公开(公告)号：CN106871819B

公开(公告)日：2019-03-26

申请号：CN201710022242.4

申请日：2017-01-12

Applicant: 北京理工大学

Inventor： 郝群 ,  李腾飞 ,  胡摇

IPC: G01B11/255

Abstract: 本发明涉及基于最佳补偿位置的非球面顶点曲率半径误差测量方法，属于非球面面型参数测量领域。旨在利用基于斜率非球面度的最接近比较球面，实现部分补偿法非球面顶点曲率半径误差的测量，构成一种全新的非球面参数误差测量方法。本发明为基于最佳补偿位置的非球面顶点曲率半径误差测量方法，用于激光干涉法测量非球面的顶点曲率半径误差。应用本方法，可以获得非球面的最佳补偿位置，通过测量理想非球面与实际非球面的最佳补偿位置之间的离焦距离，可以计算非球面的顶点曲率半径误差，最终实现非球面面型参数的高精度检测。

公开(公告)号：CN107764203A

公开(公告)日：2018-03-06

申请号：CN201711019962.1

申请日：2017-10-27

Applicant: 北京理工大学

Inventor： 郝群 ,  张丽琼 ,  胡摇 ,  王劭溥 ,  李腾飞

IPC: G01B11/24

Abstract: 本发明属于光学精密测试技术领域，涉及一种基于部分补偿法的双波长相移干涉方法及实现装置。该方法构建部分补偿法双波长相移干涉仪，获取两个单波长的被测波前包裹相位；建模部分补偿法双波长理想干涉仪，获得两个单波长的剩余波前和包裹相位；采用误差分离和消除算法消除被测波前包裹相位中的已知及未知波前变化量，最后采用逆向迭代优化重构被测非球面的面形误差。装置包括第一激光器和第二激光器、第一狭缝和第二狭缝、第一平面镜和第二平面镜、第一分束镜和第二分束镜、扩束镜、准直镜、标准平面镜、移相器、部分补偿镜、被测非球面、成像镜头和含稀疏阵列传感器的干涉图采集组件。本发明特别适用于小面形误差的陡度非球面，以及大面形误差的模压非球面和自由曲面的加工质量测量。