M11/02
Abstract: 本发明公开了一种基于实验光线追迹原理的透镜焦距测量技术与装置,属于光学测量技术领域。由两个点光源确定的空间光线以确定的离轴量平行于光轴入射待测透镜,通过点衍射干涉方法精确追迹该光线通过透镜后的出射光线与光轴的夹角来测量焦距。将被测透镜插入两薄膜分光镜之间,调节透镜,使同心干涉图的中心位于两相机中心,采集干涉图,其相位极值点即为初始零位。给待测透镜施加一系列离轴量,用两台相机分别采集干涉图并处理得到光程极值点位置,计算两个出瞳面上的光程极值位置到光轴的距离差,进而拟合得出焦距测量系数。依据事先标定的两相机成像面间距,代入公式计算得到被测透镜的焦距。该装置结构简单,可以实现透镜焦距的无损、快速、精确测量。
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公开(公告)号:CN101762242B
公开(公告)日:2011-06-29
申请号:CN201010001177.5
申请日:2010-01-15
Applicant: 北京理工大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明涉及一种光学平面面形的绝对干涉测量方法,属于光学测量技术领域。该方法首先从测量光纤衍射的球面波经被测平面镜反射,折向并透过平板分束镜,与参考光纤衍射并被平板分束镜反射的球面波前汇合而发生干涉;干涉图用标准方法分析和处理;该步测量得到被测平面镜和平板分束镜引入的像差。然后,移除被测平面镜,移动测量光纤端面到关于被测平面镜的共轭位置,从测量光纤和参考光纤衍射的球面波汇合而再次发生干涉;该步测量得到平板分束镜引入的像差;将第一、二步测量结果相减即得到被测平面镜引入的像差,按球面波前入射角度修正即得到被测平面镜的面形。本发明实现了光学平面的全面形逐点、高精度干涉测量,是一种平面绝对干涉测量方法。
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公开(公告)号:CN101275870B
公开(公告)日:2010-07-07
申请号:CN200810106360.4
申请日:2008-05-12
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明涉及一种红外热像仪MRTD客观评测方法,属于红外测试领域。该方法将特征量均值对比度和新提出的特征量背景极值对比度Cb=Lmax-bak/Ltar;相邻极值差对比度Cmax=∑|Lmax-tar-Lmax-bak|/L组成特征向量输入BP神经网络,对红外热像仪MRTD参数进行客观测量。其中,Ltar为四杆靶平均灰度值;Lmax-bak为靶间(背景)灰度极值;Lmax-tar为四杆靶灰度极值;L为整个区域灰度平均值。本方法使用CCD摄像机拍摄监视器,或通过图像采集卡直接从热像仪视频输出端口采集图像,处理图像获得四杆靶的特征向量及辨别状态,输入BP神经网络进行训练。训练好的网络可对未知四杆靶进行状态辨别,减小用人眼判读产生的主观误差及由于疲劳产生的误差,具有客观判读和重复性好的特点。
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公开(公告)号:CN101271284A
公开(公告)日:2008-09-24
申请号:CN200810100860.7
申请日:2008-02-25
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明涉及一种光刻机物镜掩膜照明条件下杂光系数测试装置,属于光电测试技术领域。本发明包括内置在积分球内的光源、放置在积分球出口光路上的掩膜板、掩膜板透射光路上的光刻物镜、以及中继光学系统、带牛角消光管、光电探测器的积分球、信号处理系统。照明光源发出光线经积分球内表面多次反射后从积分球开口射出均匀投射到掩膜板上,经光刻物镜的艾里斑像,被中继光学系统会聚到积分球后端的牛角消光管内全部吸收,其余杂光均被积分球内表面多次反射后,被光电探测器接收,最后由信号处理系统输出光刻物镜的轴上点杂光系数。本发明具有探测信噪比高、精度高,功能强,可用于新研制和使用中的光刻机物镜成像质量的检测、监控与评估。
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公开(公告)号:CN1614378A
公开(公告)日:2005-05-11
申请号:CN200410090673.7
申请日:2004-11-12
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 一种无限兼有限共轭光电像分析器,可以实现多种测试功能,具有很高的集成度。由平移台和旋转台构成多维调整系统,可满足测试中的多维调整和折轴测试的需要;该仪器根据被测系统的需要,光电测头具有望远和显微两种功能,望远测头还要适应0视度和多个非0视度试样的测试功能,对望远系统参数的测试可以通过不同视度准直镜与CCD组成的接收系统实现,对照相系统可以通过在像分析器光学系统的物方接口处加接显微物镜来实现。该仪器通过相应的软件可以实现对光学系统所成的像进行采集和分析、图像数据处理,是集光、机、电、算、自动控制为一体的综合装置。
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