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公开(公告)号：CN215947399U
公开(公告)日：2022-03-04
申请号：CN202120238819.7
申请日：2021-01-28
Applicant: 北京师范大学
Abstract: 本实用新型提供了一种柔性电子学基材及其制备系统。制备系统包括：预处理装置，用于对基底进行预处理；离子注入装置，用于对预处理过的基底表面进行离子注入第一金属；第一沉积装置，用于对第一金属离子注入的基底表面进行沉积第一金属；第二沉积装置，用于对第一金属沉积的基底表面进行沉积第二金属。通过本实用新型的制备系统，能够制备用于探测器微弱信号的电路传输的柔性电子学基材，低本底、耐低温、长尺寸、低成本。
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